振動裝置及包含它的驅(qū)動裝置、除塵裝置和光學裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及振動裝置及包含該振動裝置的驅(qū)動裝置、除塵裝置和光學裝置。該振動裝置包括：振動體，包含多個電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件；電源，用于向多個電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件施加交變電壓；和控制電路，用于控制要由電源施加的交變電壓，振動裝置通過控制電路以預定的時間相位差在振動體中產(chǎn)生第一駐波和第二駐波，第一駐波和第二駐波具有在相同方向上排列的多個節(jié)線并且在階次方面是不同的，其中振動體包含多個電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件中的在多個節(jié)線延伸的方向上設置的至少一個電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件，并且還包含所述多個電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件中的在排列多個節(jié)線的方向上設置的至少另一個電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件。
【專利說明】振動裝置及包含它的驅(qū)動裝置、除塵裝置和光學裝置
[0001] 本分案申請是基于申請?zhí)枮?01010519929. 7,申請日為2010年10月26日，發(fā)明 名稱為"振動裝置及包含它的驅(qū)動裝置、除塵裝置和光學裝置"的中國專利申請的分案申 請。

【技術(shù)領域】
[0002] 本發(fā)明涉及振動裝置，更特別地，涉及用于通過振動來移動物體的振動裝置，即， 用于諸如照相機、傳真機、掃描儀、投影儀、復印機、激光束打印機、噴墨打印機、鏡頭、雙目 鏡或圖像顯示裝置之類的光學裝置的除塵裝置中的振動裝置。

【背景技術(shù)】
[0003] 近年來，圖像拾取裝置的光學傳感器的分辨率得到提高。伴隨這種提高，由圖像拾 取裝置拍攝的圖像變得更嚴重地受到在使用過程中粘附于光學系統(tǒng)的灰塵的影響。
[0004] 特別地，攝像機或靜態(tài)照相機的圖像拾取元件的分辨率顯著提高。因此，如果灰塵 粘附于設置在圖像拾取元件附近的光學元件，那么會在圖像中導致缺陷。
[0005] 例如，如果來自外部的灰塵或在內(nèi)部的機械滑動摩擦面上產(chǎn)生的磨損粉末粘附于 紅外截止濾波器或光學低通濾波器，那么，對于圖像拾取元件的表面上的圖像的少量的模 糊，灰塵更加明顯地在拍攝的圖像中顯現(xiàn)。
[0006] 另一方面，復印機、傳真機或掃描儀的圖像拾取部分通過掃描線傳感器或通過掃 描接近線傳感器的原稿而讀取平面文檔。在這種情況下，如果灰塵粘附于關于線傳感器的 光束入射部分，那么灰塵在掃描圖像中顯現(xiàn)。
[0007] 特別地，在諸如傳真機的讀取部分之類的采用掃描原稿的系統(tǒng)的裝置的情況下， 或者，在來自復印機的自動原稿傳輸裝置的原稿在被傳輸?shù)耐瑫r被讀取的所謂的流動讀取 類型的情況下，一?；覊m作為在原稿傳輸方向上持續(xù)的線圖像而顯現(xiàn)。
[0008] 作為結(jié)果，出現(xiàn)圖像質(zhì)量大大受損的問題。
[0009] 當通過人力擦除灰塵時，可恢復圖像質(zhì)量。但是，在使用過程中粘附的灰塵只能在 圖像拍攝之后被確認。在灰塵被確認之前被拍攝或被掃描的圖像使灰塵在圖像中顯現(xiàn)，這 需要通過軟件進行校正。此外，在復印機的情況下，具有灰塵的圖像同時被輸出到諸如紙張 片材之類的介質(zhì)，這需要相當大的努力進行校正。
[0010] 鑒于上述的問題，在常規(guī)上提出了通過施加振動從圖像讀取部分移除灰塵的圖像 讀取裝置（美國專利No. 7, 006, 138和美國專利申請No. 2009/207493)。
[0011] 圖8A示出在美國專利No. 7, 006, 138中公開的常規(guī)的防塵元件部分的配置。
[0012] 防塵元件部分包含用作光學元件的玻璃板27。光束穿過玻璃板27內(nèi)側(cè)的成像光 束透射范圍27a，并且在圖像拾取元件（未示出）上成像。
[0013] 此外，壓電體271、272、273和274被固定到玻璃板27。
[0014] 用于接地的電氣端子275被設置在各壓電體和玻璃板27之間。
[0015] 各壓電體沿長度方向包含極性方向交替改變的區(qū)間（在圖8A中由" + "和指 示）。壓電體271和壓電體273沿長度方向具有相同的極性布置。
