本發(fā)明屬于壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

近年來，壓電驅(qū)動(dòng)器作為一種新型驅(qū)動(dòng)裝置，利用壓電材料的逆壓電效應(yīng)，在彈性體的特定位置處激勵(lì)出特定的運(yùn)動(dòng)軌跡，以彈性體作為定子或動(dòng)子，利用摩擦力，實(shí)現(xiàn)對(duì)動(dòng)子的驅(qū)動(dòng)。壓電驅(qū)動(dòng)器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，精度高，響應(yīng)快，功率密度大，斷電自鎖，不受電磁干擾等優(yōu)點(diǎn)，這使其在超精密加工、定位等領(lǐng)域有著極大的應(yīng)用前景。

兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)裝置，可實(shí)現(xiàn)兩自由度驅(qū)動(dòng)，單個(gè)驅(qū)動(dòng)器可以實(shí)現(xiàn)更多的功能，已經(jīng)得到了廣泛的研究?，F(xiàn)有的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)裝置，主要包括兩種：一種是兩個(gè)單自由度壓電驅(qū)動(dòng)裝置并聯(lián)機(jī)械結(jié)構(gòu)，利用柔性鉸鏈連接，實(shí)現(xiàn)兩自由度驅(qū)動(dòng)，但此類驅(qū)動(dòng)裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，裝配要求極高，輸出行程小，限制了其應(yīng)用范圍。另一種是兩個(gè)單自由度壓電驅(qū)動(dòng)裝置串聯(lián)，實(shí)現(xiàn)兩自由度驅(qū)動(dòng)，雖然此類驅(qū)動(dòng)裝置有效的增大了其驅(qū)動(dòng)行程，但相互串聯(lián)使得輸出誤差相互疊加，降低了驅(qū)動(dòng)精度。同時(shí)，這兩種兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)裝置都是單自由度驅(qū)動(dòng)裝置疊加的形式，結(jié)構(gòu)尺寸太大，不易于實(shí)現(xiàn)小型化。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)裝置都是采用單自由度驅(qū)動(dòng)裝置疊加的形式實(shí)現(xiàn)，結(jié)構(gòu)尺寸大，且不易于實(shí)現(xiàn)小型化問題，本發(fā)明提供了一種鈸型兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器及采用該驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)的兩自由度運(yùn)動(dòng)的激勵(lì)方法。

鈸型兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器，它包括壓電陶瓷片、鈸形金屬片、驅(qū)動(dòng)足、基座和動(dòng)子；

所述壓電陶瓷片沿厚度方向極化，包括四個(gè)極化分區(qū)，分別是極化一區(qū)、極化二區(qū)、極化三區(qū)和極化四區(qū)，其中，極化一區(qū)與極化三區(qū)對(duì)角布置，且極化方向相反，極化二區(qū)與極化四區(qū)對(duì)角布置，且極化方向相反；

所述鈸形金屬片包括上鈸形金屬片和下鈸形金屬片，且二者對(duì)稱布置于壓電陶瓷片的上下表面，下鈸形金屬片與基座固定連接；

所述驅(qū)動(dòng)足的首端與上鈸形金屬片的上表面固定連接，其末端與動(dòng)子的外表面接觸，動(dòng)子與基座轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

所述的所述壓電陶瓷片上下表面分別設(shè)置激勵(lì)電極片和接地電極片。

所述的鈸形金屬片為中心凸起呈鈸形的金屬片，且上鈸形金屬片中心凸起指向驅(qū)動(dòng)足，下鈸形金屬片中心凸起指向基座。

所述的動(dòng)子為球型動(dòng)子、平面動(dòng)子或筒形動(dòng)子。

采用所述的鈸型兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)的兩自由度運(yùn)動(dòng)的激勵(lì)方法，該激勵(lì)方法可驅(qū)動(dòng)動(dòng)子實(shí)現(xiàn)兩自由度運(yùn)動(dòng)，具體表現(xiàn)為：驅(qū)動(dòng)動(dòng)子繞x軸順時(shí)針或逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，以及繞y軸順時(shí)針或逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)；

其中，x軸和y軸所指向的方向?yàn)閴弘婒?qū)動(dòng)器徑向平面內(nèi)兩個(gè)互垂直的方向；

(一)驅(qū)動(dòng)動(dòng)子繞x軸逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)的具體過程為：

