專利名稱：振動(dòng)片、振子、振蕩器以及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具有振動(dòng)臂的振動(dòng)片、具有該振動(dòng)片的振子或振蕩器以及具有它們的電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
以往眾所周知，當(dāng)彎曲振動(dòng)片小型化時(shí)Q值變小而阻礙彎曲振動(dòng)。這是由熱彈性效應(yīng)所造成的，該熱彈性效應(yīng)是由與通過(guò)熱移動(dòng)達(dá)到溫度平衡為止的緩和時(shí)間成反比的緩和振動(dòng)與彎曲振動(dòng)片的振動(dòng)頻率相接近而引起的。即，由于彎曲振動(dòng)片進(jìn)行彎曲振動(dòng)而產(chǎn)生彈性變形，導(dǎo)致收縮面的溫度上升，拉伸面的溫度下降，所以在彎曲振動(dòng)片的內(nèi)部產(chǎn)生溫度差。由于該溫度差因熱傳導(dǎo)(熱移動(dòng))而接近溫度平衡狀態(tài)，因此以機(jī)械方式取出的能量減少而導(dǎo)致Q值劣化。因此，在彎曲振動(dòng)片的矩形剖面中形成槽或貫通孔，阻止從振子的收縮面向拉伸面產(chǎn)生的熱移動(dòng)，抑制由熱彈性效應(yīng)引起的Q值變動(dòng)(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。另外，在非專利文獻(xiàn)1中，對(duì)音叉型石英振子的一個(gè)構(gòu)造例進(jìn)行了基于熱彈性方程式的Q值計(jì)算。根據(jù)其計(jì)算結(jié)果報(bào)告了這樣的情況25°C下的CI值的約95%是由熱彈性效應(yīng)引起的。專利文獻(xiàn)1日本實(shí)開(kāi)平2-322 號(hào)公報(bào)(第4頁(yè) 5頁(yè)，圖1 圖3)非專利文獻(xiàn)1第36回EM* > *。夕々A、5頁(yè) 8頁(yè)、「熟彈性方程式(二 J易音叉型水晶振動(dòng)子O Q值O解析」(第36次EM研討會(huì)，第5頁(yè) 第8頁(yè)，「基于熱彈性方程式的音叉型石英振子的Q值分析」)，伊藤秀明、玉木悠也但是，即便采用了上述現(xiàn)有技術(shù)，但當(dāng)在彎曲振動(dòng)部設(shè)置了貫通孔時(shí)，也會(huì)在非貫通部分中分別產(chǎn)生收縮面和拉伸面，結(jié)果導(dǎo)致Q值劣化。另外，即使如專利文獻(xiàn)1那樣設(shè)置了彎曲振動(dòng)部的槽，但防止由熱彈性效應(yīng)引起的振動(dòng)片的Q值降低的效果也是不充分的。 因此，為了防止由熱彈性效應(yīng)引起的Q值降低，存在進(jìn)一步改進(jìn)的余地而成為課題。另外， CI值隨著因熱彈性效應(yīng)引起的Q值劣化而變高，所以同時(shí)，用于降低CI值的改進(jìn)也成為課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了至少解決上述課題之一，可作為下述形式或適用例來(lái)實(shí)現(xiàn)?！策m用例1〕本適用例的振動(dòng)片的特征是具有基部；以及振動(dòng)臂，其從上述基部延伸地形成，并具有進(jìn)行彎曲振動(dòng)的彎曲振動(dòng)部，上述彎曲振動(dòng)部具備沿著上述振動(dòng)臂的上述彎曲振動(dòng)的方向形成的1對(duì)主面；和與上述振動(dòng)臂的上述主面交叉的外側(cè)面，上述彎曲振動(dòng)部形成有3個(gè)以上的槽部，上述槽部沿著與上述主面交叉的方向形成在上述主面的兩面或者任意一面上，由上述外側(cè)面和最接近該外側(cè)面的上述槽部形成的外壁、以及由相鄰的上述槽部形成的內(nèi)壁的一部分或全部以電氣方式進(jìn)行彎曲振動(dòng)。根據(jù)上述適用例，具備由槽構(gòu)成的多個(gè)壁(分隔壁)使振動(dòng)臂中的彎曲振動(dòng)部進(jìn)行彎曲振動(dòng)，從而使得因彎曲變形產(chǎn)生的內(nèi)部的熱移動(dòng)路徑變長(zhǎng)，由此能夠抑制阻礙彎曲振動(dòng)的緩和振動(dòng)，抑制因熱彈性效應(yīng)導(dǎo)致的Q值降低。