專(zhuān)利名稱(chēng)：電子元件及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種形成于一個(gè)元件上的具有由光敏導(dǎo)電膏和非光敏導(dǎo)電膏組成的電極導(dǎo)線的電子元件，以及該電子元件的制造方法，更具體地涉及一種包含適用于片狀感應(yīng)器(chip inductor)、LC濾波器、電介質(zhì)濾波器和非可逆電路元件(循環(huán)器，單向器isolator)的電極導(dǎo)線的電子元件以及該電子元件的一種制造方法。
電子元件的導(dǎo)電圖要求很精細(xì)并且高度可靠。例如，近年來(lái)，攜帶式電話已發(fā)展到更高的頻率，并且許多具有極好頻率特性的無(wú)鉛部件已被利用。特別是，對(duì)于電極部分，它需要精確到以微米為單位的很細(xì)的導(dǎo)電圖被穩(wěn)定地高產(chǎn)量地生產(chǎn)出。同時(shí)，承受包括高溫、振動(dòng)、濕度這些惡劣環(huán)境的能力必須高度可靠。
關(guān)于導(dǎo)電圖的精度，由于傳統(tǒng)所用的100μm到150μm的尺寸已不能滿足目前更小尺寸和更高頻率的要求，在片狀感應(yīng)器組件內(nèi)，例如陶瓷片基、陶瓷多層片基或半導(dǎo)體，已經(jīng)要求電極導(dǎo)線的圖形精度、節(jié)距尺寸或者行一間距要小到30μm到50μm或更小。
由于微型化，安裝圖形或者安裝部分的電極要求更強(qiáng)和更高度可靠。另外，目前無(wú)鉛的趨勢(shì)使得錫焊溫度提高，因此需要耐熱電極以承受這種高溫。
由于真空沉積作用造成導(dǎo)線膜厚度很小以及很低的生產(chǎn)率，要在一表面上形成電極或?qū)Ь€分布圖，通常使用一種利用導(dǎo)電膏的厚膜印刷方法。利用篩網(wǎng)和擠壓器將銀膏被印刷到陶瓷元件上，以形成導(dǎo)線分布圖。其后，執(zhí)行干燥過(guò)程，該導(dǎo)線分布圖在從大約450℃到1000℃的溫度下被燒結(jié)，這樣電極導(dǎo)線就制成了。
用上面所述的絲網(wǎng)印刷方法來(lái)以高精度和穩(wěn)定性形成細(xì)導(dǎo)電圖，存在多種尺寸分散因素(dimensional dispersion factor)，包括(1)絲網(wǎng)的位置精確度、(2)模板的位置精度、(3)膏的滲出、(4)模糊的印刷、(5)絲網(wǎng)的退化和(6)擠壓器的退化。由于這種影響，最終電特性(例如，片狀電感的感應(yīng)系數(shù)，或電介質(zhì)濾波器的濾波特性)受到了影響。因此，不得不使用刻紋機(jī)(router)進(jìn)行多個(gè)步驟以對(duì)該濾波器進(jìn)行修整從而得到好的產(chǎn)品。
特別是，在片狀元件或電介質(zhì)濾波器的端面上布置有象電極這樣的不規(guī)則部件或通孔的情況下，僅通過(guò)導(dǎo)電膏的絲網(wǎng)印刷是不可能解決這個(gè)問(wèn)題的。作為一個(gè)特例，下面將描述一在電介質(zhì)塊內(nèi)通孔的一側(cè)形成的具有細(xì)導(dǎo)線分布圖的電介質(zhì)濾波器。
在圖形印刷在與上邊結(jié)構(gòu)相同的電介質(zhì)濾波器的電介質(zhì)塊上進(jìn)行的情況下，考慮到生產(chǎn)率，將多個(gè)電介質(zhì)塊同時(shí)布置在一個(gè)模板上，接著用導(dǎo)電膏來(lái)進(jìn)行絲網(wǎng)印刷。


圖17A至17E顯示出傳統(tǒng)絲網(wǎng)印刷方法的圖形印刷過(guò)程。圖17A顯示出將電介質(zhì)塊1布置在印刷模板2上的步驟。電介質(zhì)塊1布置在具有許多空腔3的模板2上。圖17B顯示出該模板2的橫截面，其中具有空腔3的電介質(zhì)塊1以固定的間距布置。圖17C顯示出利用具有預(yù)定圖形的印刷絲網(wǎng)5印刷導(dǎo)電膏4的步驟，其中通過(guò)擠壓器6將導(dǎo)電膏4印刷在圖形8內(nèi)。
然而，如圖17D所示，絲網(wǎng)5一開(kāi)始沒(méi)有變形，但是重復(fù)進(jìn)行該操作時(shí)，如圖17E所示，絲網(wǎng)5可能變形了。原因在于，在如圖17C所示電介質(zhì)塊1被布置在模板2上的情況下，必須只能由印刷絲網(wǎng)5的與模板距離ΔW的兩部分來(lái)承受印刷壓力。因此，印刷絲網(wǎng)5被加載，并被拉伸，所以位置精度明顯變差。
正相反，由于絲網(wǎng)印刷受到了精度的限制，近年來(lái)人們?cè)谟霉饷魧?dǎo)電膏(具有光敏性的導(dǎo)電膏)通過(guò)曝光和顯影過(guò)程(光刻過(guò)程)來(lái)制得預(yù)定圖形的電極導(dǎo)線方面進(jìn)行了很多嘗試。
在使用這種光敏導(dǎo)電膏的生產(chǎn)方法中，可以得到精細(xì)的導(dǎo)線分布圖，但仍存在下述問(wèn)題。
(1)特別地，絲網(wǎng)印刷有一缺點(diǎn)即網(wǎng)眼標(biāo)記(mesh mark)產(chǎn)生氣孔缺陷。對(duì)于這點(diǎn)，提高光敏導(dǎo)電膏的流動(dòng)能力的方法在JP-A-10-112216中給出。
(2)如果厚膜一次成形，不僅需要相當(dāng)長(zhǎng)的時(shí)間來(lái)曝光，而且圖形尺寸精度降低了。因此，很難一次獲得電子元件的電極導(dǎo)線所需的膜厚度。例如，在焊接部分內(nèi)的電極導(dǎo)線，如果導(dǎo)線是銀，則熔進(jìn)低共熔焊料中的導(dǎo)線量(厚度)在250℃為2.5μm，在280℃為5μm。另一方面，光敏導(dǎo)電膏通常以10到20μm的厚度涂抹以使處理的精度高并且使曝光時(shí)間可以提高生產(chǎn)率。這樣，燒結(jié)后，導(dǎo)電膏的厚度約為5到10μm。因此，當(dāng)銀的厚度為5μm時(shí)，導(dǎo)線銀在280℃下一秒鐘內(nèi)就被耗盡。
(3)很難使垂直光線的部分曝光，特別是，具有很大縱橫比的通孔。形成該通孔是很難的。
(4)就導(dǎo)電率或膜厚度來(lái)說(shuō)，目前可得到的光敏導(dǎo)電膏通常不如非光敏導(dǎo)電膏(不具有光敏性的導(dǎo)電膏)。因此，很難得到與非光敏導(dǎo)電膏相似的導(dǎo)電率和膜厚度的光敏導(dǎo)電膏或者更低的成本。
這樣，在用光敏導(dǎo)電膏形成電極導(dǎo)線的情況下，仍然有很多沒(méi)有解決的問(wèn)題。
本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種電子元件，該電子元件不僅能解決提高圖形印刷精度這個(gè)傳統(tǒng)問(wèn)題而且能以與電子元件應(yīng)用位置相適應(yīng)的預(yù)定膜厚度形成圖形和電極，并能進(jìn)一步在具有高縱橫比的部分形成電極，并且提供一種制造該電子元件的制造方法。
當(dāng)閱讀以下的實(shí)施例后，可明顯看出本發(fā)明的其他目的和新特征。
根據(jù)本發(fā)明的第一個(gè)方面，提供一種電子元件，其包括一個(gè)在與主表面相連的表面用非光敏導(dǎo)電膏形成的第一電極導(dǎo)線區(qū)；一個(gè)在主平面一側(cè)的被做成傾斜形的端部；和一個(gè)在主平面上具有經(jīng)過(guò)曝光和顯影的光敏導(dǎo)電膏的第二電極導(dǎo)線區(qū)；其中，第一電極導(dǎo)線區(qū)的具有傾斜形的端部至少與第二電極導(dǎo)線的一部分相重疊。
最好是，由非光敏導(dǎo)電膏形成的第一電極導(dǎo)線區(qū)在所述元件的端面或側(cè)面上組成一個(gè)端面電極或一個(gè)側(cè)面電極。