[0016] 此外，壓電體272和壓電體274沿長度方向具有相同的極性布置。當" + "和 的區(qū)間長度被定義為λ時，壓電體272和壓電體274的極性布置相對于壓電體271和壓電 體273的極性布置沿長度方向各位移λ/4。
[0017] 壓電體271和壓電體273通過振蕩器以相同的周期各被施加相同時間相位的電 壓。
[0018] 另一方面，壓電體272和壓電體274通過振蕩器以相同的周期被施加時間相位由 90度移相器從壓電體271和壓電體273的時間相位偏移的電壓。
[0019] 圖8Β示出從上述的圖8Α的h方向觀察的在玻璃板27的表面上產(chǎn)生的行波。
[0020] 行波向圖8B中的右方（箭頭i的方向）行進。當在玻璃板27的表面上產(chǎn)生行波 時，在玻璃板27的表面上的任何質(zhì)點上都發(fā)生圖8B的紙面上的逆時針方向上的橢圓運動。
[0021] 因此，粘附于玻璃板27的表面的灰塵向圖8B的左方移動，以從成像光束透射區(qū)域 27a被去除。
[0022] 圖9A示出在美國專利申請No. 2009/207493中公開的常規(guī)的除塵裝置的振動裝置 的配置。
[0023] 對圖像拾取元件301設置振動裝置300,所述圖像拾取元件301將接收的物體圖像 轉(zhuǎn)換成電信號以便產(chǎn)生圖像數(shù)據(jù)。
[0024] 圖像拾取元件301的表面（前表面）中的空間被振動裝置300和圖像拾取元件 301氣密密封。
[0025] 振動裝置300包含光學元件302和一對壓電元件303a和303b。光學元件302具 有矩形板形狀的形式。壓電元件303a和303b通過接合而被固定到光學元件302的兩個端 部，并且，各用作電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件。
[0026] 壓電元件303a被施加交變電壓A，壓電元件303b被施加交變電壓B。
[0027] 圖9B示出面外一階彎曲振動A的位移分布和面外二階彎曲振動B的位移分布。
[0028] 縱軸表示振動裝置300的表面的面外方向上的位移，該表面與設置圖像拾取元件 301的側(cè)相對，其中，圖像拾取元件301側(cè)被定義為負側(cè)。如圖9B所示，橫軸對應于振動裝 置300的長度方向上的位置。
[0029] 交變電壓A和交變電壓B均是周期響應于伴隨面外一階彎曲振動和面外二階彎曲 振動而發(fā)生的共振現(xiàn)象的交變電壓。此外，交變電壓A和交變電壓B在時間相位上相互不 同。
[0030] 因此，在振動裝置300中，兩個振動一即時間相位不同的面外一階彎曲振動和面 外二階彎曲振動一的組合振動被激勵。
[0031] 圖10、圖11、圖12和圖13是對于各時間相位示出面外一階彎曲振動和面外二階 彎曲振動在這兩種振動具有90度的時間相位差并且其間的振幅比為1:1的情況下的位移 以及組合這些振動的振動體的位移的曲線圖。
[0032] 在圖10、圖11、圖12和圖13中，波形C示出面外一階彎曲振動的位移。波形D示 出面外二階彎曲振動的位移。
[0033] 波形E示出其中組合這兩種振動的振動裝置300的位移。
[0034] 波形G示出時間相位比波形E超前30度的振動裝置300的位移。
[0035] 波形F示出振動裝置300中的Y方向上的歸一化位移速率。在操作除塵裝置的情 況下，當光學元件302使粘附于光學元件302的表面的灰塵上升到面外（沿與設置圖9Β的 圖像拾取元件301的側(cè)相對的方向（正方向））時，該灰塵被施加光學元件302的表面的法 線方向上的力，并且以彈跳的方式移動。換句話說，在各時間相位中，當示出Υ方向上的位 移速率的波形F取正值時，灰塵上升到面外，并且被施加示出相應時間相位中的振動裝置 300的位移的波形Ε的法線方向上的力。然后，灰塵一旦脫離初始粘附位置，即使灰塵再次 粘附于光學元件，也重新定位于與初始粘附位置不同的位置（移動后的位置）。以這種方 式，灰塵通過以如上所述的方式反復脫離和重新定位而保持移動。
[0036] 圖10?圖13的箭頭h指示灰塵的移動方向。
[0037] 參照圖10?圖13,在光學元件302的位置60和位置300之間的范圍中，在一個振 動周期中，用于在X方向的正方向上移動灰塵的振動量顯著大于用于在X方向的負方向上 移動灰塵的振動量。
[0038] 因此，灰塵會在X方向的正方向上被移動。
[0039] 當光學元件302的關于圖像拾取元件301的有效部分落入位置60和位置300之 間的范圍內(nèi)時，灰塵可從有效部分被去除。