另外，因?yàn)槟軌蚴箤?shí)質(zhì)的激勵(lì)電極的面積增加，所以能夠提高機(jī)械系統(tǒng)與電氣系統(tǒng)之間的轉(zhuǎn)換效率，還能夠抑制CI值的上升?！策m用例2〕在上述的適用例中的特征是，形成上述內(nèi)壁的相鄰的上述槽部中的一方的上述槽部的開(kāi)口部形成在上述主面中的一方的上述主面上，另一方的上述槽部的開(kāi)口部形成在另一方的上述主面上，一方的上述主面具有1個(gè)以上的上述槽部，另一方的上述主面具有2個(gè)以上的上述槽部。根據(jù)上述適用例，可進(jìn)一步延長(zhǎng)熱移動(dòng)路徑，所以熱平衡時(shí)間進(jìn)一步變長(zhǎng)，能夠增強(qiáng)緩和振動(dòng)的抑制?！策m用例3〕在上述適用例中的特征是，形成上述內(nèi)壁的相鄰的上述槽部的至少一部分在與上述主面交叉的方向上重疊。根據(jù)上述適用例，可進(jìn)一步延長(zhǎng)熱移動(dòng)路徑，所以能夠進(jìn)一步增強(qiáng)緩和振動(dòng)的抑制，并且通過(guò)增加形成在槽部?jī)?nèi)壁以及外壁上的激勵(lì)電極的面積，來(lái)提高針對(duì)振動(dòng)的機(jī)械系統(tǒng)與電氣系統(tǒng)之間的轉(zhuǎn)換效率，從而能夠減小CI值?！策m用例4〕在上述適用例中的特征是，該振動(dòng)片是從上述基部平行地延伸出2個(gè)上述振動(dòng)臂的音叉型振動(dòng)片。根據(jù)上述適用例，可實(shí)現(xiàn)Q值高、CI值低的良好特性的薄型振動(dòng)片?！策m用例5〕在上述適用例中的特征是，上述基部以及上述振動(dòng)臂由壓電材料形成?！策m用例6〕在上述適用例中的特征是，上述壓電材料為石英。根據(jù)上述適用例，可容易地獲得振動(dòng)特性優(yōu)異的薄型振動(dòng)片。〔適用例7〕本適用例的振子的特征是具有上述振動(dòng)片和收納上述振動(dòng)片的封裝?！策m用例8〕本適用例的振蕩器的特征是具有上述振動(dòng)片和驅(qū)動(dòng)上述振動(dòng)片的電路部。根據(jù)上述適用例，可獲得振蕩特性優(yōu)異的薄型振子、振蕩器?！策m用例9〕本適用例的電子設(shè)備的特征是具有上述振動(dòng)片和驅(qū)動(dòng)上述振動(dòng)片的電路部。根據(jù)上述適用例，可提供能夠持續(xù)保持期望功能的電子設(shè)備。


圖1是第1實(shí)施方式的振動(dòng)片的立體圖。圖2的㈧是第1實(shí)施方式的振動(dòng)片的平面圖，⑶是㈧中的A-A’部的剖視圖。圖3的(A)是示出在第1實(shí)施方式的振動(dòng)片上形成的電極的平面圖，(B)是(A)的背面平面圖。圖4的㈧是圖3的㈧中的P-P’部的剖視圖，⑶是Q-Q’部的剖視圖，(C)是 R-R’部的剖視圖。圖5是本發(fā)明中的振動(dòng)片的等效電路圖。圖6是示出第1實(shí)施方式的槽部的其它形式的剖視圖。圖7是示出第1實(shí)施方式的槽部的其它形式的剖視圖。圖8的㈧是第2實(shí)施方式的振子的平面圖，⑶是㈧中的B-B’部的剖視圖。
圖9是第3實(shí)施方式的振蕩器的剖視圖。圖10是示出作為第4實(shí)施方式的電子設(shè)備的一例的便攜電話機(jī)的概略的立體圖。圖11是作為第4實(shí)施方式的電子設(shè)備的一例的便攜電話機(jī)的電路框圖。圖12是示出作為第4實(shí)施方式的電子設(shè)備的一例的個(gè)人計(jì)算機(jī)的概略的立體圖。符號(hào)說(shuō)明10...基部，20、21...作為振動(dòng)部的振動(dòng)臂，100...振動(dòng)片，1000...振子， 2000···振蕩器，3000、4000...電子設(shè)備。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖來(lái)說(shuō)明使用了振動(dòng)片的電子設(shè)備的一個(gè)實(shí)施方式。(第1實(shí)施方式)圖1是示出第1實(shí)施方式的概略立體圖。