最好是，與所述主表面相連的表面具有一個(gè)傾斜連接表面，由所述光敏導(dǎo)電膏形成的第二電極導(dǎo)線從所述主平面延伸到所述傾斜連接表面并彼此重疊。
根據(jù)本發(fā)明的第二個(gè)方面，提供一種電子元件，包括在主表面上用所述非光敏導(dǎo)電膏形成的第一電極導(dǎo)線區(qū)；具有經(jīng)過(guò)曝光和顯影的光敏導(dǎo)電膏的第二電極導(dǎo)線，該第二電極導(dǎo)線至少部分重疊在所述第一電極導(dǎo)線上，其中第一和第二電極導(dǎo)線區(qū)的重疊區(qū)域的外形相一致。
最好是，兩個(gè)電極導(dǎo)線區(qū)在重疊區(qū)的外形可以一致并構(gòu)成凸塊。
根據(jù)本發(fā)明的第三個(gè)方面，提供一種電子元件，包括使所述光敏導(dǎo)電膏曝光和顯影的第一電極導(dǎo)線區(qū)，通過(guò)它限定了一個(gè)電極區(qū)；和一個(gè)由非光敏導(dǎo)電膏形成的第二電極導(dǎo)線區(qū)，該第二電極導(dǎo)線區(qū)在由所述第一電極導(dǎo)線區(qū)所限定的電極區(qū)內(nèi)形成。
根據(jù)本發(fā)明的第四個(gè)方面，提供一種電子元件，包括一個(gè)電介質(zhì)塊；一個(gè)具有在所述電介質(zhì)塊主表面上的經(jīng)過(guò)曝光和顯影的光敏導(dǎo)電膏的第一電極導(dǎo)線區(qū)；和一個(gè)在貫通所述主平面而敞開(kāi)的一個(gè)通孔的內(nèi)部周邊表面上由非光敏導(dǎo)電膏形成的內(nèi)部圓周電極導(dǎo)線區(qū)，其中在所述主平面上的所述通孔的一個(gè)開(kāi)口部附近，兩個(gè)電極導(dǎo)線區(qū)至少部分地重疊以電導(dǎo)通從而組成電介質(zhì)濾波器。
最好是，根據(jù)本發(fā)明，該由光敏導(dǎo)電膏形成的電極導(dǎo)線區(qū)和由非光敏導(dǎo)電膏形成的電極導(dǎo)線區(qū)彼此至少部分重疊并被燒結(jié)。
根據(jù)本發(fā)明的第五個(gè)方面，提供一種制造電子元件的制造方法，包括以下步驟在與主表面相連的表面上形成一個(gè)非光敏導(dǎo)電圖形的第一電極導(dǎo)線區(qū)，在主表面?zhèn)鹊亩瞬勘蛔龀蓛A斜狀以形成另一平面；形成一個(gè)具有在所述主表面上的經(jīng)曝光和顯影的光敏導(dǎo)電膏的第二電極導(dǎo)線區(qū)；其中具有傾斜形狀的第一電極導(dǎo)線區(qū)的端部至少與第二電極導(dǎo)線區(qū)的一部分相重疊。
最好是，連接所述主表面的表面具有一傾斜連接表面，由所述光敏導(dǎo)電膏形成的第二電極導(dǎo)線從所述主平面延伸至所述傾斜連接表面以彼此重疊。
根據(jù)本發(fā)明的第六個(gè)方面，提供一種制造該電子元件的制造方法，包括以下步驟在一個(gè)主表面上形成一個(gè)非光敏導(dǎo)電膏的第一電極導(dǎo)線區(qū)；在所述主表面上形成具有經(jīng)過(guò)曝光和顯影的光敏導(dǎo)電膏的一個(gè)第二電極導(dǎo)線區(qū)，該第二電極導(dǎo)線區(qū)至少部分地重疊在所述第一電極導(dǎo)線區(qū)上；用所述第二電極導(dǎo)線區(qū)作掩膜將該非光敏導(dǎo)電膏的所述第一電極導(dǎo)線區(qū)形成圖形。
圖1A至1C是電子元件的第一實(shí)施例的解釋圖，該元件的光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)和非—光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)彼此相接觸；圖1D是根據(jù)本發(fā)明制造電子元件的制造方法流程圖；圖2A至圖2D電子元件的第二實(shí)施例的解釋圖，該元件的光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)和非—光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)彼此相重疊；圖2E是根據(jù)本發(fā)明的制造電子元件的制造方法流程圖；圖3A至圖3C顯示電子元件的第三實(shí)施例的解釋圖，該元件有一個(gè)通孔；圖3D是顯示根據(jù)本發(fā)明的制造電子元件的制造方法流程圖；圖4是顯示電子元件的第四實(shí)施例的透視圖，該元件有一個(gè)通孔；圖5是第四實(shí)施例中的通孔的縱斷面視圖6是顯示本發(fā)明第五實(shí)施例的透視圖，其中通孔被分成兩部分以制作電極端子；圖7A至7D是表示本發(fā)明第六實(shí)施例的透視圖，其中有一個(gè)濾波器；圖8是表示本發(fā)明第七實(shí)施例的透視圖，其中有靜電電容電路圖；圖9A至9D是表示本發(fā)明第八實(shí)施例的解釋圖，其中作為連接導(dǎo)線突出部分的凸起部分被制得；圖10A至10E是表示本發(fā)明第九實(shí)施例的解釋圖，其中光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)用來(lái)定位；圖11A至11B是表示本發(fā)明第十二實(shí)施例的解釋圖，其中光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)用來(lái)定位；圖12是表示本發(fā)明第十實(shí)施例的透視圖，其被用在一個(gè)電介質(zhì)濾波器；圖13是表示本發(fā)明第十一實(shí)施例的分解開(kāi)的解釋圖，其被應(yīng)用于非可逆電路元件；圖14是表示本發(fā)明第十二實(shí)施例的分解開(kāi)的解釋圖，其被應(yīng)用于非可逆電路元件；圖15A和15B是用于本發(fā)明第十三實(shí)施例中的電容器的平面圖；圖16是表示本發(fā)明第十四實(shí)施例的透視圖，其被應(yīng)用于片狀天線；圖17A至17E是用圖解說(shuō)明用傳統(tǒng)的絲網(wǎng)印刷制作電路圖的一個(gè)例子的解釋圖。
下面將參照附圖對(duì)根據(jù)本發(fā)明的電子元件及該電子元件的制造方法的最優(yōu)第一實(shí)施例圖1A至1D顯示出本發(fā)明的第一實(shí)施例，在該實(shí)施例中，在一個(gè)元件的主平面上應(yīng)用光敏導(dǎo)電膏形成電極導(dǎo)線區(qū)的圖形，在主平面上或其他平面上用非光敏導(dǎo)電膏形成電極導(dǎo)線區(qū)，這兩個(gè)電極導(dǎo)線區(qū)至少部分接觸以形成電連接。
在這種情況下，如圖1A所示，在步驟#1涂布非光敏導(dǎo)電膏，該非光敏導(dǎo)電膏被涂布在一個(gè)諸如電介質(zhì)或磁性物質(zhì)這種組成電感器、電容器或?yàn)V波器的元件10上以形成一個(gè)電極導(dǎo)線區(qū)11，接著在干燥步驟#2在80℃下干燥十分鐘。
如圖1B所示，在步驟#3涂布光敏導(dǎo)電膏，光敏導(dǎo)電膏12被用在所述元件的主平面上，并與非光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)11相接觸，并在干燥步驟#4中在80℃下干燥20分鐘。