步驟一一、對(duì)極化二區(qū)與極化四區(qū)施加幅值逐漸上升的激勵(lì)電壓信號(hào)，上升時(shí)間為t1，從而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)足沿y軸正向逐漸擺動(dòng)至極限位置，利用驅(qū)動(dòng)足與動(dòng)子間的靜摩擦力，驅(qū)動(dòng)動(dòng)子繞x軸逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)角度；

步驟一二、對(duì)極化二區(qū)與極化四區(qū)施加幅值逐漸下降的激勵(lì)電壓信號(hào)，下降時(shí)間為t2，且t2<<t1，從而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)足沿y軸正向返回初始位置，由于慣性，動(dòng)子保持原狀態(tài)；

步驟一三、重復(fù)步驟一一到步驟一二，實(shí)現(xiàn)了鈸型兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器對(duì)動(dòng)子的連續(xù)步進(jìn)式驅(qū)動(dòng)，最終實(shí)現(xiàn)了驅(qū)動(dòng)動(dòng)子繞x軸逆時(shí)針持續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)；

(二)驅(qū)動(dòng)動(dòng)子繞x軸順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)的具體過程為：

步驟二一、對(duì)極化二區(qū)與極化四區(qū)施加幅值逐漸下降的激勵(lì)電壓信號(hào)，下降時(shí)間為t1，從而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)足沿y軸負(fù)向逐漸擺動(dòng)至極限位置，利用驅(qū)動(dòng)足與動(dòng)子間的靜摩擦力，驅(qū)動(dòng)動(dòng)子繞x軸順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)角度；

步驟二二、對(duì)極化二區(qū)與極化四區(qū)施加幅值逐漸上升的激勵(lì)電壓信號(hào)，上升時(shí)間為t2，且t2<<t1，從而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)足沿y軸負(fù)向返回初始位置，由于慣性，動(dòng)子保持原狀態(tài)；

步驟二三、重復(fù)步驟二一到步驟二二，實(shí)現(xiàn)了鈸型兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器對(duì)動(dòng)子的連續(xù)步進(jìn)式驅(qū)動(dòng)，最終實(shí)現(xiàn)了驅(qū)動(dòng)球型動(dòng)子繞x軸順時(shí)針持續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)；

(三)驅(qū)動(dòng)動(dòng)子繞y軸順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)的具體過程為：

步驟三一、對(duì)極化一區(qū)與極化三區(qū)施加幅值逐漸上升的激勵(lì)電壓信號(hào)，上升時(shí)間為t1，從而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)足沿x軸正向逐漸擺動(dòng)至極限位置，利用驅(qū)動(dòng)足與動(dòng)子間的靜摩擦力，驅(qū)動(dòng)動(dòng)子繞y軸順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)角度；

步驟三二、對(duì)極化一區(qū)與極化三區(qū)施加幅值逐漸下降的激勵(lì)電壓信號(hào)，下降時(shí)間為t2，且t2<<t1，從而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)足沿x軸正向返回初始位置，由于慣性，動(dòng)子保持原狀態(tài)；

步驟三三、重復(fù)步驟三一到步驟三二，實(shí)現(xiàn)了鈸型兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器對(duì)動(dòng)子的連續(xù)步進(jìn)式驅(qū)動(dòng)，最終實(shí)現(xiàn)了驅(qū)動(dòng)動(dòng)子繞y軸順時(shí)針持續(xù)運(yùn)動(dòng)；

(四)驅(qū)動(dòng)動(dòng)子繞y軸逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)的具體過程為：

步驟四一、對(duì)極化一區(qū)與極化三區(qū)施加幅值逐漸下降的激勵(lì)電壓信號(hào)，下降時(shí)間為t1，從而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)足沿x軸負(fù)向逐漸擺動(dòng)至極限位置，利用驅(qū)動(dòng)足與動(dòng)子間的靜摩擦力，驅(qū)動(dòng)動(dòng)子繞y軸逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)角度；

步驟四二、對(duì)極化一區(qū)與極化三區(qū)施加幅值逐漸上升的激勵(lì)電壓信號(hào)，上升時(shí)間為t2，且t2<<t1，從而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)足沿x軸負(fù)向返回初始位置或者擺動(dòng)到x軸正向極限位置，由于慣性，動(dòng)子保持原狀態(tài)；