振動(dòng)片100的基部10和作為振動(dòng)部的振動(dòng)臂20、21的材料優(yōu)選壓電材料，另外，壓電材料中的石英是特別合適的，但也可以應(yīng)用例如鉭酸鋰(TiTaO3)、四硼酸鋰(Li2B4O7)、鈮酸鋰(LiNbO3)、鋯鈦酸鉛(PZT)、氧化鋅(SiO)、 氮化鋁(AlN)等壓電體或硅等半導(dǎo)體。在本實(shí)施方式中，說(shuō)明采用了石英的實(shí)施方式。振動(dòng)片100是如下這樣的所謂音叉型振動(dòng)片的形式，即在由石英基板形成的具有主面IOOa和另一主面IOOb的板狀基板上具備基部10和從基部10延伸出的振動(dòng)臂20 以及21。在基部10上進(jìn)一步延伸出的支撐臂10a、10b與振動(dòng)臂20、21相離地設(shè)置。圖2的㈧示出振動(dòng)片100的平面圖，圖2的⑶示出圖2的㈧的A_A’剖視圖。 在振動(dòng)臂20、21上，如圖2的(B)所示，在主面IOOa側(cè)形成有槽20a、20b、2la、21b，在另一主面IOOb側(cè)形成有槽20c、21c。在本實(shí)施方式中，在各振動(dòng)臂20、21上，在主面IOOa側(cè)形成有槽20a、20b以及21a、21b這2個(gè)槽，在另一主面IOOb側(cè)形成有1個(gè)槽20c、21c。由振動(dòng)臂20的外側(cè)面20d和槽20a形成外壁20f。這里，所謂外側(cè)面，就是用于明確與作為由槽形成的側(cè)面的內(nèi)壁以及外壁不同的側(cè)面的呼稱(以下相同)。同樣，由外側(cè)面20e和槽20b形成外壁20g。另外，由槽20a、20b、20c形成內(nèi)壁 20h、20i。具體地說(shuō)，通過(guò)將槽20a的至少一部分和槽20c的至少一部分配置為在與主面 IOOaUOOb交叉或正交的方向上重疊，由此形成內(nèi)壁20h。為了能這樣地形成，只要使槽20a 的深度與槽20c的深度之和大于主面IOOa與主面IOOb之間的距離即可。通過(guò)將槽20b的至少一部分與槽20c的至少一部分配置為在與主面100a，IOOb交叉或正交的方向上重疊， 由此形成內(nèi)壁20i。為了能這樣地形成，只要使槽20b的深度與槽20c的深度之和大于主面IOOa與主面IOOb之間的距離即可。此外，槽20a、20b以及20c的深度小于主面IOOa與主面IOOb之間的距離。振動(dòng)臂21也與振動(dòng)臂20同樣地形成有外壁21f、21g和內(nèi)壁21h、 21i。雖然在圖2的⑶中未作圖示，但在振動(dòng)臂20的外壁20f、20g與內(nèi)壁20h，20i以及振動(dòng)臂21的外壁21f、21g與內(nèi)壁21h、21i上形成有用于使振動(dòng)臂20、21進(jìn)行彎曲振動(dòng)的后述的激勵(lì)電極。在形成的激勵(lì)電極中流過(guò)電流，使外壁20f、20g、21f、21g、內(nèi)壁20h、20i、 21h、21i交替地伸縮，由此構(gòu)成使振動(dòng)臂20、21進(jìn)行彎曲振動(dòng)的激勵(lì)部。圖3示意性示出振動(dòng)片100中形成的電極布線，相對(duì)于(A)的平面圖、(B)示出從背面觀察的平面圖。此外在以后的說(shuō)明中，為了便于說(shuō)明而將圖3的(A)所示的面稱為正面，將(B)所示的面稱為背面。如圖3的(A)以及(B)所示，在振動(dòng)片100的正面背面形成有激勵(lì)用的電極30和電極40，從未圖示的振蕩電路向電極30和電極40中流入交變電流， 使振動(dòng)臂20和21進(jìn)行彎曲振動(dòng)。當(dāng)在正面安裝振動(dòng)片100時(shí)，電極30以及40與未圖示的外部連接端子電連接，并被引導(dǎo)至包含固定的支撐臂IOa以及IOb的基部10，形成基部電極30i、40i。此外，形成于基部10的基部電極30i經(jīng)由基部10的側(cè)面部形成背面的基部電極30i。從基部電極30i、 40i向作為激勵(lì)部的振動(dòng)臂20、21的槽延伸。接著，參照示出包含圖3的(A)中的槽的Q-Q’剖面的圖4來(lái)說(shuō)明電極膜。首先， 對(duì)振動(dòng)臂20進(jìn)行說(shuō)明。在振動(dòng)臂20的正面形成有槽20a、20b，在背面形成有槽20c。由該槽20a.20b.20c和振動(dòng)臂20的外側(cè)面20d、20e形成外壁20f、20g、內(nèi)壁20h、20i。