在光刻步驟#5，所述光敏導(dǎo)電膏12以預(yù)定的圖形暴露在從200到800mJ/cm2的曝光光源來(lái)的光線下。接著，光敏導(dǎo)電膏的不需要部分通過(guò)顯影過(guò)程被去掉。該顯影過(guò)程通過(guò)在20℃到50℃的溫度下，噴淋諸如碳酸鈉、碳酸鉀、氫氧化鈣、氫氧化鈉這樣的堿性溶液或者浸漬在堿性溶液中而達(dá)到。具體地，它可以用帶有傳送機(jī)、噴淋型的顯影機(jī)在30℃、在10到20psi(磅/平方英寸)的噴淋壓力下噴淋0.4％的Na2CO3來(lái)完成。如圖1C所示，在上述顯影過(guò)程中，形成一個(gè)具有已形成圖形的光敏導(dǎo)電膏12的電極導(dǎo)線區(qū)13。曝光可以利用例如可見(jiàn)光、近紫外線、紫外線、電子束、X射線或激光束來(lái)進(jìn)行。其中紫外線最可取。光源可以包括一個(gè)低壓汞燈、一個(gè)高壓汞燈、一個(gè)超高壓汞燈和一個(gè)鹵化鎢殺菌燈。特別地，最好是超高壓汞燈。選取不會(huì)對(duì)非光敏導(dǎo)電膏有任何影響的顯影過(guò)程。
隨后，在燒結(jié)步驟#6，非光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)11和光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)13在850℃下同時(shí)被燒結(jié)十分鐘，以便使電極導(dǎo)線區(qū)11和電極導(dǎo)線區(qū)13彼此接觸以形成一個(gè)在諸如電介質(zhì)或磁性物質(zhì)這樣的元件10上導(dǎo)電的電極導(dǎo)線。
在第一實(shí)施例中，非光敏導(dǎo)電膏和光敏導(dǎo)電膏的涂布可由絲網(wǎng)印刷來(lái)完成。由于具有很大的膜厚度和極好的電導(dǎo)率的非光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)11可以相對(duì)較容易地獲得，它也可被用來(lái)作為與外部連接的端電極部分或安裝芯片部件的電極部分。
光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)13通過(guò)曝光和顯影可以被做成很細(xì)的圖形，可被用來(lái)作為電感器、電容器或?yàn)V波器的電極部分。
導(dǎo)電膏的金屬材料可以包括金、銀、銅、鈀、鉑、鎳以及它們的混合物。有一點(diǎn)非常重要即光敏材料可以包含一個(gè)堿性顯影粘合劑單體(alkalinedeveloping binder monomer)、一個(gè)單體和一種引發(fā)劑，并且可通過(guò)燒結(jié)過(guò)程被揮發(fā)和分解，在圖形中不留碳化物。
這樣，第一實(shí)施例具有非—光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)和光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)的綜合優(yōu)點(diǎn)。因此，可以制造由這樣的電極導(dǎo)線形成的電子元件，該電極導(dǎo)線不僅能提高線路圖的精確度，而這是常見(jiàn)的問(wèn)題，而且有預(yù)定的膜厚度和適合于工作位置的線路圖。具體的效果引證如下。
(1)利用光敏導(dǎo)電膏的方法，不需要將導(dǎo)電膏準(zhǔn)確地按電路圖印刷，只需將導(dǎo)電膏用在要形成圖案的整個(gè)表面。盡管在制作布線圖案中，光敏導(dǎo)電膏也用掩膜來(lái)曝光，但不需要象傳統(tǒng)的做法對(duì)印刷絲網(wǎng)施加很大的壓力。因此，不必?fù)?dān)心由于絲網(wǎng)的退化而引起線路圖精確度的變壞。
(2)另外，由于曝光和顯影過(guò)程，線路圖本身的尺寸精度很高，線路圖不會(huì)由于膏體的滲出而變形，并且在線路圖寬度方向基本沒(méi)有分散。因此，用來(lái)形成電感器或?yàn)V波器的導(dǎo)線線路圖，能制造出在高頻區(qū)具有較高Q值的電感器或?yàn)V波器。
(3)由于非光敏導(dǎo)電膏被用在與外部連接的端電極部分或安裝芯片部件的電極部分，該線路圖可由足夠的膜厚度形成。即使利用無(wú)鉛高溫焊料進(jìn)行焊接，也不會(huì)由于電極腐蝕而造成斷開(kāi)。
(4)在電感器部分，在片基上形成更多的布線圖，因此電感值增加。線路圖的滲出和在寬度方向的分散不但更少了，而且在該部分的側(cè)表面盡可能地垂直。利用光敏導(dǎo)電膏，這樣的導(dǎo)線分布圖可被制成。另一方面，利用非光敏導(dǎo)電膏的絲網(wǎng)印刷方法，如果元件表面太粗糙了，圖線的寬度是變化的。相反地，如果元件被做得很平，膏體可能滲出，使膏體的速度或粗糙度的控制很困難。
(5)在圖形區(qū)，不需焊接。這樣光敏導(dǎo)電膏可做得非常細(xì)，從而使線路圖的精確度得到提高。
(6)最終膜厚度可通過(guò)電鍍而增加。在這種情況下，由于電鍍，將不可避免地增加成本，并且存在這樣的問(wèn)題，即電極的厚度更小了，在諸如電介質(zhì)濾波器或混合集成電路(HIC)基底的端面電極這樣的浮島結(jié)構(gòu)的電極里相對(duì)于其他部分將出現(xiàn)膜厚度的分散。另外，在細(xì)線路圖的情況下，由于一種叫作電鍍伸長(zhǎng)的現(xiàn)象(即，在精細(xì)線路圖或窄節(jié)距線路圖中由于電鍍的橫向增長(zhǎng)而引起的短路)而引起的短路事故增加。該實(shí)施例也能解決這種問(wèn)題。
第二實(shí)施例圖2A至2E顯示出本發(fā)明的第二實(shí)施例，在該實(shí)施例中，在一個(gè)元件的主平面上應(yīng)用光敏導(dǎo)電膏形成電極導(dǎo)線區(qū)的圖形，在主平面上或其他平面上用非光敏導(dǎo)電膏形成電極導(dǎo)線區(qū)，這兩個(gè)電極導(dǎo)線區(qū)至少部分接觸以形成一個(gè)電連接。
在這種情況下，如圖2A所示，在使用非光敏導(dǎo)電膏的步驟#11，該非光敏導(dǎo)電膏被用在諸如一個(gè)構(gòu)成電感器、電容器或?yàn)V波器的電介質(zhì)或磁性物質(zhì)這樣的元件20的端部(即，端面及其與上表面和下表面相交的邊)上以形成一電極導(dǎo)線區(qū)21，接著在干燥步驟#12中干燥。
如圖2B所示，在使用光敏導(dǎo)電膏的步驟#13，光敏導(dǎo)電膏22被用在所述元件20的主平面上(在這里是上表面)，并與非光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)21部分重疊，并在干燥步驟#14中干燥。
在光刻步驟#15，所述光敏導(dǎo)電膏22以預(yù)定的圖形被曝光。接著，如圖2C所示，光敏導(dǎo)電膏的不需要部分通過(guò)顯影過(guò)程被去掉，從而形成具有已成圖形的光敏導(dǎo)電膏22的電極導(dǎo)線區(qū)23。此時(shí)，在重疊的早期階段，通過(guò)選取適當(dāng)?shù)姆枪饷魧?dǎo)電膏的粘度可使電極導(dǎo)線區(qū)21、23的重疊部分形成一個(gè)斜面。因此可減輕上表面電極導(dǎo)線區(qū)23切邊或在下表面膏沿著電極導(dǎo)線區(qū)21的拐角部分滲出的影響。
隨后，在燒結(jié)步驟#16，非—光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)21和光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)23同時(shí)被燒結(jié)，以便使電極導(dǎo)線區(qū)21和電極導(dǎo)線區(qū)23彼此重疊以組成一個(gè)在諸如電介質(zhì)或磁性物質(zhì)這樣的元件20上電導(dǎo)通的電極導(dǎo)線。干燥、曝光和顯影的條件與第一實(shí)施例相同。