[0040] 但是，上述的振動裝置具有以下的問題。在美國專利No. 7, 006, 138中公開的振動 裝置中，玻璃板27的端部干擾行波的行進方向。行波被所述端部反射，結(jié)果是入射波和反 射波相互重疊，這會形成不行進的駐波。
[0041] 駐波不產(chǎn)生橢圓運動，這使得難以僅沿一個方向移動灰塵。
[0042] 作為替代方案，如果采用消除反射波的方法，那么，由于僅當入射波和反射波相互 重疊時發(fā)生共振現(xiàn)象，因此可能難以利用共振現(xiàn)象。
[0043] 作為結(jié)果，不能獲得大的振幅，由此，橢圓運動的速度也降低。因此，灰塵以低速移 動，這有損效率。
[0044] 同時，在美國專利申請No. 2009/207493中公開的振動裝置中，由于共振現(xiàn)象，獲 得大的響應振幅。但是，振動裝置300具有許多的共振模式，由此，也會產(chǎn)生除了這兩種希 望的振動以外的不必要的振動。
[0045] 當產(chǎn)生不必要的振動時，如果該不必要的振動增大到某個值或更大，那么使光學 元件302的表面上的物體上升到面外的力的面內(nèi)方向可能在表面的一些區(qū)域中變得相反， 或者，所述力可能具有更少量的面內(nèi)方向的分量。在一些區(qū)域中，面內(nèi)移動方向可能變得彼 此相反，從而導致灰塵不能被移動或者移動灰塵的力變得小于灰塵的粘附力的狀況，結(jié)果 是移動灰塵的效率降低。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0046] 鑒于上述的問題，做出了本發(fā)明，因此，本發(fā)明的一個目的是，提供振動裝置及包 含該振動裝置的驅(qū)動裝置、除塵裝置和光學裝置，這些裝置能夠通過振動而在預定方向上 有效移動包括灰塵的物體。
[0047] 本發(fā)明提供被如下配置的振動裝置及包含該振動裝置的驅(qū)動裝置、除塵裝置和光 學裝置。
[0048] 根據(jù)本發(fā)明的振動裝置包括：振動體，包含多個電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件；電源，用 于向所述多個電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件施加交變電壓；和控制電路，用于控制要由電源施加 的交變電壓，所述振動裝置通過控制電路以預定的時間相位差在振動體中產(chǎn)生第一駐波和 第二駐波，所述第一駐波和所述第二駐波具有在相同方向上排列（aligned)的多個節(jié)線并 且在階次方面是不同的，其中，所述振動體包含所述多個電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件中的在所 述多個節(jié)線延伸的方向上設置的至少一個電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件，并且還包含所述多個電 氣機械能量轉(zhuǎn)換元件中的在排列所述多個節(jié)線的方向上設置的至少另一個電氣機械能量 轉(zhuǎn)換元件。
[0049] 此外，本發(fā)明的驅(qū)動裝置具有包含上述振動裝置的特征。
[0050] 此外，本發(fā)明的除塵裝置具有包含上述振動裝置的特征。
[0051 ] 并且，本發(fā)明的光學裝置具有包含上述振動裝置的特征。
[0052] 根據(jù)本發(fā)明，可以獲得振動裝置及包含該振動裝置的驅(qū)動裝置、除塵裝置和光學 裝置，這些裝置能夠通過振動而在預定方向上有效地移動包括灰塵的物體。
[0053] 參照附圖閱讀示例性實施例的以下描述，本發(fā)明的其它特征將變得清晰。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0054] 圖1是根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的振動裝置的透視圖。
[0055] 圖2是示出常規(guī)振動裝置中的激振力的頻率和振動響應的大小之間的關系的曲 線圖。
[0056] 圖3示出振動體中的面外十階彎曲振動和面外十一階彎曲振動的位移分布以及 壓電元件的布置。
[0057] 圖4是根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的振動裝置的透視圖。
[0058] 圖5是根據(jù)本發(fā)明的第三實施例的振動裝置的透視圖。
[0059] 圖6示出根據(jù)本發(fā)明的第四實施例的壓電元件中的電極的布置。
[0060] 圖7是根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的振動裝置的透視圖。