沿著該外壁20f、20g、內(nèi)壁20h、20i的壁面進(jìn)行電極30、40的布線。在外壁20f上，在外側(cè)面20d部分中形成激勵(lì)電極30a，在槽20a部分中形成激勵(lì)電極40a。在內(nèi)壁20h上，在槽20a部分中形成激勵(lì)電極30b，在槽20c部分中形成激勵(lì)電極40b。在內(nèi)壁20i上，在槽20c部分中形成激勵(lì)電極40c，在槽20b部分中形成激勵(lì)電極 30c。在外壁20g上，在槽20b部分中形成激勵(lì)電極40d，在外側(cè)面20e部分中形成激勵(lì)電極 30d。這里，當(dāng)使電流流入電極30、40時(shí)，在形成有激勵(lì)電極30a和40a、激勵(lì)電極30b和 40b的外壁20f與內(nèi)壁20h中產(chǎn)生相同方向的電場(chǎng)。另外，在形成有激勵(lì)電極30d和40d、 激勵(lì)電極30c和40c的外壁20g與內(nèi)壁20i中在相同方向上產(chǎn)生與外壁20f和內(nèi)壁20h反向的電場(chǎng)。因此，例如在外壁20f和內(nèi)壁20h中產(chǎn)生了使外壁20f和內(nèi)壁20h伸展的方向的電場(chǎng)時(shí)，在外壁20g和內(nèi)壁20i中產(chǎn)生相反的收縮方向的電場(chǎng)，而在外壁20f和內(nèi)壁20h 中在使外壁20f和內(nèi)壁20h收縮的方向上產(chǎn)生了電場(chǎng)時(shí)，在外壁20g和內(nèi)壁20i中產(chǎn)生相反的伸展方向的電場(chǎng)。通過(guò)交替重復(fù)該動(dòng)作，從而振動(dòng)臂20反復(fù)進(jìn)行在圖3的(A)的振動(dòng)臂20的前端部處描繪出的箭頭方向所示的彎曲振動(dòng)。同樣對(duì)振動(dòng)臂21進(jìn)行說(shuō)明。關(guān)于振動(dòng)臂21，將電極30和40引導(dǎo)成，使得在外壁 21f和內(nèi)壁21h中在相同方向上產(chǎn)生電場(chǎng)、且在外壁21g和內(nèi)壁21i中在相同方向上產(chǎn)生與外壁21f和內(nèi)壁21h反向的電場(chǎng)。因此，例如在外壁21f和內(nèi)壁21h中在使外壁21f和內(nèi)壁21h伸展的方向上產(chǎn)生了電場(chǎng)時(shí)，在外壁21g和內(nèi)壁21i中產(chǎn)生相反的收縮方向的電場(chǎng)。而在外壁21f和內(nèi)壁21h中在使外壁21f和內(nèi)壁21h收縮的方向上產(chǎn)生電場(chǎng)時(shí)，在外壁21g和內(nèi)壁21i中產(chǎn)生相反的伸展方向的電場(chǎng)。通過(guò)交替地重復(fù)該動(dòng)作，從而振動(dòng)臂21 反復(fù)進(jìn)行在圖3的(A)的振動(dòng)臂21的前端部處描繪出的箭頭方向所示的彎曲振動(dòng)。此外，進(jìn)行了使得振動(dòng)臂20的外壁20f、內(nèi)壁20h與振動(dòng)臂21的外壁21f、內(nèi)壁 21h產(chǎn)生同向電場(chǎng)的電極布線。另外，還進(jìn)行了使得振動(dòng)臂20的外壁20g、內(nèi)壁20i與振動(dòng)臂21的外壁21g、內(nèi)壁21i產(chǎn)生同向電場(chǎng)且振動(dòng)臂20的外壁20f、內(nèi)壁20h與振動(dòng)臂21的外壁21f、內(nèi)壁21h產(chǎn)生反向電場(chǎng)的電極布線。由此，振動(dòng)臂20和振動(dòng)臂21進(jìn)行前端部反復(fù)接近和相離的作為音叉型振動(dòng)片的彎曲振動(dòng)。如上所述，通過(guò)使振動(dòng)臂20以及21所具備的彎曲振動(dòng)部的各個(gè)壁以電氣方式進(jìn)行彎曲振動(dòng)而產(chǎn)生伸縮，由此使振動(dòng)臂20和21進(jìn)行彎曲振動(dòng)。此時(shí)，關(guān)于各個(gè)壁的壁面， 當(dāng)壁收縮時(shí)壁面的溫度上升，當(dāng)壁拉伸時(shí)壁面的溫度下降。