在第二實(shí)施例中，由于具有很大的膜厚度和極好的電導(dǎo)率的非光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)21可以較容易地獲得，它也可被用來(lái)作為與外部連接的端電極部分或用來(lái)焊接的電極部分。
光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)23通過(guò)曝光和顯影可以被做成很細(xì)的線路圖，可被用來(lái)作為電感器、電容器或?yàn)V波器的電極部分，并因此使得Q值增加。
這樣，第二實(shí)施例可以帶來(lái)與第一實(shí)施例相同的效果。通過(guò)綜合光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)和光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)的優(yōu)點(diǎn)，在可以保持諸如普通片狀部件這樣的端電極的厚度和高可靠性的同時(shí)，可以在表面上形成精確的導(dǎo)電線路分布圖。因此，不僅能提高線路圖的精確度，而這是常見(jiàn)的問(wèn)題，而且能制造出由具有預(yù)定的膜厚度和適合于服務(wù)場(chǎng)地的線路圖的電極導(dǎo)線形成的電子元件。
第三實(shí)施例圖3A至3D顯示出本發(fā)明的第三實(shí)施例，在該實(shí)施例中，形成于一個(gè)元件的一個(gè)通孔內(nèi)表面上的非光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)與形成于該元件主平面上的光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)彼此相連。
在這種情況下，如圖3A所示，在涂布非光敏導(dǎo)電膏的步驟#21，在諸如電介質(zhì)或磁性物質(zhì)這樣的元件30的通孔31內(nèi)部周邊部分由該非光敏導(dǎo)電膏形成電極導(dǎo)線區(qū)32以構(gòu)成一個(gè)電感器、一個(gè)電容器或一個(gè)濾波器，并在干燥步驟#22中干燥。此時(shí)調(diào)整非光敏導(dǎo)電膏的粘度以使形成于通孔31內(nèi)部周邊部分的電極導(dǎo)線區(qū)32的端部呈傾斜形。
接著，如圖3B所示，在涂布光敏導(dǎo)電膏的步驟#23，一個(gè)光敏導(dǎo)電膏33被涂布在所述元件30的主平面上(在這里是上表面)，并在干燥步驟#24中干燥。此時(shí)通孔內(nèi)表面上的非—光敏導(dǎo)電膏的上端部和光敏導(dǎo)電膏至少一部分彼此相互接觸或重疊(即，光敏導(dǎo)電膏在重力的作用下或多或少地流入通孔內(nèi))。
在光刻步驟#25，所述光敏導(dǎo)電膏33以預(yù)定的圖形被曝光。接著，如圖3C所示，光敏導(dǎo)電膏的不需要部分通過(guò)顯影過(guò)程被去掉，從而由已定好圖形的光敏導(dǎo)電膏33形成電極導(dǎo)線區(qū)34。
隨后，在燒結(jié)步驟#26，非光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)32和光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)34同時(shí)被燒結(jié)，以便使電極導(dǎo)線區(qū)32和電極導(dǎo)線區(qū)34彼此接觸或重疊以組成一個(gè)在諸如電介質(zhì)這樣的元件30上電導(dǎo)通的電極導(dǎo)線。
干燥、曝光和顯影的條件與第一實(shí)施例的相同。
在第三實(shí)施例中，由于非光敏導(dǎo)電膏設(shè)置在很難被曝光的通孔內(nèi)表面上，所以電極導(dǎo)線區(qū)32也可以以很大的縱橫比形成于通孔部分內(nèi)，從而可制造出具有與主平面上的光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)34電連接的電極導(dǎo)線的電子元件。此時(shí)由于由于通孔端部形成傾斜形，使用于曝光的紫外線可以在深度方向上從通孔的端面?zhèn)鞑ヒ欢ㄉ疃龋怨饷魧?dǎo)電膏在通孔的入口附近變硬，從而通孔的內(nèi)部不僅由有足夠膜厚度的電極導(dǎo)線區(qū)覆蓋，而且通孔邊緣部分的膜厚度在某種程度上可以得到保證，因此具有很高的連接可靠性(兩種膏體在邊緣部分都存在)。
另外，由于非光敏導(dǎo)電膏設(shè)置在很難被曝光的通孔內(nèi)表面上，所以通孔部分沒(méi)有被變軟，并且電極導(dǎo)線區(qū)32的膜厚度可以得到足夠的保證，因此即使無(wú)鉛高溫焊料被用來(lái)焊接也不會(huì)出現(xiàn)由于電極腐蝕而斷路的現(xiàn)象。
在如圖3所示的第三實(shí)施例中，很顯然光敏導(dǎo)電膏布置在非光敏導(dǎo)電膏上，但反過(guò)來(lái)，光敏導(dǎo)電膏可以被布置在下面。在這種情況下，可以首先制作布線圖然后涂布非光敏導(dǎo)電膏。因此，該非導(dǎo)電膏可以不被浸泡在顯影溶液(例如，Na2CO3溶液)中。
非光敏導(dǎo)電膏和光敏導(dǎo)電膏在端面上相接觸。在這種情況下，厚度沒(méi)有因?yàn)橹丿B而增加，或者任一導(dǎo)電膏可以被用作邊界(壩)來(lái)阻止該流動(dòng)。
第四實(shí)施例圖4和圖5顯示出本發(fā)明的第四實(shí)施例，在該實(shí)施例中，形成于一個(gè)元件的一個(gè)通孔內(nèi)表面上的非光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)與形成于該元件主平面上的光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)彼此相連。
在這種情況下，通孔31在所述元件30主平面(上表面)側(cè)的端部形成一個(gè)傾斜連接表面31a。該連接表面相對(duì)于主平面的角度最好從大約45度到60度，但必須是傾斜的。非光敏導(dǎo)電膏涂布在包括傾斜連接表面31a的通孔31內(nèi)表面，并被干燥以形成一個(gè)電極導(dǎo)線區(qū)32。這時(shí)光敏導(dǎo)電膏33被涂布在該元件的主平面和傾斜連接表面31a上，并被干燥。此時(shí)，如圖5所示，傾斜連接表面31的非光敏導(dǎo)電膏與光敏導(dǎo)電膏在通孔的端部彼此重疊。此后，光敏導(dǎo)電膏33以預(yù)定的圖案被曝光，光敏導(dǎo)電膏的不需要部分通過(guò)顯影過(guò)程被去掉，從而形成一個(gè)具有已做好圖形的光敏導(dǎo)電膏33的電極導(dǎo)線區(qū)34。隨后，非光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)32和光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)34同時(shí)被燒結(jié)，以便使電極導(dǎo)線區(qū)32和電極導(dǎo)線區(qū)34彼此重疊以組成一個(gè)在諸如電介質(zhì)這樣的元件30上電導(dǎo)通的電極導(dǎo)線。干燥、曝光和顯影的條件與第一實(shí)施例的相同。
在第四實(shí)施例中，由于傾斜連接表面31a設(shè)置在很難被曝光的通孔31的內(nèi)表面上，非光敏導(dǎo)電膏和光敏導(dǎo)電膏在很寬的區(qū)域內(nèi)重疊，因此不會(huì)有象切口邊這樣的缺陷。盡管用來(lái)曝光的紫外線直線傳播，在將通孔的端部?jī)A斜成從大約45度到60度而形成的傾斜連接表面31a的地方，光敏導(dǎo)電膏將被可靠地硬化。
應(yīng)指出的是傾斜連接表面可以以固定的傾斜角度傾斜或者象R表面或U表面一樣逐漸傾斜。