[0061] 圖8A示出常規(guī)振動裝置的配置。
[0062] 圖8B示出從圖8A的h方向觀察的在玻璃板的表面上產(chǎn)生的行波。
[0063] 圖9A示出常規(guī)振動裝置的配置。
[0064] 圖9B示出常規(guī)振動裝置的振動體中的面外一階彎曲振動A的位移分布和面外二 階彎曲振動B的位移分布以及壓電元件的布置。
[0065] 圖10對于各時間相位示出常規(guī)振動裝置中的面外一階彎曲振動和面外二階彎曲 振動在這兩種振動具有90度的時間相位差的情況下的位移以及組合這些振動的振動體的 位移的曲線圖。
[0066] 圖11對于各時間相位示出常規(guī)振動裝置中的面外一階彎曲振動和面外二階彎曲 振動在這兩種振動具有90度的時間相位差的情況下的位移以及組合這些振動的振動體的 位移的曲線圖。
[0067] 圖12對于各時間相位示出常規(guī)振動裝置中的面外一階彎曲振動和面外二階彎曲 振動在這兩種振動具有90度的時間相位差的情況下的位移以及組合這些振動的振動體的 位移的曲線圖。
[0068] 圖13對于各時間相位示出常規(guī)振動裝置中的面外一階彎曲振動和面外二階彎曲 振動在這兩種振動具有90度的時間相位差的情況下的位移以及組合這些振動的振動體的 位移的曲線圖。

【具體實施方式】
[0069] 以下，描述本發(fā)明的實施例。
[0070](第一實施例）
[0071] 參照圖1，描述根據(jù)第一實施例的在照相機中安裝的振動裝置的配置例子。
[0072] 根據(jù)第一實施例的振動裝置用作用于移動去除灰塵的除塵裝置。
[0073] 圖1示出光學元件1、用作電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件的四個壓電元件2(2a、2b、2c、 2d)和圖像拾取元件4。在與圖像拾取元件4相同的側(cè)，壓電元件2通過接合被固定到光學 元件1。
[0074] 壓電元件2中的兩個（2a、2b)在垂直方向上延伸，并且被設置在光學元件1的水 平方向上的兩個端部上。
[0075] 壓電元件2中的另外兩個（2c、2d)在水平方向上延伸，并且相對于光學元件1的 垂直方向上的兩個端部而被設置在內(nèi)側(cè)。
[0076] 控制電路100設定要由電源101產(chǎn)生的交變電壓的頻率、電壓值和時間相位。
[0077] 電源101與壓電元件2a、2b、2c和2d電連接。
[0078] 光學元件1和壓電元件2形成振動體3。
[0079] 振動體3被連附到用作受光元件的圖像拾取元件4,使得圖像拾取元件4的表面中 的空間被氣密密封。
[0080] 來自對象的光穿過光學元件1并且進入圖像拾取元件4。允許光在穿過光學元件 1之后進入此時的圖像拾取元件4的范圍被定義為光學有效區(qū)域5。
[0081] 即使在第一實施例中，與美國專利申請No. 2009/207493類似，也以時間相位差激 勵兩個面外彎曲振動，所述兩個面外彎曲振動在振動階次方面互不相同并且具有在相同方 向上排列的節(jié)線。
[0082] 出于這種原因，在第一實施例中，控制電路100把要由電源101產(chǎn)生的交變電壓的 頻率設為對于在振動的階次方面互不相同并且具有在紙面上的水平方向上排列的節(jié)線的 面外十階彎曲振動（第一駐波）和面外十一階彎曲振動（第二駐波）二者均表現(xiàn)出響應的 頻率。
[0083] 這里，根據(jù)本發(fā)明的上述的節(jié)線被形成如下。S卩，當向要被振動的物體（例如光學 元件）的預定表面施加振動使得在要被振動的物體的表面上產(chǎn)生駐波時，連接駐波的節(jié)點 的線被稱為節(jié)線。進一步地，當節(jié)線在相同的方向上被排列時，在存在排列的多個節(jié)線的情 況下，該方向?qū)诠?jié)線被排列的方向（與節(jié)線正交的方向）。
[0084] 此外，控制電路100設定要由電源101產(chǎn)生的四個交變電壓的時間相位。
[0085] 作為結(jié)果，以不同的時間相位在振動體3中產(chǎn)生面外十階彎曲振動（第一駐波） 和面外十一階彎曲振動（第二駐波）。
[0086] 這些振動被組合為當在面外方向上提升物體時在光學元件1的表面的幾乎整個 區(qū)域上在相同的面內(nèi)方向上指向的振動。
[0087] 作為結(jié)果，要通過振動而被移動的包括灰塵的所有物體可被施加僅一個面內(nèi)方向 上的力，由此獲得單向的移動。
[0088] 這里，進一步詳細描述現(xiàn)有技術(shù)（美國專利申請No. 2009/207493)中固有的上述 問題。