對(duì)于振動(dòng)臂20，例如當(dāng)外壁20f與內(nèi)壁20h拉伸、外壁20g與內(nèi)壁20i收縮時(shí)，外壁20f與內(nèi)壁20h的溫度上升，外壁20g與內(nèi)壁20i的溫度下降。因此，在外壁20f、內(nèi)壁20h與外壁20g、內(nèi)壁20i之間產(chǎn)生溫度差。 該溫度差因熱傳導(dǎo)(熱移動(dòng))而接近溫度平衡狀態(tài)，因此，以機(jī)械方式取出的能量減少而導(dǎo)致Q值劣化。并且，彎曲振動(dòng)的頻率和與大致到達(dá)溫度平衡狀態(tài)為止的緩和時(shí)間το成反比的緩和頻率fo越接近，Q值的劣化越大。這里，緩和頻率fo和緩和時(shí)間τ ο用f0 = 1/ (2 π τ θ)表示。通過(guò)由多個(gè)壁形成振動(dòng)臂20以及21的彎曲振動(dòng)部而延長(zhǎng)振動(dòng)部的熱傳遞路徑， 由此，緩和時(shí)間τ變長(zhǎng)。因此，緩和頻率fo遠(yuǎn)離于彎曲振動(dòng)頻率，能夠抑制因熱彈性效應(yīng)引起的Q值降低。另外，本發(fā)明的振動(dòng)片可實(shí)質(zhì)性地增加激勵(lì)電極的面積，所以能夠提高與振動(dòng)相關(guān)的機(jī)械系統(tǒng)與電氣系統(tǒng)之間的轉(zhuǎn)換效率。即，如圖5的等效電路所示，從圖5中左側(cè)朝向電氣系統(tǒng)的作為輸入阻抗Z的機(jī)械系統(tǒng)的阻抗值、即CI值用Κπι/Φ2(Φ是機(jī)械系統(tǒng)與電氣系統(tǒng)的轉(zhuǎn)換效率)來(lái)表示，因此能夠提高轉(zhuǎn)換效率Φ，所以能夠減小CI值。此外，上面對(duì)彎曲振動(dòng)模式的振動(dòng)片進(jìn)行了說(shuō)明，但是，即使是將彎曲振動(dòng)模式作為主體的包含其它振動(dòng)模式例如扭轉(zhuǎn)振動(dòng)模式的振動(dòng)片，也能夠獲得具有與上述同樣效果、即能夠防止Q值降低且CI值高的振動(dòng)片。此外，在本實(shí)施方式中，關(guān)于槽的配置，說(shuō)明了在振動(dòng)片100的振動(dòng)臂20的主面 100a側(cè)形成槽20a、20b、在振動(dòng)臂21中形成槽21a、21b這兩個(gè)槽、在各振動(dòng)臂的另一主面 100b側(cè)形成槽20c、21c各1個(gè)槽的形式，不過(guò)也可以是在振動(dòng)臂20或21中的某一振動(dòng)臂的正面形成一個(gè)槽、在背面?zhèn)刃纬?個(gè)槽的形式。另外，形成在各振動(dòng)臂20、21的中央槽即槽20c以及21c中的激勵(lì)電極40b、40c 以及30f、30g在槽底部是相離的，不過(guò)，因?yàn)樵摷?lì)電極40b、40c以及30f、30g是流過(guò)同相電流的激勵(lì)電極，所以它們?cè)诓鄣撞恳部梢允窍噙B的。并且，通過(guò)在槽底部相連，能夠容易地制作電極。此外，形成于振動(dòng)臂20以及21上的槽的配置也可以如圖6所示的振動(dòng)臂20以及 21的槽部分的剖面形狀那樣，僅在一方的主面?zhèn)仍O(shè)置槽20a、20b、20c的開(kāi)口，在圖6中是僅在主面100a側(cè)開(kāi)口。另外，雖未圖示，例如，即使另一方的振動(dòng)臂21的槽開(kāi)口是與一方的振動(dòng)臂20的槽開(kāi)口為相同方向，也可以在另一方的主面100b側(cè)開(kāi)口。圖7是示出形成于彎曲振動(dòng)部的槽、壁的形成形式的其它形式的剖視圖。圖7㈧ 以及⑶是其它形式的振動(dòng)片，示出圖3的㈧中的Q-Q’剖面位置的剖面形狀。圖7的 (A)所示的振動(dòng)片在振動(dòng)臂20、21的主面100a側(cè)形成槽50a、50b兩個(gè)槽，在另一方的主面 100b側(cè)形成槽50c、50d兩個(gè)槽，構(gòu)成5個(gè)壁。此時(shí)，在外壁50e、50i和內(nèi)壁50f，50h上形成電極30與40。因?yàn)橹醒氩康膬?nèi)壁50g形成在振動(dòng)臂20、21的中央部，所以是對(duì)振動(dòng)臂20、 21的彎曲振動(dòng)沒(méi)有貢獻(xiàn)的壁，因此不形成電極30或40。