步驟四三、重復(fù)步驟四一到步驟四二，實(shí)現(xiàn)了鈸型兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器對(duì)動(dòng)子的連續(xù)步進(jìn)式驅(qū)動(dòng)，最終實(shí)現(xiàn)了驅(qū)動(dòng)動(dòng)子繞y軸逆時(shí)針持續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)。

采用鈸型兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)的兩自由度運(yùn)動(dòng)的激勵(lì)方法，該方法中所施加的電壓激勵(lì)信號(hào)的波形為非對(duì)稱三角波或非對(duì)稱梯形波。

本發(fā)明帶來的有益效果是，本發(fā)明所述的一種鈸型兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器，在工作中，可以實(shí)現(xiàn)兩方向驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)多種功能。本發(fā)明通過一組壓電陶瓷片和兩組鈸形金屬片連接，利用驅(qū)動(dòng)足輸出驅(qū)動(dòng)力，實(shí)現(xiàn)兩自由度驅(qū)動(dòng)。利用鈸形金屬片的位移放大作用，以小體積的壓電陶瓷片實(shí)現(xiàn)有效的位移輸出，從而實(shí)現(xiàn)壓電驅(qū)動(dòng)器的小型化。同時(shí)，壓電陶瓷片設(shè)置為四個(gè)極化分區(qū)，在電壓激勵(lì)信號(hào)激勵(lì)下，帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)足實(shí)現(xiàn)兩個(gè)自由度的擺動(dòng)，利用靜摩擦力和慣性驅(qū)動(dòng)原理，驅(qū)動(dòng)動(dòng)子兩自由度運(yùn)動(dòng)。該鈸型兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器結(jié)構(gòu)尺寸小，在空間機(jī)構(gòu)，生命科學(xué)，納米制造等工作空間小，精度高的領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。

附圖說明

圖1為當(dāng)動(dòng)子為球型動(dòng)子時(shí)，鈸型兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器的整體結(jié)構(gòu)示意圖；其中，z軸為壓電驅(qū)動(dòng)器的軸向；

圖2為圖1的軸向剖視圖；

圖3是壓電陶瓷片的四個(gè)極化分區(qū)圖；

圖4為當(dāng)動(dòng)子為平面動(dòng)子時(shí)，鈸型兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器的軸向剖視圖；

圖5為當(dāng)動(dòng)子為筒形動(dòng)子時(shí)，鈸型兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器的軸向剖視圖；

圖6為壓電驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)球型動(dòng)子繞x軸順時(shí)針轉(zhuǎn)時(shí)，所施加的激勵(lì)電壓信號(hào)的波形圖；

其中，vmax為正向電壓幅值的極大值，-vmax為負(fù)向電壓幅值的極大值，t0為初始時(shí)間，t為周期；

圖7和圖8均為在圖6所施加的激勵(lì)電壓信號(hào)的條件下，壓電驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)球型動(dòng)子繞x軸順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)的狀態(tài)圖；

圖9為電驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)球型動(dòng)子繞x軸逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，所施加的激勵(lì)電壓信號(hào)的波形圖；

其中，vmax為正向電壓幅值的極大值，-vmax為負(fù)向電壓幅值的極大值，t0為初始時(shí)間，t為周期；

圖10和圖11均為在圖9所施加的激勵(lì)電壓信號(hào)的條件下，壓電驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)球型動(dòng)子繞x軸逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)的狀態(tài)圖。

具體實(shí)施方式

具體實(shí)施方式一：參見圖1至圖5說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式所述的鈸型兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器，它包括壓電陶瓷片1、鈸形金屬片2、驅(qū)動(dòng)足3、基座4和動(dòng)子5；

所述壓電陶瓷片1沿厚度方向極化，包括四個(gè)極化分區(qū)，分別是極化一區(qū)1-1、極化二區(qū)1-3、極化三區(qū)1-2和極化四區(qū)1-4，其中，極化一區(qū)1-1與極化三區(qū)1-3對(duì)角布置，且極化方向相反，極化二區(qū)1-2與極化四區(qū)1-4對(duì)角布置，且極化方向相反；

所述鈸形金屬片2包括上鈸形金屬片2-2和下鈸形金屬片2-1，且二者對(duì)稱布置于壓電陶瓷片1的上下表面，下鈸形金屬片2-1與基座4固定連接；

所述驅(qū)動(dòng)足3的首端與上鈸形金屬片2-2的上表面固定連接，其末端與動(dòng)子5的外表面接觸，動(dòng)子5與基座4轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