第五實(shí)施例圖6顯示出本發(fā)明的第五實(shí)施例，在該實(shí)施例中，根據(jù)第三或第四實(shí)施例，在所述元件30內(nèi)，由電極導(dǎo)線形成的通孔被分成兩部分以組成一個(gè)與外部連接的電極端部(即，表面安裝端子)37。在第五實(shí)施例中，相同或相似的部件用與在第三或第四實(shí)施例中相同的數(shù)字來(lái)表示，此處不再描述。
在第五實(shí)施例中，圓周凹表面38的內(nèi)表面即通孔的一半不僅被非光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)32完全覆蓋，而且足夠量的導(dǎo)線被布置在邊緣部分(即，非光敏導(dǎo)電膏和光敏導(dǎo)電膏都能存在于該邊緣部分)，因此，其可被用作具有高可靠性的電極端子，即使被用作電極端子也不用擔(dān)心焊料腐蝕或斷開(kāi)。
第六實(shí)施例圖7A至7D顯示出本發(fā)明的第六實(shí)施例，在該實(shí)施例中，圖解說(shuō)明了一個(gè)濾波器，該濾波器在片狀電容器作為一片狀元件而被附加上(焊接上)的區(qū)域使用很大膜厚度的非光敏導(dǎo)電膏。
首先，如圖7A所示，非光敏導(dǎo)電膏41通過(guò)絲網(wǎng)印刷被涂在在諸如絕緣體或電介質(zhì)這樣的元件40的主平面上，并在80℃下干燥十分鐘以組成一對(duì)預(yù)定形狀，例如正方形的電極導(dǎo)線區(qū)42。該由非光敏導(dǎo)電膏制成的電極導(dǎo)線區(qū)42具有足夠的膜厚度以在后續(xù)程序中焊接芯片部件。
然后，如圖7B所示，光敏導(dǎo)電膏43被涂在包括電極導(dǎo)線區(qū)42在內(nèi)的整個(gè)表面，并在80℃下干燥20分鐘。并且如圖7C所示，光敏導(dǎo)電膏43被曝光并被顯影從而形成作為導(dǎo)電分布圖的電極導(dǎo)線區(qū)44。這時(shí)，在需要相互連接的區(qū)域上，光敏導(dǎo)電膏43被布置在非光敏導(dǎo)電膏41上并形成圖形。其后，該元件的片基在80℃下干燥五分鐘并在900℃燒結(jié)一小時(shí)，因此該電極導(dǎo)線區(qū)42、44同時(shí)被燒結(jié)。因此，通過(guò)兩個(gè)電極導(dǎo)線區(qū)的重疊部分而電連接的電極導(dǎo)線就被制造出來(lái)了。這時(shí)，如圖7D所示，片狀電容45作為一片狀元件的通過(guò)焊接被安裝到作為片狀連接電極的電極導(dǎo)線區(qū)42上。這樣，可制成濾波器。
該非光敏導(dǎo)電膏41可以用導(dǎo)線分布圖的掩膜來(lái)制成圖形，其中，光敏導(dǎo)電膏43至少在非—光敏導(dǎo)電膏41的頂層上部分重疊，并被曝光和顯影，因此為焊接片狀電容器45的該片狀連接電極可被制成一種雙層結(jié)構(gòu)(即，電極導(dǎo)線區(qū)42是下層，電極導(dǎo)線區(qū)44是上層)。
此外，該非光敏導(dǎo)電膏41可以被涂在該元件的整個(gè)主表面上，并且該非光敏導(dǎo)電膏41利用具有經(jīng)過(guò)曝光和顯影的光敏導(dǎo)電膏43的導(dǎo)線分布圖作為掩膜來(lái)制成圖形，借此該導(dǎo)線分布圖以及該片狀連接電極可制成種雙層結(jié)構(gòu)(即，電極導(dǎo)線區(qū)42是下層，電極導(dǎo)線區(qū)44是上層)。在這種情況下，可提高電流容量。這種結(jié)構(gòu)允許該導(dǎo)線分布圖的電極很厚以增加電阻抗，并適合于更多電流流過(guò)的部分。
盡管電極導(dǎo)線區(qū)42、44被同時(shí)燒結(jié)，實(shí)際上，每個(gè)電極導(dǎo)線區(qū)42、44可以在單獨(dú)的過(guò)程中分別燒結(jié)。曝光可以利用例如可見(jiàn)光、近紫外線、紫外線、電子束、X射線或激光束來(lái)進(jìn)行。其中紫外線最適用。光源可以包括一個(gè)低壓汞燈、一個(gè)高壓汞燈、一個(gè)超高壓汞燈和一個(gè)鹵化鎢殺菌燈。具體說(shuō)，超高壓汞燈最為適用。進(jìn)行200到800mJ的曝光。曝光后的光敏導(dǎo)電膏的顯影過(guò)程通過(guò)在從20℃到50℃的溫度下噴淋諸如碳酸鈉、碳酸鉀、氫氧化鈣、氫氧化鈉這樣的堿性溶液或者浸漬在堿性溶液中來(lái)進(jìn)行。
在該第六實(shí)施例中，由非光敏導(dǎo)電膏41形成的具有很大膜厚度和極好電導(dǎo)率的電極導(dǎo)線區(qū)42可以相對(duì)容易地獲得，因此適于用來(lái)焊接片狀電容器45。也就是說(shuō)，在電極表面上形成一個(gè)具有很大膜厚度的基座來(lái)安裝該片狀電容器45，借此可以解決電極的焊料腐蝕問(wèn)題。通過(guò)曝光和顯影過(guò)程，由光敏導(dǎo)電膏形成的電極導(dǎo)線區(qū)44可以以很高的精度被做成很細(xì)的電路圖，并用作電極部分，借此在一很小的面積上可制得纖細(xì)的電路圖。
另外，利用一個(gè)具有經(jīng)過(guò)曝光和顯影的光敏導(dǎo)電膏43的導(dǎo)線分布圖作為掩膜來(lái)將非光敏導(dǎo)電膏41制成圖形的方法，可將導(dǎo)線分布圖制成一種雙層結(jié)構(gòu)(即，下層是電極導(dǎo)線區(qū)42，上層是電極導(dǎo)線區(qū)44)。因此，可制成具有提高了電阻抗，并有更多電流流過(guò)的部件，如電感器。
第七實(shí)施例圖8顯示出第七實(shí)施例，在該實(shí)施例中，在諸如電介質(zhì)或磁性物質(zhì)這樣的元件50的一主平面上形成靜電電容線路圖。通過(guò)對(duì)光敏導(dǎo)電膏進(jìn)行曝光和顯影形成一個(gè)具有所需線路圖精度的作為靜電電容線路圖的電極導(dǎo)線區(qū)，而利用非光敏導(dǎo)電膏進(jìn)行絲網(wǎng)印刷形成一個(gè)用作焊接或與外部連接電極端子52的電極導(dǎo)線區(qū)，或者形成該非光敏導(dǎo)電膏和光敏導(dǎo)電膏的層狀結(jié)構(gòu)。此處，圖8顯示出后面形成光敏導(dǎo)電膏的靜電電容線路圖51的一個(gè)例子。干燥、曝光和顯影的條件與第六實(shí)施例中的相同。另外，光敏導(dǎo)電膏的導(dǎo)線分布圖可以被用來(lái)作為掩膜以形成非光敏導(dǎo)電膏的線路圖。
在該第七實(shí)施例中，成為精確線路圖的靜電電容線路圖51可以通過(guò)對(duì)光敏導(dǎo)電膏的曝光和顯影而制得，需要足夠膜厚度的電極端子52由非光敏導(dǎo)電膏形成，或者可以制成非光敏導(dǎo)電膏和光敏導(dǎo)電膏的兩層結(jié)構(gòu)。因此，可以獲得所需的每個(gè)電極的特性。
第八實(shí)施例圖9顯示出本發(fā)明的第八實(shí)施例，在該實(shí)施例中，在光敏導(dǎo)電膏被曝光和顯影之后，用該光敏導(dǎo)電膏作掩膜將非光敏導(dǎo)電膏制得線路圖，從而制成了一個(gè)具有光敏導(dǎo)電膏和非光敏導(dǎo)電膏的作為結(jié)合導(dǎo)線凸出部的凸塊。
作為制作方法，首先，如圖9A所示，將非光敏導(dǎo)電膏61涂在元件60的一個(gè)主平面的整個(gè)表面上，然后干燥。如圖9B所示，光敏導(dǎo)電膏62涂在整個(gè)表面上。干燥后，進(jìn)行曝光，然后利用由紫外線處理好的精確凸塊線路圖63作為掩膜進(jìn)行顯影。接著除了掩膜形成部分以外的光敏導(dǎo)電膏和非光敏導(dǎo)電膏被去掉，接著進(jìn)行燒結(jié)，以制得具有相對(duì)大厚度和極好精確度的一凸塊64，如圖9C所示。圖9D顯示出一個(gè)例子，在該例中凸塊64在一個(gè)絕緣組件65的底部表面形成以用來(lái)安裝各種芯片。