圖7的(B)所示的振動(dòng)片在振動(dòng)臂20、21的主面100a側(cè)形成有槽60a、60b、60c 三個(gè)槽，在另一方的主面100b側(cè)形成有槽60d、60e兩個(gè)槽，構(gòu)成6個(gè)壁。此時(shí)，電極30和 40形成在外壁60f、60k和內(nèi)壁60g、60h、60i上。根據(jù)上述圖7所說(shuō)明的形式，本發(fā)明的槽在振動(dòng)臂的一方的表面上形成2個(gè)以上的槽，在另一方的表面上形成1個(gè)以上的槽，由此能夠?qū)崿F(xiàn)抑制了 Q值降低和高CI值的振動(dòng)片。(第2實(shí)施方式)對(duì)采用了上述第1實(shí)施方式的振動(dòng)片100的振子進(jìn)行說(shuō)明。圖8的(A)是去除蓋體而露出內(nèi)部的狀態(tài)下的振子1000的平面圖，圖8的⑶是示出圖8的㈧中的B-B’線的剖面的剖視圖。在層疊第1基板201、第2基板202、第3基板203而形成的封裝200的內(nèi)部，使振動(dòng)片100的支撐臂10a、IOb的電極30、40面向第2基板202上具備的電極部500 并通過(guò)導(dǎo)電性粘接劑600電連接到該電極部500上，從而將振動(dòng)片100固定在封裝200上。 電極部500經(jīng)由未圖示的封裝200內(nèi)的路徑，與形成在封裝200外部的安裝端子501連接。在減壓室內(nèi)，在固定著振動(dòng)片100的封裝200的開(kāi)口端部，利用密封劑400將蓋體 300固定到封裝200上，使振子1000的內(nèi)部保持為減壓狀態(tài)。這樣得到的振子1000可經(jīng)由安裝端子501利用來(lái)自未圖示的振蕩電路的交變電流使振動(dòng)片100進(jìn)行彎曲振動(dòng)。通過(guò)在振子1000中采用第1實(shí)施方式的振動(dòng)片100，能夠獲得防止了 Q值降低且具有高CI值的振子。(第3實(shí)施方式)作為第3實(shí)施方式，對(duì)采用了上述第1實(shí)施方式的振動(dòng)片100的振蕩器進(jìn)行說(shuō)明。 圖9是示出第3實(shí)施方式的振蕩器2000的剖視圖。本實(shí)施方式相對(duì)于上述振子1000的不同點(diǎn)僅僅是具有包含驅(qū)動(dòng)振動(dòng)片100的驅(qū)動(dòng)電路的IC芯片，所以省略與振子1000相同結(jié)構(gòu)的說(shuō)明，并對(duì)相同結(jié)構(gòu)標(biāo)注同一標(biāo)號(hào)。如圖9所示，在振蕩器2000中，振動(dòng)片100固定于封裝200內(nèi)部的第2基板202 上所設(shè)置的電極部500上。此外，在第1基板201上利用粘接劑等固定著IC芯片700，利用金屬線800將形成于IC芯片700上表面的IC連接焊盤701與形成于第1基板201上的內(nèi)部連接端子502電連接。通過(guò)采用第1實(shí)施方式的振動(dòng)片100，能夠獲得防止了 Q值降低且具有高CI值的振蕩器。(第4實(shí)施方式)作為第4實(shí)施方式，對(duì)具有上述第1實(shí)施方式的振動(dòng)片100和使該振動(dòng)片100驅(qū)動(dòng)的電路部的電子設(shè)備進(jìn)行說(shuō)明。圖10以及圖11示出作為第4實(shí)施方式的電子設(shè)備的一例的便攜電話機(jī)。圖10 是示出便攜電話機(jī)的外觀概略的立體圖，圖11是說(shuō)明便攜電話機(jī)的電路部的電路框圖。在該便攜電話機(jī)3000中可使用上述振動(dòng)片100。針對(duì)振動(dòng)片100的結(jié)構(gòu)、作用采用同一標(biāo)號(hào)等，并省略其說(shuō)明。如圖10所示，便攜電話機(jī)3000設(shè)置有作為顯示部的LCD (Liquid Crystal Display 液晶顯示器)3010、作為數(shù)字等的輸入部的鍵3020、麥克風(fēng)3030、揚(yáng)聲器3110、以及未圖示的電路部等。