[0089] 圖2是示出如現(xiàn)有技術(shù)（美國專利申請No. 2009/207493)中那樣僅在水平方向上 的兩個端部上設置壓電元件2的情況下的激振力的頻率和各振動的響應的大小之間的關 系的曲線圖。
[0090] 具有在水平方向上排列的節(jié)線并且在振動的階次方面互不相同的兩個振動A和B 有助于物體的單向移動。在這兩個振動中，振動A的共振頻率比振動B低。
[0091] 在圖2中，振動C、振動D和振動E被作為其它的不必要的振動而示出。
[0092] 不必要的振動C在水平方向上的彎曲振動的階次方面與振動A相同，并且同時引 起垂直方向上的一階彎曲形變。振動C的波長與振動A基本上相同，并且具有接近振動A 的共振頻率的共振頻率。
[0093] 當振動C大時，位移分布在垂直方向上變得不均勻，從而導致灰塵在一些區(qū)域中 不能被移動或者移動灰塵的力在一些區(qū)域中會減小的狀況，結(jié)果是移動灰塵的效率降低。
[0094] 類似地，不必要的振動D在水平方向上的彎曲振動的階次方面與振動B相同，并且 同時引起垂直方向上的一階形變。
[0095] 振動D的波長與振動B基本上相同，并且具有接近振動B的共振頻率的共振頻率。
[0096] 當振動D大時，位移分布在垂直方向上變得不均勻，從而導致灰塵在一些區(qū)域中 不能被移動或者移動灰塵的力在一些區(qū)域中會減小的狀況，結(jié)果是移動灰塵的效率降低。
[0097] 當使用允許從振動A和振動B獲得大的響應的圖2的頻率f作為驅(qū)動頻率時，不 必要的振動C和振動D在共振頻率和驅(qū)動頻率上變得相互接近，由此，它們的響應也增大。
[0098] 作為結(jié)果，不必要的振動C或不必要的振動D可能妨礙物體的單向移動。
[0099] 不必要的振動E在水平方向上的彎曲振動的階次方面與振動A或振動B不同，由 此，振動E產(chǎn)生垂直方向上的彎曲形變。如果不必要的振動E的響應大，那么組合振動的 水平方向上的位移分布混亂，由此，使光學元件1的表面上的物體提升到面外的力的面內(nèi) 方向在表面的一些區(qū)域中可能變得相反，從而導致灰塵在一些區(qū)域中不能被單向移動的狀 況。作為結(jié)果，灰塵可能在一些區(qū)域中不被移動，或者移動灰塵的力可能在一些區(qū)域中減 小，結(jié)果是移動灰塵的效率降低。
[0100] 下面，參照圖3,描述根據(jù)第一實施例的振動體3的振動位移和壓電元件2的布置 與電極圖案之間的對應關系。
[0101] 此外，還描述對于在現(xiàn)有技術(shù)（美國專利申請No. 2009/207493)中固有的上述問 題產(chǎn)生的效果。
[0102] 繪圖7示出在振動體3中被激勵并且具有在水平方向上排列的節(jié)線的面外十階彎 曲振動的位移分布（在圖3中由A表示）和面外十一階彎曲振動的位移分布（在圖3中由 B表示）。
[0103] 縱軸表示光學元件1的面外方向上的位移，正側(cè)落在與設置圖像拾取元件4的側(cè) 相反的一側(cè)。
[0104] 橫軸對應于圖3中的光學元件1的水平方向上的位置。
[0105] 此外，在第一實施例中，這兩個彎曲振動的中性面落在光學元件1內(nèi)部。
[0106] 設置在位移的正部分中的壓電元件2經(jīng)受水平方向上的彈性形變，而設置在位移 的負部分中的壓電元件2經(jīng)受相反的時間相位（偏移180° )的水平方向上的彈性形變。
[0107] 這兩個振動以時間相位差被激勵，由此與現(xiàn)有技術(shù)（美國專利申請 No. 2009/207493)類似地僅在一個方向上移動灰塵，使得可從光學有效部分5去除灰塵。
[0108] 此外，繪圖8示出一種振動的垂直方向上的位移分布，在該振動中同時發(fā)生水平 方向上的彎曲形變和垂直方向上的一階彎曲形變。
[0109] 縱軸對應于圖3中的光學元件1的垂直方向上的位置。橫軸代表光學元件1的面 外方向上的位移，并且，正側(cè)落在與設置圖像拾取元件4的側(cè)相反的一側(cè)。
[0110] 當振動大時，位移分布在垂直方向上變得不均勻，從而導致灰塵在一些區(qū)域中不 能被移動或者移動灰塵的力在一些區(qū)域中會減小的狀況，結(jié)果是移動灰塵的效率降低。
[0111] 水平方向上的兩端上的壓電元件2a和2b各具有矩形板的形式，這些元件在垂直 方向上跨過光學元件1的兩個端部被設置而在水平方向上從光學元件1的各端到光學有效 區(qū)域5被設置。
[0112] 壓電元件2a和2b各包含跨過整個后表面均勻形成的電極，通過該后表面，壓電元 件2a和2b與光學兀件1稱接。壓電兀件2a和2b各在相反側(cè)的前表面上包含被分割成多 個段的電極（以下，稱為分段電極9)。