在該第八實(shí)施例中，燒結(jié)后的非光敏導(dǎo)電膏的厚度為15μm，燒結(jié)后的光敏導(dǎo)電膏的厚度為7μm，從而可形成總厚度為22μm的凸塊。
在應(yīng)用上述過(guò)程的情況下，非光敏導(dǎo)電膏可使用能在堿性溶液中顯影的結(jié)合劑或單體，象光敏導(dǎo)電膏的非光敏部分或者如果使用一種水溶結(jié)合劑，這種顯影過(guò)程通常是可以進(jìn)行的。
這樣得到的該凸塊64的形狀比單由光敏導(dǎo)電膏形成的厚22μm的凸塊具有更高的精確度并且輪廓更清晰。
在光敏導(dǎo)電膏在堿性溶液中被顯影以后，該非光敏導(dǎo)電膏可以用有機(jī)溶劑來(lái)蝕刻。在這種情況下，由于光敏導(dǎo)電膏的感光部分產(chǎn)生膨脹，并且更象是剝落，因此很自然就使用更易溶解于該有機(jī)溶劑的該非光敏導(dǎo)電膏，考慮到噴淋壓力和噴淋時(shí)間，它在使蝕刻過(guò)程在盡可能短的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行以減輕膏上的負(fù)載方面更令人滿意。并且，對(duì)原料來(lái)說(shuō)，提高聚合度、提高附著力、并更進(jìn)一步提高光敏導(dǎo)電膏曝光后的耐溶劑性是非常重要的。
至于用光敏導(dǎo)電膏形成凸塊的方法，如JP-A-6-151438中所描述，當(dāng)膜厚度增加(例如，25μm或更大)或做成窄節(jié)距(例如50μm)時(shí)，JP-A-6-151438中所描述的方法很難利用。
如JP-A-10-116558中所述，兩種光敏導(dǎo)電膏被再次應(yīng)用，下層膏體是非光敏導(dǎo)電膏，并且利用該光敏導(dǎo)電膏作為掩膜來(lái)進(jìn)行曝光和顯影，這樣可制得具有更好圖形精度的電極。
第九實(shí)施例圖10A至10E顯示本發(fā)明的第九實(shí)施例，在該實(shí)施例中光敏導(dǎo)電膏被用來(lái)定位。在這種情況下，如圖12A所示，光敏導(dǎo)電膏81被涂在元件80的主平面上，并被干燥，借此通過(guò)曝光和顯影，可以很高的精度按所需的圖形(即，在圖示例子中的鉤形)形成一個(gè)電極導(dǎo)線區(qū)82。接著如圖12B所示，用絲網(wǎng)印刷將非光敏導(dǎo)電膏83涂在光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)82的內(nèi)部，并被干燥，以形成一個(gè)電極導(dǎo)線區(qū)84。此時(shí)，由于外部邊緣部分(外部框架部分)用光敏導(dǎo)電膏81以很高的精度形成，因此，涂在內(nèi)部的非光敏導(dǎo)電膏83就相對(duì)于光敏導(dǎo)電膏81的電極導(dǎo)線區(qū)82被定位。并且兩種膏體都被燒結(jié)，具有很高位置精度的電極導(dǎo)線作為一個(gè)整體在元件80上形成了，在該元件上，非光敏導(dǎo)電膏83的電極導(dǎo)線區(qū)84相對(duì)于光敏導(dǎo)電膏81的電極導(dǎo)線區(qū)82被定位。
在第九實(shí)施例中，如圖10C、10D或10E所示，具有很高流動(dòng)能力的非光敏導(dǎo)電膏83用在內(nèi)側(cè)，或者具有極好導(dǎo)電率的非光敏導(dǎo)電膏83以很大的厚度涂在內(nèi)側(cè)，另外當(dāng)用光敏導(dǎo)電膏81的電極導(dǎo)線區(qū)82將外部邊緣部分(外部框架部分)精確地形成圖形時(shí)，可有效地利用諸如金、金—鉑或銀—鈀這樣的非光敏導(dǎo)電膏。
第十實(shí)施例圖13A和13B顯示出本發(fā)明的第十實(shí)施例，在該實(shí)施例中光敏導(dǎo)電膏被用來(lái)定位，并且在其內(nèi)側(cè)的一個(gè)焊球(即，一種球形焊錫膏)作為非光敏導(dǎo)電膏被用來(lái)制成一個(gè)焊錫凸塊。在這種情況下，如圖13A所示，非光敏導(dǎo)電膏86被印刷并被以預(yù)定的圖案涂在元件80的一個(gè)主平面上，并被干燥，并且光敏導(dǎo)電膏87涂在其上，并被干燥。這時(shí)通過(guò)曝光和顯影過(guò)程以高精度形成所需圖案(例如，正方形或圓形框架)的電極導(dǎo)線區(qū)88。這些導(dǎo)線區(qū)被燒結(jié)，并且用分配器將焊球89放在電極導(dǎo)線區(qū)88內(nèi)。它們?cè)诨亓鳡t中(reflow fumace)被回流加熱(reflow heated)，并且當(dāng)焊球89熔化時(shí)，與電極導(dǎo)線區(qū)88的內(nèi)側(cè)相結(jié)合以作為一電極導(dǎo)線區(qū)(焊錫凸塊)85。該光敏導(dǎo)電膏87的電極導(dǎo)線區(qū)88被當(dāng)作一邊界(壩)來(lái)阻止該流動(dòng)，借此具有焊錫凸塊的電極導(dǎo)線作為一個(gè)整體以阻止熔融焊錫比所需要的寬，從而以高精度形成在元件80上。
第十一實(shí)施例圖12表示本發(fā)明的第十一實(shí)施例，其被應(yīng)用到電介質(zhì)濾波器。在該圖中，作為一個(gè)元件的電介質(zhì)塊100具有許多并排的通孔101。沖壓(打開(kāi))貫通該主平面而成的通孔101的內(nèi)部周邊表面，一個(gè)內(nèi)側(cè)圓周電極導(dǎo)線區(qū)103被非光敏導(dǎo)電膏102覆蓋以組成一個(gè)諧振器，并且在不包括電介質(zhì)塊100的通孔101所貫通的開(kāi)口端面104的該電介質(zhì)塊100的外部表面上，具有一個(gè)由非光敏導(dǎo)電膏形成的外部電極導(dǎo)線區(qū)105以形成一個(gè)與外部電極導(dǎo)線區(qū)105相隔離并絕緣的輸入和輸出電極導(dǎo)線區(qū)106。另一方面，在作為該電介質(zhì)塊主平面的開(kāi)口端面104上，通過(guò)對(duì)光敏導(dǎo)電膏110的曝光和顯影形成耦合電極導(dǎo)線區(qū)111、112(組成耦合電容)。耦合電極導(dǎo)線區(qū)111通過(guò)在主平面上通孔的開(kāi)口部分附近與內(nèi)側(cè)圓周電極導(dǎo)線區(qū)103相接觸或相重疊而連接。耦合電極導(dǎo)線區(qū)112通過(guò)與輸入和輸出電極導(dǎo)線區(qū)106相接觸或相重疊而連接。耦合電極導(dǎo)線區(qū)111與內(nèi)側(cè)圓周電極導(dǎo)線區(qū)103之間的連接也可以用與圖3至圖5中所示的通孔所用的方法相同的方法來(lái)實(shí)現(xiàn)。類(lèi)似地，耦合電極導(dǎo)線區(qū)112和輸入和輸出電極導(dǎo)線區(qū)106可以用與如圖3至圖5所示的通孔所用的方法相同的方法來(lái)實(shí)現(xiàn)。即，通過(guò)調(diào)整非光敏導(dǎo)電膏102的粘度使導(dǎo)線區(qū)106的上端部?jī)A斜。
應(yīng)指出的是，光敏導(dǎo)電膏和非光敏導(dǎo)電膏可以以任意順序涂抹，并且兩種導(dǎo)電膏可以同時(shí)或分別被燒結(jié)。
