技術(shù)總結(jié)
一種微加熱器包括基板和形成在基板上的加熱器電極?；灏ㄐ纬蔀榇怪毖由焱ㄟ^基板的多個孔隙。微傳感器包括基板、形成在基板上的傳感器電極和形成在基板上的加熱器電極?；鍍?nèi)部導(dǎo)體包括形成為垂直延伸通過基板的多個孔隙。

技術(shù)研發(fā)人員：安范模;樸勝浩;邊圣鉉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：普因特工程有限公司
文檔號碼：201610428627
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.16
技術(shù)公布日：2016.12.28