[0113] 分段電極9在面外十階彎曲振動的位移分布基本上變?yōu)榱愕墓?jié)點和面外十一階 彎曲振動的位移分布基本上變?yōu)榱愕墓?jié)點之間的中間位置處被分割，其間的對應關系由圖 3的虛線所示。這里，位移分布基本上為零的情況包括位移分布沒有位移的情況，并且還包 括位移分布可具有足夠小的位移使得位移施加于振動體的振動狀態(tài)的影響可被忽略的情 況。
[0114] 在極化（polarization)過程中，后表面上的電極被設為接地電勢，而前表面上的 分段電極9的各段如圖3中的" + "和所示的那樣被施加彼此相鄰的段之間的極性不同 的電勢。左邊的壓電元件2a的分段電極9的段從左邊起被極化為而右邊的壓電元 件2b的分段電極9的段從右邊起被極化為"_+_+"。
[0115] 在極化之后，由于跨著分段電極9施加的具有導電性的導電涂層材料6,因此，當 分段電極9的任何一個段被施加電壓時，分段電極9的所有的段都變?yōu)橄嗤碾妱荨?br> [0116] 壓電元件2具有如下特性：當被施加與極化期間的電勢的極性相同的電勢極性時 膨脹，并且，當被施加與極化期間的電勢的極性不同的電勢極性時收縮。
[0117] 當被施加交變電壓時，隨著交變電壓的循環(huán)而產(chǎn)生周期性的膨脹和收縮力。
[0118] 此外，當施加交變電壓時，根據(jù)極化期間的極性確定關于交變電壓的膨脹和收縮 力的時間相位（〇度或180度）。
[0119] 左邊的壓電元件2a被施加 VI = AlXC0S(2Jift)的交變電壓，這里，A1表示電壓 振幅值，f表示頻率，t表示時間。
[0120]右邊的壓電元件2b被施加\2 = A2xCOS ( 2π--+φ )的交變電壓，這里，A2 表不電壓振幅值。V2的交變電壓在時間相位上與VI的交變電壓相差Φ。
[0121] 此時，交變電壓VI和V2之間的、作為V(差值）=V1-V2獲得的差值的成分V(差 值）主要有助于面外十階彎曲形變，該面外十階彎曲形變是其中壓電元件2a和2b處于相 反的時間相位的彎曲形變。
[0122] 另一方面，交變電壓VI和V2的、作為V(和）=V1+V2獲得的和的成分V(和）主 要有助于面外十一階彎曲形變，該面外十一階彎曲形變是其中壓電元件2a和2b處于相同 的時間相位的彎曲形變。
[0123] 這里，以成分V (差值）為時間相位的基準，描述由于成分V (差值）而在壓電元件 2中產(chǎn)生的膨脹和收縮力的時間相位。
[0124] 要在左邊的壓電元件2a中產(chǎn)生的膨脹和收縮力的時間相位的分布與分段電極9 對應地從左邊起為0°、180°、0°、180°。在右邊的壓電元件2b中，時間相位的分布從右 邊起變?yōu)?180°、0°、180°、0°。
[0125] 膨脹和收縮力的時間相位分布與根據(jù)面外十階彎曲振動的位移分布（在圖3中由 A表示）的壓電元件2的膨脹和收縮形變的時間相位的分布基本上相符。
[0126] 因此，可以獲得面外十階彎曲振動的大的響應。
[0127] 另一方面，根據(jù)面外十一階彎曲振動的位移分布（在圖3中由B表示）的壓電元件 2的膨脹和收縮形變的時間相位分布在左邊的壓電元件2a和右邊的壓電元件2b之間逆轉(zhuǎn)。 在由成分V(差值）產(chǎn)生的面外十一階彎曲振動中，由左邊的壓電元件2a激勵的振動和由 右邊的壓電元件2b激勵的振動的量相等，并且具有相反的時間相位，由此相互抵消掉。因 此，面外十一階彎曲振動不產(chǎn)生響應。
[0128] 此外，關于在水平方向上的節(jié)點數(shù)量方面與面外十階彎曲振動不同的不必要的振 動，膨脹和收縮力的時間相位分布與形變的時間相位分布不同，并由此可獲得振動相互抵 消掉的效果，并由此可減少不必要的振動的響應。
[0129] 下面，以成分V(和）為時間相位的基準，描述由于成分V(和）而在壓電元件2中 產(chǎn)生的膨脹和收縮力的時間相位。
[0130] 要在左邊的壓電元件2a中產(chǎn)生的膨脹和收縮力的時間相位的分布與分段電極9 對應地從左邊起為0°、180°、0°、180°。
[0131] 在右邊的壓電元件2b中，時間相位的分布從右邊起為0°、180°、0°、180°。
[0132] 膨脹和收縮力的時間相位分布與根據(jù)面外i^一階彎曲振動的位移分布（在圖3中 由B表示）的壓電元件2的膨脹和收縮形變的時間相位分布基本上相符。因此，可以獲得 面外i^一階彎曲振動的大的響應。
[0133] 在由成分V(和）的膨脹和收縮力產(chǎn)生的面外十階彎曲振動中，由左邊的壓電元件 2a激勵的振動和由右邊的壓電元件2b激勵的振動的量相等，并且具有相反的時間相位，并 由此相互抵消掉。因此，面外十階彎曲振動不產(chǎn)生響應。