在第十一實(shí)施例中，通過(guò)對(duì)光敏導(dǎo)電膏的曝光和顯影過(guò)程形成耦合電極導(dǎo)線區(qū)111、112。因此，該圖案本身的尺寸精度高，并且當(dāng)膏體滲出時(shí)該圖案不會(huì)引起變形，并且在圖案寬度方向上的有更小的分散。另外，電介質(zhì)濾波器的耦合電極導(dǎo)線區(qū)的特性取決于傳導(dǎo)部件從電介質(zhì)表面起是否達(dá)到約5μm的距離。因此，圖案的滲出和寬度方向的分散不僅更小，而且該側(cè)面盡可能地與橫截面相垂直。并且耦合電極導(dǎo)線區(qū)111、112需要有通孔的位置精度和輸入和輸出電極端子在側(cè)面上的位置精度。這部分對(duì)電介質(zhì)濾波器的特性有很大的影響。通過(guò)對(duì)光敏導(dǎo)電膏的曝光和顯影過(guò)程，耦合電極導(dǎo)線區(qū)111、112形成圖案，因此這些要求可以被滿足。通過(guò)降低濾波器特性的分散程度，可省去調(diào)節(jié)完成產(chǎn)品的特性的調(diào)節(jié)操作(例如，切齊操作)。
除上述制造方法外，還有另一種方法即用電鍍形成圖案。用該方法，原始表面必須被弄粗糙以增加電鍍的附著力，結(jié)果表面的粗糙度可能降低濾波器的特性。如果用光敏導(dǎo)電膏，形成的圖案具有滿意的附著力，而不用考慮對(duì)原始表面粗糙度的依賴(lài)。因此，通過(guò)拋光得到最適于產(chǎn)品特性的粗糙度，從而可以獲得穩(wěn)定的特性。正相反，用絲網(wǎng)印刷，如果原始表面太粗糙，線的寬度將變化，或者相反地如果太平，膏體將流出，因此很難控制膏體的粘度或粗糙度。
應(yīng)指出的是，通過(guò)對(duì)光敏導(dǎo)電膏的曝光和顯影過(guò)程，在作出輸入和輸出電極端子的表面上可以做成圖案。這與在敞開(kāi)端表面104圖案的形成有相同的效果。特別是，如果耦合電極導(dǎo)線區(qū)或者輸入和輸出電極導(dǎo)線區(qū)106或通孔的的位置精度很好，可以省去諸如修整這樣的調(diào)節(jié)過(guò)程。
在第十一實(shí)施例中，耦合電極導(dǎo)線區(qū)布置在電介質(zhì)塊的開(kāi)口端表面。然而，在該開(kāi)口端表面還有其他調(diào)節(jié)該濾波器特性的電極導(dǎo)線區(qū)時(shí)也可通過(guò)對(duì)光敏導(dǎo)電膏進(jìn)行曝光和顯影以形成細(xì)的線路圖從而達(dá)到相同的效果。
這樣，當(dāng)應(yīng)用到電介質(zhì)濾波器時(shí)，導(dǎo)線分布圖的位置精度、線寬度的精度、及線路圖的形狀可被穩(wěn)定，最終產(chǎn)品的濾波特性的分散將被消除，并且諸如修整這樣在傳統(tǒng)操作中進(jìn)行的調(diào)節(jié)過(guò)程可被省去，因此，具有很好可靠性的產(chǎn)品可以以較低的成本制造出來(lái)。
第十二實(shí)施例圖13顯示出本發(fā)明的第十二實(shí)施例，在該實(shí)施例中，可制出諸如循環(huán)器、單向器這樣的非可逆電路元件。在這個(gè)附圖中，該非可逆電路元件包括一個(gè)由中間導(dǎo)線形成的作為元件的多層片基120、布置在一側(cè)附近的鐵素體(ferrite)130，布置在該多層片基120另一側(cè)附近的永磁體131和具有鐵素體放置于其中的孔部分33的接線板134。
在該由中間導(dǎo)線組成的多層片基120中，例如，在第一層上包含中間導(dǎo)線122的電極導(dǎo)線在第一層的絕緣片基121的上表面上形成電路圖。而且在該片基121的下表面上，在第二層上包含中間導(dǎo)線123的電極導(dǎo)線區(qū)形成電路圖。而且，在第二層的該絕緣片基125的下表面上，在第三層上包含中間導(dǎo)線124的電極導(dǎo)線形成電路圖。在每個(gè)中間導(dǎo)線122、123、124形成電路圖以后，在第一層和第二層的該絕緣片基121、125被粘在一起以制成該多層片基120。在該多層片基120(絕緣片基121、125)內(nèi)，一個(gè)通孔126被形成以引出每個(gè)中間導(dǎo)線的一個(gè)端部。燒結(jié)多層片基120以制成具有所需的電極導(dǎo)線的片基。
在接線板134上，對(duì)光敏導(dǎo)電膏進(jìn)行絲網(wǎng)印刷以形成電極端子135a、135b、135c和接地電極136a、136b、136c，接著被燒結(jié)以制得電極導(dǎo)線。在側(cè)面和要進(jìn)行焊接的部分上的電極端子135a、135b、135c和接地端子136a、136b、136c分別地(在圖中用斜線來(lái)表示)用對(duì)非—光敏導(dǎo)電膏進(jìn)行絲網(wǎng)印刷而得到，并進(jìn)行燒結(jié)以形成電極導(dǎo)線。
多層片基120上具有的中間電極122、123和124的一個(gè)端部通過(guò)一個(gè)通孔126與電極端子135a、135b、135c相連，然后引出，而中間導(dǎo)線122、123、124的另一端部通過(guò)通孔126與接地端子136a、136b、136c相連。
在第十五實(shí)施例中，諸如要以很高精度保持電容量的循環(huán)器或單向器這樣的電極端子和接地端子可以通過(guò)光敏導(dǎo)電膏以很高的精度來(lái)制成電路圖，焊接所需的部分可以通過(guò)對(duì)光敏導(dǎo)電膏和非光敏導(dǎo)電膏進(jìn)行絲網(wǎng)印刷而得到足夠的厚度。
第十三實(shí)施例圖14現(xiàn)實(shí)出本發(fā)明的第十三實(shí)施例，在該實(shí)施例中，制成如循環(huán)器或單向器這樣的非可逆電路元件。在該圖中，非可逆電路元件包括具有中間電極141的鐵素體140、電容器片基150、在其上的永磁體160及具有鐵素體140并安裝于期間的通孔175的接線板。
如圖15所示，在該電容器片基150內(nèi)，通過(guò)曝光和顯影過(guò)程，電容電極導(dǎo)線區(qū)152、153在作為元件的一電介質(zhì)片基151的上表面和下表面上形成電路圖。電介質(zhì)片基151形成并具有一通孔154以通過(guò)電極導(dǎo)線區(qū)152將中間電極141的一個(gè)端部引出到接線板170上的一個(gè)輸入/輸出端子171，并且通孔154被涂上非光敏導(dǎo)電膏。電極導(dǎo)線區(qū)152、153隔著電介質(zhì)片基彼此相對(duì)以提供一個(gè)靜電電容。電極導(dǎo)線區(qū)153與接線板170的接地電極172相連。
另外，在第十六實(shí)施例中的接線板170可由與第十四實(shí)施例的接線板134相同的方式組成。
在該第十六實(shí)施例中，通過(guò)對(duì)光敏導(dǎo)電膏進(jìn)行曝光和顯影，電容器片基150的諸如循環(huán)器或單向器這樣的電容電極導(dǎo)線區(qū)152、153被形成電路圖。因此可減小在靜電電容器中的分散程度，并可省略靜電電容的微調(diào)。
應(yīng)指出的是電容電極導(dǎo)線區(qū)和通孔之間的連接可象圖3到5里的一樣起作用。
第十四實(shí)施例圖16顯示出本發(fā)明的第十四實(shí)施例，該實(shí)施例中制成用作汽車(chē)導(dǎo)航(GPS全球定位系統(tǒng))天線、便攜式電話、或個(gè)人計(jì)算機(jī)用無(wú)線局域網(wǎng)天線的片狀天線(patch antenna)。在該圖中，在作為元件的電介質(zhì)片基180的主平面(上表面)上，一個(gè)天線電極導(dǎo)線區(qū)181(實(shí)際上可具有比該圖更復(fù)雜的形狀)及以一個(gè)預(yù)定的間隙布置的一個(gè)間隙形電極導(dǎo)線區(qū)182形成圖形。而且，在電介質(zhì)板180的下表面和一側(cè)面上，通過(guò)印刷和涂布非光敏導(dǎo)電膏形成一個(gè)接地電極導(dǎo)線區(qū)183和一個(gè)與此連接的帶狀連接電極導(dǎo)線區(qū)184。連接電極導(dǎo)線區(qū)184被設(shè)置成與該間隙形電極導(dǎo)線區(qū)182相接觸或部分重疊以達(dá)到電導(dǎo)通。接地電極導(dǎo)線區(qū)183布置在電介質(zhì)板180的整個(gè)下表面上。這些電極導(dǎo)線區(qū)的光敏導(dǎo)電膏和非光敏導(dǎo)電膏可被分別或同時(shí)燒結(jié)。
