技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種薄膜體聲波諧振器和濾波器，屬于諧振器和濾波器領(lǐng)域。本發(fā)明包括低阻硅的襯底、設(shè)于襯底上、且與襯底之間設(shè)有空氣隙的支撐層，在支撐層上設(shè)有由下電極、壓電層和上電極組成的三明治結(jié)構(gòu)，在支撐層和壓電層或僅在支撐區(qū)上設(shè)有金屬化通孔，在低阻硅襯底的底面設(shè)有電極引出層，上電極或下電極通過金屬化通孔與電極引出層電連通。本發(fā)明的諧振器將諧振器的上電極或下電極轉(zhuǎn)移到襯底的背面，實(shí)現(xiàn)了電極在物理結(jié)構(gòu)上的直接接地；利用這種諧振器組成的濾波器避免了鍵合引線帶來的接地電感的影響，接地性能不受鍵合引線長短的影響，可實(shí)現(xiàn)濾波器裝配后的性能與理想接地時(shí)的性能基本一致；并且在接地電路中不需加入任何其他元件，操作簡單、方便。

技術(shù)研發(fā)人員：李麗;韓東;鄧建國;李宏軍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所
文檔號(hào)碼：201310428936
技術(shù)研發(fā)日：2013.09.22
技術(shù)公布日：2017.01.11