如圖11所示，在利用便攜電話機(jī)3000進(jìn)行發(fā)送時(shí)，當(dāng)使用者將自己的聲音輸入麥克風(fēng)3030時(shí)，信號(hào)經(jīng)由脈寬調(diào)制/編碼模塊3040和調(diào)制器/解調(diào)器模塊3050并經(jīng)過(guò)發(fā)射機(jī)3060、天線開(kāi)關(guān)307從天線3080發(fā)送出去。另一方面，從對(duì)方電話機(jī)發(fā)送來(lái)的信號(hào)由天線3080接收，并經(jīng)由天線開(kāi)關(guān)3070、 接收濾波器3090，從接收機(jī)3100輸入到調(diào)制器/解調(diào)器模塊3050。并且，經(jīng)調(diào)制或解調(diào)后的信號(hào)經(jīng)由脈寬調(diào)制/編碼模塊3040作為聲音輸出到揚(yáng)聲器3110。其中，設(shè)置有用于控制天線開(kāi)關(guān)3070及調(diào)制器/解調(diào)器模塊3050等的控制器 3120。該控制器3120除了上述部件以外還控制作為顯示部的IXD 3010及作為數(shù)字等的輸入部的鍵3020和RAM 3130及ROM 3140等，所以要求高精度。另外，還要求便攜電話機(jī) 3000的小型化。作為符合這樣的要求的裝備，采用上述石英振動(dòng)片100。此外，作為其它結(jié)構(gòu)模塊，便攜電話機(jī)3000具有溫度補(bǔ)償型石英振蕩器3150、接收機(jī)用合成器3160、發(fā)射機(jī)用合成器3170等，但省略它們的說(shuō)明。對(duì)于該便攜電話機(jī)3000中使用的上述振動(dòng)片100，由多個(gè)壁形成振動(dòng)臂20以及 21的彎曲振動(dòng)部，由此能夠抑制因熱彈性效應(yīng)引起的Q值降低，并且能夠減小CI值，所以能夠在保持振動(dòng)特性的同時(shí)，進(jìn)一步使其小型化。因此，采用該振動(dòng)片的電子設(shè)備能夠持續(xù)保持作為電子設(shè)備的功能。作為本發(fā)明的電子設(shè)備，還可舉出圖12所示的個(gè)人計(jì)算機(jī)(移動(dòng)型個(gè)人計(jì)算機(jī))4000。個(gè)人計(jì)算機(jī)4000具有顯示部4010、輸入鍵部4020等，并且，作為其電氣控制的基準(zhǔn)時(shí)鐘采用了上述振動(dòng)片100。另外，作為具有本發(fā)明的振動(dòng)片100的電子設(shè)備，除了前述電子設(shè)備之外，還可舉出例如數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)、噴墨式吐出裝置(例如噴墨打印機(jī))、膝上型個(gè)人計(jì)算機(jī)、電視、攝像機(jī)、錄像機(jī)、汽車導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子筆記本(還包含附帶通信功能的電子筆記本)、 電子詞典、計(jì)算器、電子游戲設(shè)備、文字處理器、工作站、電視電話、防盜用電視監(jiān)視器、電子雙筒望遠(yuǎn)鏡、POS終端、醫(yī)療設(shè)備(例如，電子體溫計(jì)、血壓計(jì)、血糖計(jì)、心電圖測(cè)量裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡)、魚(yú)群探測(cè)機(jī)、各種測(cè)定設(shè)備、計(jì)量?jī)x器類(例如，車輛、飛機(jī) (航空器)、船舶的計(jì)量?jī)x類)、飛行模擬器等。以上，根據(jù)圖示的實(shí)施方式說(shuō)明了本發(fā)明的振動(dòng)片、振子、振蕩器以及電子設(shè)備， 但本發(fā)明不限于此，各部分的結(jié)構(gòu)可置換為具有同樣功能的任意結(jié)構(gòu)。另外，在本發(fā)明中可附加其它任意的結(jié)構(gòu)體。另外，本發(fā)明還可以組合上述各實(shí)施方式中的任意2個(gè)以上結(jié)構(gòu) (特征)。例如，在上述實(shí)施方式中，以振動(dòng)片具有作為振動(dòng)部的2個(gè)振動(dòng)臂的情況為例進(jìn)行了說(shuō)明，但振動(dòng)臂的數(shù)量可以是3個(gè)以上。另外，在上述實(shí)施方式中說(shuō)明的振動(dòng)片除了壓控石英振蕩器(VCXO)、溫度補(bǔ)償石英振蕩器(TCXO)、帶恒溫槽的石英振蕩器(OCXO)等壓電振蕩器之外，還能夠應(yīng)用于陀螺儀傳感器等。