在該第十七實(shí)施例中，天線電極導(dǎo)線區(qū)181和該間隙形電極導(dǎo)線區(qū)182可通過(guò)對(duì)光敏導(dǎo)電膏的曝光和顯影過(guò)程以高精度形成圖形，在此，電介質(zhì)板180的位置或間隙非常重要。這樣可以獲得具有很好特性的片狀天線。
盡管上面描述了本發(fā)明的實(shí)施例，但對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，顯然本發(fā)明并不局限于這些實(shí)施例，并且可以在本發(fā)明權(quán)利要求所確定的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變化或改進(jìn)。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)和非光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)至少部分彼此相接觸或重疊以形成一個(gè)電導(dǎo)通的電極導(dǎo)線。因此，不僅能以更高精度制成導(dǎo)線分布圖，而且該圖形和該電極可做成與該電子元件應(yīng)用位置相適應(yīng)的預(yù)定膜厚度。具有高縱橫比的部分如以前很難進(jìn)行曝光的通孔內(nèi)表面，可以被制成能導(dǎo)電的，并且通孔的內(nèi)表面和表面圖形可以相互連接。另外，通過(guò)對(duì)光敏導(dǎo)電膏的曝光和顯影過(guò)程形成圖案的部分與通過(guò)絲網(wǎng)印刷而形成圖案的部分相比，由于絲網(wǎng)的退化而偏離原來(lái)位置的情況更小，結(jié)果圖案的位置精度提高了。因此，產(chǎn)品特性偏離的影響可極大地減小。另外，光敏導(dǎo)電膏在非光敏導(dǎo)電膏上再涂抹一遍，并且該光敏導(dǎo)電膏被用作掩膜，這樣可以形成具有很大膜厚度的電極或圖案。并且可以高精度和窄節(jié)距來(lái)形成圖形，因此可解決焊料腐蝕問(wèn)題并提高導(dǎo)電率。
權(quán)利要求
1.一種電子元件，包括一個(gè)在與主表面相連的表面上用非光敏導(dǎo)電膏形成的第一電極導(dǎo)線區(qū)，在主表面?zhèn)鹊囊粋€(gè)端部做成傾斜形狀；一個(gè)在所述主平面上具有經(jīng)曝光和顯影的光敏導(dǎo)電膏的第二電極導(dǎo)線區(qū)；其中，第一電極導(dǎo)線區(qū)的具有傾斜形狀的端部至少與第二電極導(dǎo)線的一部分相重疊。
2.如權(quán)利要求1所述的電子元件，其特征在于由所述非光敏導(dǎo)電膏形成的第一電極導(dǎo)線區(qū)在所述元件的端面或側(cè)面上組成端面電極或側(cè)面電極。
3.如權(quán)利要求1所述的電子元件，其特征在于與所述主平面相連的所述表面具有一個(gè)傾斜連接表面，由所述光敏導(dǎo)電膏形成的第二電極導(dǎo)線從所述主平面延伸到所述傾斜連接表面并彼此重疊。
4.一種電子元件，包括一個(gè)在主平面上用非光敏導(dǎo)電膏形成的第一電極導(dǎo)線區(qū)；一個(gè)具有經(jīng)過(guò)曝光和顯影的光敏導(dǎo)電膏的第二電極導(dǎo)線，該第二電極導(dǎo)線區(qū)至少部分地重疊在所述第一電極導(dǎo)線區(qū)上，其中第一和第二電極導(dǎo)線區(qū)的重疊區(qū)域的外形相一致。
5.如權(quán)利要求4所述的電子元件，其特征在于兩個(gè)電極導(dǎo)線區(qū)的重疊區(qū)的外形的一致并構(gòu)成凸塊。
6.一種電子元件，包括一個(gè)具有經(jīng)過(guò)曝光和顯影的光敏導(dǎo)電膏的第一電極導(dǎo)線區(qū)，通過(guò)它限定了電極區(qū)；一個(gè)由非光敏導(dǎo)電膏形成的第二電極導(dǎo)線區(qū)，該第二電極導(dǎo)線區(qū)在由所述第一電極導(dǎo)線區(qū)所限定的電極區(qū)內(nèi)形成。
7.一種電子元件，包括一個(gè)電介質(zhì)塊；一個(gè)在所述電介質(zhì)塊主表面上的具有經(jīng)過(guò)曝光和顯影的光敏導(dǎo)電膏的第一電極導(dǎo)線區(qū)；一個(gè)在貫通所述主平面而開(kāi)的一通孔的內(nèi)部周邊表面上由非光敏導(dǎo)電膏形成的內(nèi)部圓周電極導(dǎo)線區(qū)，其中在所述主平面上的所述通孔的一個(gè)開(kāi)口部附近，兩個(gè)電極導(dǎo)線區(qū)至少部分地重疊以電導(dǎo)通以組成一個(gè)電介質(zhì)濾波器。
8.如權(quán)利要求1到7任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的電子元件，其特征在于該由光敏導(dǎo)電膏形成的電極導(dǎo)線區(qū)和由非光敏導(dǎo)電膏形成的電極導(dǎo)線區(qū)至少彼此部分重疊并被燒結(jié)。
9.一種電子元件制造方法，包括以下步驟在與主表面相連的一個(gè)表面上形成一個(gè)非光敏導(dǎo)電圖形的第一電極導(dǎo)線區(qū)，一個(gè)在主表面?zhèn)鹊亩瞬勘蛔龀蓛A斜狀以形成另一平面；在所述主表面上形成一個(gè)具有經(jīng)曝光和顯影的光敏導(dǎo)電膏的第二電極導(dǎo)線區(qū)；其中具有傾斜形狀的第一電極導(dǎo)線區(qū)的端部至少與第二電極導(dǎo)線區(qū)的一部分相重疊。
10.如權(quán)利要求9所述的電子元件制造方法，其特征在于連接所述主表面的所述表面具有一個(gè)傾斜連接表面，由所述光敏導(dǎo)電膏形成的第二電極導(dǎo)線從所述主平面延伸至所述傾斜連接表面以彼此重疊。
11.一種電子元件制造方法，包括以下步驟在一主表面上形成一個(gè)非光敏導(dǎo)電圖形的第一電極導(dǎo)線區(qū)；在所述主表面上形成具有經(jīng)過(guò)曝光和顯影的光敏導(dǎo)電膏的一第二電極導(dǎo)線區(qū)，該第二電極導(dǎo)線區(qū)至少部分地重疊在所述第一電極導(dǎo)線區(qū)上；用所述第二電極導(dǎo)線區(qū)作掩膜使該非光敏導(dǎo)電膏的所述第一電極導(dǎo)線區(qū)形成圖形。
全文摘要
一種電子元件,不僅能提高圖形印刷精度這個(gè)傳統(tǒng)問(wèn)題而且以與電子元件應(yīng)用位置相適應(yīng)的預(yù)定膜厚度形成圖形和電極,進(jìn)一步在有高縱橫比的區(qū)域形成電極,且提供該電子元件的制造方法。在元件10的主平面上形成電極導(dǎo)線時(shí),該方法包括形成由具有在主平面上經(jīng)曝光和顯影的光敏導(dǎo)電膏的導(dǎo)線分布圖組成的電極導(dǎo)線區(qū)13的步驟和形成非光敏導(dǎo)電膏的電極導(dǎo)線區(qū)11的步驟,其中電極導(dǎo)線區(qū)都布置在元件10的表面上,使兩者至少部分彼此接觸或重疊。
文檔編號(hào)H03H7/52GK1336725SQ0111723
公開(kāi)日2002年2月20日 申請(qǐng)日期2001年1月26日 優(yōu)先權(quán)日2000年1月26日
發(fā)明者后藤真史, 田代浩二 申請(qǐng)人:Tdk株式會(huì)社