專利名稱:片式壓電陶瓷頻率器件的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種片式壓電陶瓷頻率器件的制造方法。
背景技術(shù):
壓電陶瓷頻率器件作為頻率選擇和頻率控制器件廣泛應(yīng)用于通訊、電視、計(jì)算機(jī)和工業(yè)自動(dòng)化等領(lǐng)域。片式壓電陶瓷頻率器件中的壓電陶瓷振子是通過(guò)機(jī)械振動(dòng)的方式進(jìn)行工作的,因此它必須要有一個(gè)振動(dòng)空腔。如何形成這種空腔是制造片式壓電陶瓷頻率器件的關(guān)鍵之一。目前較普遍的辦法是將壓電陶瓷振子用導(dǎo)電膠粘在一片具有金屬外電極的陶瓷基板上,然后粘結(jié)上一個(gè)陶瓷或金屬的蓋帽。這種結(jié)構(gòu)俗稱“蓋帽型片式”。這種型式的產(chǎn)品存在以下三個(gè)缺點(diǎn)1、陶瓷或金屬蓋帽會(huì)產(chǎn)生形變,其中,陶瓷蓋帽的形變是在燒結(jié)時(shí)引起的,在與基板粘結(jié)后容易造成氣密性不好或剝落;2、由于基板上內(nèi)電極的引出是用導(dǎo)電漿料通過(guò)穿孔印刷的辦法實(shí)現(xiàn)的,基座上的通孔不能做得太小,使產(chǎn)品的尺寸偏大;3、帽蓋很小,需要一個(gè)一個(gè)套上去,用手工操作時(shí),不但偏差大而且效率低,用專用自動(dòng)機(jī)器操作,則價(jià)格昂貴、制造成本高。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在提出一種片式壓電陶瓷頻率器件的制造方法,不但能使片式壓電陶瓷頻率器件的尺寸小、氣密性好,而且制造成本低、效率高。
這種片式壓電陶瓷頻率器件的制造方法,包括下列五個(gè)步驟步驟一根據(jù)產(chǎn)品平面尺寸要求,制作兩片帶m×n個(gè)列陣凹坑的陶瓷板作為上蓋板和下蓋板,在上述陶瓷板上按產(chǎn)品要求用銀漿印上內(nèi)、外電極,再作燒銀處理。
步驟二將裝有m×n個(gè)振子單元的中間夾板夾在上蓋板和下蓋板之間,上蓋板的凹坑面朝下,下蓋板的凹坑面朝上,粘合起來(lái)。其中所述的中間夾板上有m×n個(gè)列陣的通孔,中間夾板的厚度和壓電陶瓷振子片的厚度相一致,中間夾板上每列的n個(gè)通孔互相連通,上述通孔的互相連通處的寬度與壓電陶瓷振子片的寬度相當(dāng),僅留有可放入壓電陶瓷振子片的間隙,每列通孔的兩個(gè)端部的寬度與通孔連通處的寬度相同,每個(gè)通孔中放入一個(gè)壓電陶瓷振子片。每列通孔中的壓電陶瓷振子片首尾相接排成一條。
步驟三將上述粘合后的粘合片加熱加壓,待粘合劑固化,形成粘合在一起的復(fù)合片。
步驟四將復(fù)合片按產(chǎn)品尺寸要求,切割成m×n個(gè)產(chǎn)品單元。
步驟五在切割后的產(chǎn)品單元的端面蒸發(fā)上端面電極,使內(nèi)電極和外電極導(dǎo)通。
這種片式壓電陶瓷頻率器件的制造方法利用上、下蓋板的凹坑和中間夾板上的通孔形成振動(dòng)空腔,上、下蓋板和壓電陶瓷振子片在粘合時(shí)經(jīng)加熱加壓,保證片與片之間的粘結(jié)狀態(tài)良好,從而保證了產(chǎn)品的氣密性和可靠性。并且還省去了粘貼帽蓋所需的昂貴的設(shè)備,降低了成本,生產(chǎn)效率也較高。
附圖1為“蓋帽型片式”壓電陶瓷頻率器件的結(jié)構(gòu)圖;附圖2為帶m×n個(gè)列陣凹坑的陶瓷板;附圖3為帶m×n個(gè)列陣通孔的中間夾板;附圖4為通孔中放有壓電陶瓷振子片的中間夾板;附圖5為上、下蓋板和中間夾板粘合的示意圖;附圖6為用本發(fā)明的方法制成的片式壓電陶瓷頻率器件的結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施例方式
如圖1所示,已有的“蓋帽型片式”壓電陶瓷頻率器件是將壓電陶瓷振子2用導(dǎo)電膠粘在一片具有金屬外電極的陶瓷基板1上,然后粘結(jié)上一個(gè)陶瓷或金屬的蓋帽3。