權(quán)利要求
1.一種振動(dòng)片，其特征在于，具有 基部；以及振動(dòng)臂，其從上述基部延伸地形成，并具有進(jìn)行彎曲振動(dòng)的彎曲振動(dòng)部， 上述彎曲振動(dòng)部具備沿著上述振動(dòng)臂的上述彎曲振動(dòng)的方向形成的1對(duì)主面；和與上述振動(dòng)臂的上述主面交叉的外側(cè)面，上述彎曲振動(dòng)部形成有3個(gè)以上的槽部，上述槽部沿著與上述主面交叉的方向形成在上述主面的兩面或者任意一面上， 由上述外側(cè)面和最接近該外側(cè)面的上述槽部形成的外壁、以及由相鄰的上述槽部形成的內(nèi)壁的一部分或全部以電氣方式進(jìn)行彎曲振動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)片，其特征在于，形成上述內(nèi)壁的相鄰的上述槽部中的一方的上述槽部的開(kāi)口部形成在上述主面中的一方的上述主面上，另一方的上述槽部的開(kāi)口部形成在另一方的上述主面上，一方的上述主面具有1個(gè)以上的上述槽部，另一方的上述主面具有2個(gè)以上的上述槽部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的振動(dòng)片，其特征在于，形成上述內(nèi)壁的相鄰的上述槽部的至少一部分在與上述主面交叉的方向上重疊。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的振動(dòng)片，其特征在于，該振動(dòng)片是從上述基部平行地延伸出2個(gè)上述振動(dòng)臂的音叉型振動(dòng)片。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的振動(dòng)片，其特征在于， 上述基部以及上述振動(dòng)臂由壓電材料形成。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的振動(dòng)片，其特征在于， 上述壓電材料是石英。
7.一種振子，其特征在于，具有權(quán)利要求1 6中任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)片；以及收納上述振動(dòng)片的封裝。
8.一種振蕩器，其特征在于，具有權(quán)利要求1 6中任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)片；以及驅(qū)動(dòng)上述振動(dòng)片的電路部。
9.一種電子設(shè)備，其特征在于，具有權(quán)利要求1 6中任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)片；以及驅(qū)動(dòng)上述振動(dòng)片的電路部。
全文摘要
本發(fā)明提供振動(dòng)片、振子、振蕩器以及電子設(shè)備，其課題是防止因熱彈性效應(yīng)引起的Q值降低并同時(shí)降低CI值。振動(dòng)片(100)具有基部(10)；以及從基部(10)延伸地形成的進(jìn)行彎曲振動(dòng)的作為振動(dòng)部的一對(duì)振動(dòng)臂(20、21)。由振動(dòng)臂(20)的外側(cè)面(20d)和槽(20a)形成外壁(20f)。同樣，由外側(cè)面(20e)和槽(20b)形成外壁(20g)。另外，由槽(20a、20b、20c)形成內(nèi)壁(20h、20i)。振動(dòng)臂(21)也與振動(dòng)臂(20)同樣形成有外壁(21f、21g)和內(nèi)壁(21h、21i)。
文檔編號(hào)H03H9/15GK102195605SQ20111004998
公開(kāi)日2011年9月21日 申請(qǐng)日期2011年3月2日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月5日
發(fā)明者古畑誠(chéng), 山田明法 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社