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一種薄膜BAW諧振器和BAW濾波器的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12015684

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本發(fā)明屬于諧振器和濾波器領(lǐng)域。背景技術(shù)微型化、集成化、高性能是無線終端對頻率器件的要求。傳統(tǒng)射頻/微波頻段頻率器件的解決方案為介質(zhì)濾波器和聲表面波(SAW)濾波器。前者具有較好的性能,但體積太大;后者雖然體積小,但存在工作頻率低、插入損耗大、功率容量低的缺點。體聲波(BAW)濾波器技術(shù)是目前唯一有望集成的射頻濾波器技術(shù),其綜合了介質(zhì)濾波器性能優(yōu)越和SAW濾波器體積小的優(yōu)勢,同時克服了兩者的缺點,具有工作頻率高、功率容量大、損耗低、體積小、溫度穩(wěn)定性好以及可與RFIC或MMIC集成等優(yōu)點。BAW濾...
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