本發(fā)明所提出的這種片式壓電陶瓷頻率器件的制造方法包括下列步驟步驟一根據(jù)產(chǎn)品平面尺寸要求,制作如圖2所示的兩片帶m×n個(gè)列陣凹坑4的陶瓷板5作為上蓋板和下蓋板,在上述陶瓷板上按產(chǎn)品要求用銀漿印上內(nèi)、外電極,再作燒銀處理。圖中所示的列陣凹坑數(shù)為5×4個(gè)。
步驟二如圖5所示,將有m×n個(gè)振子單元列陣的中間夾板6夾在上蓋板和下蓋板之間,上蓋板的凹坑面朝下,下蓋板的凹坑面朝上,粘合起來(lái)。如圖3和圖4所示,中間夾板上有m×n個(gè)列陣的通孔7,中間夾板的厚度和壓電陶瓷振子片的厚度相一致。中間夾板上每列的n個(gè)通孔7互相連通,上述通孔的互相連通處11的寬度與壓電陶瓷振子片8的寬度相當(dāng),僅留有可放入振子的間隙,每列通孔的兩個(gè)端部12的寬度與通孔連通處11的寬度相同。每個(gè)通孔中放入一個(gè)壓電陶瓷振子片8,共m×n個(gè)壓電陶瓷振子片。每列通孔中的壓電陶瓷振子片8首尾相接排成一條。
步驟三將上述粘合后的粘合片加熱加壓,待粘合劑固化,形成粘合在一起的復(fù)合片。
步驟四將復(fù)合片按產(chǎn)品尺寸要求,切割成m×n個(gè)產(chǎn)品單元。按圖所示的粘合片可切割成20個(gè)產(chǎn)品單元。
步驟五如圖6所示,在切割后的產(chǎn)品單元的端面蒸發(fā)上端面電極10,使內(nèi)電極和外電極導(dǎo)通。這種片式壓電陶瓷頻率器件的制作過(guò)程即告完成。
本發(fā)明中所用的中間夾板6的材料可以是環(huán)氧樹(shù)脂,也可以是陶瓷材料。
權(quán)利要求
1.一種片式壓電陶瓷頻率器件的制造方法,包括下列步驟步驟一根據(jù)產(chǎn)品平面尺寸要求,制作兩片帶m×n個(gè)列陣凹坑(4)的陶瓷板(5)作為上蓋板和下蓋板,在上述陶瓷板上按產(chǎn)品要求用銀漿印上內(nèi)、外電極,再作燒銀處理;步驟二將裝有m×n個(gè)振子單元的中間夾板夾在上蓋板和下蓋板之間,上蓋板的凹坑面朝下,下蓋板的凹坑面朝上,粘合起來(lái);步驟三將上述粘合后的粘合片加熱加壓,待粘合劑固化,形成粘合在一起的復(fù)合片;步驟四將復(fù)合片按產(chǎn)品尺寸要求,切割成m×n個(gè)產(chǎn)品單元;步驟五在切割后的產(chǎn)品單元的端面蒸發(fā)上端面電極(10),使內(nèi)電極和外電極導(dǎo)通;其特征是步驟二中所述的中間夾板(6)上有m×n個(gè)列陣的通孔(7),中間夾板的厚度和壓電陶瓷振子片的厚度相一致,中間夾板上每列的n個(gè)通孔(7)互相連通,上述通孔的互相連通處(11)的寬度與壓電陶瓷振子片(8)的寬度相當(dāng),每列通孔的兩個(gè)端部(12)的寬度與通孔連通處(11)的寬度相同,每個(gè)通孔中放入一個(gè)壓電陶瓷振子片(8),每列通孔中的壓電陶瓷振子片首尾相接排成一條。
2.如權(quán)利要求1所述的片式壓電陶瓷頻率器件的制造方法,其特征是所述的中間夾板(6)的材料為環(huán)氧樹(shù)脂。
3.如權(quán)利要求1所述的片式壓電陶瓷頻率器件的制造方法,其特征是所述的中間夾板(6)的材料為陶瓷材料。
全文摘要
一種片式壓電陶瓷頻率器件的制造方法,將裝有m×n個(gè)振子單元列陣的中間夾板夾在帶m×n個(gè)列陣凹坑(4)的陶瓷板上蓋板和下蓋板之間,粘合起來(lái),加熱加壓、固化,切割成m×n個(gè)產(chǎn)品單元。其中的中間夾板(6)上有m×n個(gè)列陣的通孔(7),每個(gè)通孔中放入一個(gè)壓電陶瓷振子片(8),中間夾板的厚度和壓電陶瓷振子片的厚度相一致,中間夾板上每列的n個(gè)通孔(7)互相連通,每列通孔中的壓電陶瓷振子片首尾相接排成一條。這種方法利用上、下蓋板的凹坑和中間夾板上的孔形成振動(dòng)空腔,上、下蓋板和壓電陶瓷振子片之間的粘結(jié)狀態(tài)良好,氣密性和可靠性高。還省去了昂貴的設(shè)備,降低了成本,生產(chǎn)效率也較高。
文檔編號(hào)H03H9/00GK1862957SQ20061005196
公開(kāi)日2006年11月15日 申請(qǐng)日期2006年6月14日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月14日
發(fā)明者徐圣洲, 李琳, 沈金葉 申請(qǐng)人:浙江嘉康電子股份有限公司