[0134] 此外，關于在水平方向上的節(jié)點數(shù)量方面與面外十一階彎曲振動不同的不必要的 振動，膨脹和收縮力的時間相位分布與形變的時間相位分布不同，并由此可獲得振動相互 抵消掉的效果。因此，可減少不必要的振動的響應。
[0135] 第一實施例還包括壓電元件2c和2d，壓電元件2c和2d在面外十階彎曲振動和面 外十一階彎曲振動的節(jié)線被排列的方向上設置。
[0136] 壓電元件2c被設置在光學有效區(qū)域5的上側(cè)，壓電元件2d被設置在光學有效區(qū) 域5的下側(cè)。
[0137] 此外，壓電元件2c和2d被設置在垂直方向上的這樣的位置中，所述位置跨著其中 同時發(fā)生水平方向上的彎曲形變和垂直方向上的一階彎曲形變的振動位移分布（參見圖3 的8)的節(jié)點。
[0138] 與壓電元件2a和2b類似，壓電元件2c和2d各包含跨著整個后表面而均勻形成 的電極，通過該后表面，壓電元件2c和2d與光學元件1耦接。
[0139] 此外，壓電元件2c和2d各在相反側(cè)的前表面上包含分段電極9,所述分段電極9 在與面外十階彎曲振動的位移分布基本上變?yōu)榱愕墓?jié)點和面外十一階彎曲振動的位移分 布基本上變?yōu)榱愕墓?jié)點之間的中間位置所對應的點處被分割成多個段。
[0140] 在極化期間，后表面（通過該后表面，壓電元件2c和2d與光學元件1耦接）上的 電極被設為接地電勢，而分段電極9的各段被施加在彼此相鄰的段之間極性不同的電勢。
[0141] 在壓電元件2c和2d兩者中，分段電極9的段均從左邊起被極化為并 且，極性與壓電元件2a和2b的極性的順序連續(xù)。沒有電極被設置在中心位置中，在該中心 位置處，從壓電元件2a開始的極性的順序和從壓電元件2b開始的極性的順序彼此相反。
[0142] 此外，在極化之后，由于連接圖3中的分段電極9的右半部分和左半部分的具有導 電性的導電性涂層材料6,因此，當分段電極9的任何一個段被施加電壓時，分段電極9的所 有段變?yōu)橄嗤碾妱荨?br> [0143] 在操作期間，具有與上述的要被施加到壓電元件2a的VI相同的時間相位的交變 電壓被施加到圖3中的壓電元件2c的左側(cè)和壓電元件2d的左側(cè)兩者，而具有與上述的要 被施加到壓電元件2b的V2相同的時間相位的交變電壓被施加到圖3中的壓電元件2c的 右側(cè)和壓電元件2d的右側(cè)兩者。
[0144] 以這種方式，關于面外十階彎曲振動和面外十一階彎曲振動，可以以相同的時間 相位激勵由壓電元件2a和2b激勵的振動和由壓電元件2c和2d激勵的振動。當組合這些 振動時，面外十階彎曲振動和面外十一階彎曲振動可產(chǎn)生更大的響應。
[0145] 同時，鑒于導致水平方向上的彎曲形變和垂直方向上的一階彎曲形變同時發(fā)生的 不必要的振動，壓電元件2c和2d被設置為處于跨過垂直方向上的位移分布（如圖3的曲 線8所示）的節(jié)點的位置中，這些位置包含膨脹和收縮形變的時間相位逆轉(zhuǎn)的區(qū)域。
[0146] 另一方面，分段電極9的垂直方向上的壓電兀件2c和2d在極化期間處于相同的 極性，并且在操作中處于相同的電勢，由此，膨脹和收縮力的時間相位分布和形變的時間相 位分布互不相同。因此，不增大對于導致水平方向上的彎曲形變和垂直方向上的一階彎曲 形變同時發(fā)生的不必要的振動的激振力，由此可以相對減小不必要的振動的響應。
[0147] 如上所述，根據(jù)第一實施例，在用于通過使用水平方向上的彎曲振動的階次方面 互不相同并且具有設置在其間的時間相位差的兩個振動而單向移動物體的振動裝置中，在 節(jié)線延伸的方向上設置壓電元件2 (2a、2b)，并且，還在節(jié)線被排列的方向上設置壓電元件 2(2c、2d)。
[0148] 通過該配置，有助于物體的移動的振動的響應可增大，由此產(chǎn)生提高移動物體的 效率的效果。
[0149] 此外，有助于物體的移動的振動的響應增大會導致妨礙物體的移動的不必要的振 動的響應的相對減小。即使在這一方面，第一實施例也可產(chǎn)生提高移動物體的效率的效果。
[0150] 此外，壓電元件2c和2d被設置在垂直方向上的這樣的位置中，所述位置跨過其中 同時發(fā)生水平方向上的彎曲形變和垂直方向上的一階彎曲形變的垂直方向上的位移分布 的節(jié)點，并由此可產(chǎn)生進一步相對減小妨礙物體的移動的不必要的振動的響應的效果。
[0151] (第二實施例）
[0152] 參照圖4,描述根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的振動裝置的配置例子。第二實施例與第 一實施例的不同在于，第一實施例中的在垂直方向上設置的壓電元件2被減少為第二實施 例中的僅僅一個壓電元件2d。
