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一種17%相對(duì)帶寬低損耗聲表濾波器及其制備方法與流程

文檔序號(hào):12690393閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種17%相對(duì)帶寬低損耗聲表濾波器,其特征在于,包括晶片材料,所述晶片材料上設(shè)有聲表?yè)Q能器和表面涂覆吸聲層,所述聲表?yè)Q能器設(shè)計(jì)為梯形結(jié)構(gòu),包括串聯(lián)諧振臂和并聯(lián)諧振臂,所述串聯(lián)諧振臂的一端設(shè)有輸入電極、另一端設(shè)有輸出電極,所述并聯(lián)諧振臂的下端設(shè)有接地電極。

2.一種權(quán)利要求1所述的17%相對(duì)帶寬低損耗聲表濾波器的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:

步驟A,選用晶片材料;

步驟B,在所述晶片材料上設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)為梯形結(jié)構(gòu)的聲表?yè)Q能器;

步驟C,聲表?yè)Q能器采用的電極材料為銅膜;

步驟D,表面涂覆吸聲材料。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的17%相對(duì)帶寬低損耗聲表濾波器的制備方法,其特征在于,所述步驟A中,采用的晶片材料為15°YX-LiNbO3,晶片厚度為0.40~0.65μm,背面360~1000號(hào)打毛。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的17%相對(duì)帶寬低損耗聲表濾波器的制備方法,其特征在于,所述步驟B中,梯形結(jié)構(gòu)級(jí)數(shù)為五級(jí),包含三個(gè)串聯(lián)諧振臂和兩個(gè)并聯(lián)諧振臂,其中:

第一串聯(lián)諧振臂的波長(zhǎng)為λs1,孔徑為25~31λs1,指根數(shù)為127~137根,反射柵波長(zhǎng)為λR1=λs1,指根數(shù)為15~22根;

第二串聯(lián)諧振臂的波長(zhǎng)為λs2,孔徑為25~31λs2,指根數(shù)為95~110根,反射柵波長(zhǎng)λR2=λs2,指根數(shù)為15~22根;

第三串聯(lián)諧振臂的波長(zhǎng)為λs3,孔徑為28~31λs3,指根數(shù)為127~137根,反射柵波長(zhǎng)λR3=λs3,指根數(shù)為15~22根;

第一并聯(lián)諧振臂的波長(zhǎng)為λp1,孔徑為15~20λp1,指根數(shù)為115~130根,反射柵波長(zhǎng)λR1=λp1,指根數(shù)為5~18根,假指進(jìn)行寬度和長(zhǎng)度加權(quán);

第二并聯(lián)諧振臂P2的波長(zhǎng)為λp2,孔徑為15~20λp2,指根數(shù)為115~130根,反射柵波長(zhǎng)λR2=λp2,指根數(shù)為5~18根,假指進(jìn)行寬度和長(zhǎng)度加權(quán)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的17%相對(duì)帶寬低損耗聲表濾波器及其制備方法,其特征在于,所述步驟C中,銅膜電極材料的膜厚波長(zhǎng)比為2%~9%。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的17%相對(duì)帶寬低損耗聲表濾波器及其制備方法,其特征在于,所述步驟D中,采用的表面涂覆吸聲材料的膜厚為0.5~5μm。

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