本實(shí)施方式，利用鈸形金屬片的位移放大作用，有效的縮小壓電陶瓷片1片的尺寸，從而實(shí)現(xiàn)壓電驅(qū)動(dòng)器的小型化。壓電陶瓷片1設(shè)置為四個(gè)極化分區(qū)，在電壓激勵(lì)信號(hào)激勵(lì)下，帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)足實(shí)現(xiàn)兩個(gè)自由度的擺動(dòng)，利用靜摩擦力和慣性驅(qū)動(dòng)原理，驅(qū)動(dòng)動(dòng)子兩自由度運(yùn)動(dòng)。該鈸型兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器結(jié)構(gòu)尺寸小，實(shí)現(xiàn)了小型化。

具體實(shí)施方式二：參見圖1至圖5說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式一所述的鈸型兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器的區(qū)別在于，所述的動(dòng)子5為球型動(dòng)子、平面動(dòng)子或筒形動(dòng)子。

本實(shí)施方式中，當(dāng)動(dòng)子5為球型動(dòng)子時(shí)，球型動(dòng)子的外表面與基座4轉(zhuǎn)動(dòng)連接；當(dāng)動(dòng)子5為平面動(dòng)子時(shí)，平面動(dòng)子的底面與基座4轉(zhuǎn)動(dòng)連接；當(dāng)動(dòng)子5為筒形動(dòng)子時(shí)，筒形動(dòng)子的外表面與基座4轉(zhuǎn)動(dòng)連接，且繞著筒形動(dòng)子軸向轉(zhuǎn)動(dòng)。

具體實(shí)施方式三：參見圖1至圖5說明本實(shí)施方式，采用具體實(shí)施方式一所述的鈸型兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)的兩自由度運(yùn)動(dòng)的激勵(lì)方法，該激勵(lì)方法可驅(qū)動(dòng)動(dòng)子5實(shí)現(xiàn)兩自由度運(yùn)動(dòng)，具體表現(xiàn)為：驅(qū)動(dòng)動(dòng)子5繞x軸順時(shí)針或逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，以及繞y軸順時(shí)針或逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)；

其中，x軸和y軸所指向的方向?yàn)閴弘婒?qū)動(dòng)器徑向平面內(nèi)兩個(gè)互垂直的方向；

(一)驅(qū)動(dòng)動(dòng)子5繞x軸逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)的具體過程為：

步驟一一、對(duì)極化二區(qū)1-2與極化四區(qū)1-4施加幅值逐漸上升的激勵(lì)電壓信號(hào)，上升時(shí)間為t1，從而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)足3沿y軸正向逐漸擺動(dòng)至極限位置，利用驅(qū)動(dòng)足3與動(dòng)子5間的靜摩擦力，驅(qū)動(dòng)動(dòng)子5繞x軸逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)角度；

步驟一二、對(duì)極化二區(qū)1-2與極化四區(qū)1-4施加幅值逐漸下降的激勵(lì)電壓信號(hào)，上升時(shí)間為t2，且t2<<t1，從而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)足3沿y軸正向返回初始位置，由于慣性，動(dòng)子5保持原狀態(tài)；

步驟一三、重復(fù)步驟一一到步驟一二，實(shí)現(xiàn)了鈸型兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器對(duì)動(dòng)子5的連續(xù)步進(jìn)式驅(qū)動(dòng)，最終實(shí)現(xiàn)了驅(qū)動(dòng)動(dòng)子5繞x軸逆時(shí)針持續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)；

其中，在圖9所施加激勵(lì)電壓信號(hào)的條件下，驅(qū)動(dòng)動(dòng)子5繞x軸逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，具體參見圖10和圖11，且圖9中的t1為一個(gè)周期電壓幅值下降段時(shí)間，t2為一個(gè)周期電壓幅值上升段時(shí)間；

(二)驅(qū)動(dòng)動(dòng)子5繞x軸順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)的具體過程為：

步驟二一、對(duì)極化二區(qū)1-2與極化四區(qū)1-4施加幅值逐漸下降的激勵(lì)電壓信號(hào)，下降時(shí)間為t1，從而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)足3沿y軸負(fù)向逐漸擺動(dòng)至極限位置，利用驅(qū)動(dòng)足3與動(dòng)子5間的靜摩擦力，驅(qū)動(dòng)動(dòng)子5繞x軸順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)角度；

