技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明揭示了一種薄膜體聲波諧振器及其制造方法。由本發(fā)明的薄膜體聲波諧振器的制造方法獲得的薄膜體聲波諧振器，在震蕩器件片體的上下兩端形成多個(gè)犧牲材料片體，且犧牲材料片體之間有著重疊，使得每個(gè)犧牲材料片體依次連接，從而便于去除犧牲材料片體。在去除犧牲材料片體后在震蕩器件片體上下兩端形成的空腔重疊所形成的重疊邊界多邊形的各個(gè)邊皆不平行，降低了薄膜體聲波諧振器的橫向寄生波的邊界反射可能產(chǎn)生駐波震蕩的可能性，改善了寄生串?dāng)_。此外，本發(fā)明完成了薄膜體聲波諧振器與CMOS電路的集成，提高了器件的可靠性。

技術(shù)研發(fā)人員：王曉川
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海玨芯光電科技有限公司
文檔號(hào)碼：201511003828
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.28
技術(shù)公布日：2017.06.13