步驟二二、對(duì)極化二區(qū)1-2與極化四區(qū)1-4施加幅值逐漸上升的激勵(lì)電壓信號(hào)，上升時(shí)間為t2，且t2<<t1，從而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)足3沿y軸負(fù)向返回初始位置，由于慣性，動(dòng)子5保持原狀態(tài)；步驟二三、重復(fù)步驟二一到步驟二二，實(shí)現(xiàn)了鈸型兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器對(duì)動(dòng)子5的連續(xù)步進(jìn)式驅(qū)動(dòng)，最終實(shí)現(xiàn)了驅(qū)動(dòng)球型動(dòng)子5繞x軸順時(shí)針持續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)；

其中，在圖6所施加激勵(lì)電壓信號(hào)的條件下，驅(qū)動(dòng)動(dòng)子5繞x軸順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，具體參見圖7和圖8；且圖6中的t1為一個(gè)周期電壓幅值上升段時(shí)間，t2為一個(gè)周期電壓幅值下降段時(shí)間；

(三)驅(qū)動(dòng)動(dòng)子5繞y軸順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)的具體過程為：

步驟三一、對(duì)極化一區(qū)1-1與極化三區(qū)1-3施加幅值逐漸上升的激勵(lì)電壓信號(hào)，上升時(shí)間為t1，從而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)足3沿x軸正向逐漸擺動(dòng)至極限位置，利用驅(qū)動(dòng)足3與動(dòng)子5間的靜摩擦力，驅(qū)動(dòng)動(dòng)子5繞y軸順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)角度；

步驟三二、對(duì)極化一區(qū)1-1與極化三區(qū)1-3施加幅值逐漸下降的激勵(lì)電壓信號(hào)，下降時(shí)間為t2，且t2<<t1，從而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)足3沿x軸正向返回初始位置，由于慣性，動(dòng)子5保持原狀態(tài)；步驟三三、重復(fù)步驟三一到步驟三二，實(shí)現(xiàn)了鈸型兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器對(duì)動(dòng)子5的連續(xù)步進(jìn)式驅(qū)動(dòng)，最終實(shí)現(xiàn)了驅(qū)動(dòng)動(dòng)子5繞y軸順時(shí)針持續(xù)運(yùn)動(dòng)；

(四)驅(qū)動(dòng)動(dòng)子5繞y軸逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)的具體過程為：

步驟四一、對(duì)極化一區(qū)1-1與極化三區(qū)1-3施加幅值逐漸下降的激勵(lì)電壓信號(hào)，下降時(shí)間為t1，從而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)足3沿x軸負(fù)向逐漸擺動(dòng)至極限位置，利用驅(qū)動(dòng)足3與動(dòng)子5間的靜摩擦力，驅(qū)動(dòng)動(dòng)子5繞y軸逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)角度；

步驟四二、對(duì)極化一區(qū)1-1與極化三區(qū)1-3施加幅值逐漸上升的激勵(lì)電壓信號(hào)，上升時(shí)間為t2，且t2<<t1，從而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)足3沿x軸負(fù)向返回初始位置或者擺動(dòng)到x軸正向極限位置，由于慣性，動(dòng)子5保持原狀態(tài)；

步驟四三、重復(fù)步驟四一到步驟四二，實(shí)現(xiàn)了鈸型兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器對(duì)動(dòng)子5的連續(xù)步進(jìn)式驅(qū)動(dòng)，最終實(shí)現(xiàn)了驅(qū)動(dòng)動(dòng)子5繞y軸逆時(shí)針持續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)。

本實(shí)施方式中，所述的動(dòng)子5保持原狀態(tài)，具體解釋為：動(dòng)子5保持上一時(shí)刻的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)。

步驟一一、步驟二一、步驟三一和步驟四一中的角度，均為十分微小的角度。

具體實(shí)施方式四：參見圖1至圖5說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式五所述的采用鈸型兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)的兩自由度運(yùn)動(dòng)的激勵(lì)方法的區(qū)別在于，該方法中所施加的電壓激勵(lì)信號(hào)的波形為非對(duì)稱三角波或非對(duì)稱梯形波。

本實(shí)施方式中，非對(duì)稱三角波為鋸齒波。