[0153] 第二實施例的配置的其余方面與第一實施例的類似。即使在第二實施例中，與第 一實施例類似，具有在水平方向上排列的節(jié)線并且有助于物體的移動的面外十階彎曲振動 和面外十一階彎曲振動的響應可增大。
[0154] 此外，不必要的振動的響應可減小。作為結(jié)果，物體可以被有效地移動。
[0155] 第二實施例的制造成本可降低，這是因為與第一實施例相比，構(gòu)成元件的數(shù)量減 少一個。此外，第二實施例的尺寸減少。
[0156] (第三實施例）
[0157] 參照圖5,描述根據(jù)本發(fā)明的第三實施例的振動裝置的配置例子。描述第三實施例 和第二實施例之間的不同。
[0158] 第二實施例中的在水平方向上設置的壓電元件2在第三實施例中減少為僅僅一 個壓電元件2a。壓電元件2a被形成為在水平方向上從面外十一階彎曲振動的端部延伸到 第一節(jié)點的位置，并且，具有在其前表面上均勻形成的電極。
[0159] 壓電元件2d被形成為使得其一個端部在水平方向上延伸到壓電元件2a的端部的 附近。
[0160] 此外，壓電元件2d具有關于光學元件1的中心對稱的形狀。配置的其余部分與第 二實施例的類似。
[0161] 要由壓電元件2a和2d產(chǎn)生的膨脹和收縮力的時間相位分布基本上與由面外十階 彎曲振動或面外i^一階彎曲振動導致的形變的時間相位分布相符。
[0162] 即使在第三實施例中，與第一和第二實施例類似，具有在水平方向上排列的節(jié)線 并且有助于物體的移動的面外十階彎曲振動和面外i^一階彎曲振動的響應會增大。
[0163] 此外，不必要的振動的響應會減小。作為結(jié)果，物體可以有效地被移動。
[0164] 第三實施例的制造成本可降低，這是因為與第二實施例相比，構(gòu)成元件的數(shù)量減 少一個。此外，第三實施例的尺寸減小。
[0165] (第四實施例）
[0166] 參照圖6,描述根據(jù)本發(fā)明的第四實施例的振動裝置的配置例子。
[0167] 圖6示出根據(jù)第四實施例的壓電元件2a中的電極的布置。
[0168] 根據(jù)第四實施例的振動裝置具有其中壓電元件2a中的電極的布置與第三實施例 中的不同的配置。
[0169] 與第三實施例類似，壓電元件2a具有在后表面上均勻形成的電極，通過該后表 面，壓電元件2a與光學元件1耦接。
[0170] 壓電元件2a的前表面上的電極被分割成四個電極，即上電極10、接地電極11、用 于感測振動的電極12和下電極13。電極沿與有助于物體的移動的面外十階彎曲振動和面 外i^一階彎曲振動的節(jié)線正交的方向被分割。
[0171] 通過離子鍍形成包含金的離子鍍膜14,以便該離子鍍膜14被設置為跨過壓電元 件2a的接地電極11和后表面上的電極。
[0172] 通過該配置，后表面上的電極和接地電極11相互電連接。
[0173] 在極化期間，在接地電極11與上電極10、用于感測振動的電極12和下電極13之 間在相同方向上施加直流電場，使得這些電極可在相同的方向上被極化。在操作期間，用于 產(chǎn)生交變電壓的電源（未示出）與接地電極11、上電極10和下電極13電連接。
[0174] 在操作期間，交流電場作用于與上電極10以及與下電極13對應的部分，使得在壓 電元件2a中產(chǎn)生膨脹和收縮力，由此激勵面外十階彎曲振動和面外^^一階彎曲振動。
[0175] 用于感測振動的電極12與控制電路（未示出）連接。在操作期間，由于壓電效應， 在用于感測振動的電極12和接地電極11之間產(chǎn)生交變電勢。
[0176] 可通過控制電路計算該交變電勢，以由此檢測振動裝置的振動狀態(tài)（諸如響應的 大小和時間相位）。
[0177] 圖6示出畸變的分布15,該畸變的分布15是響應于其中同時發(fā)生水平方向上的面 外彎曲形變和垂直方向上的一階彎曲形變的振動（不必要的振動C和D)而在壓電元件2a 中產(chǎn)生的。
[0178] 縱軸表不垂直方向上的位置，橫軸表不畸變量。上電極10被設置在其中畸變量的 空間積分值基本上變?yōu)榱愕姆秶?。為了激勵一定的振動而要由電壓元件產(chǎn)生的激振力與 壓電元件中的要由振動導致的畸變的量、電場值和極化方向的正負的乘積的空間積分值成 比例。
[0179] 關于不必要的振動C和D，設置上電極10的位置中的畸變量的空間積分值基本上 為零，而電場值恒定并且極化方向的正負均勻。
[0180] 在這種情況下，壓電元件中的畸變量、電場值和極化方向的正負的乘積的空間積 分值基本上變?yōu)榱?，由此，用于產(chǎn)生不必要的振動C和D的激振力在設置上電極10的位置 中基本上為零。
[0181] 下電極13也被設置在由不必要的振動C和D導致的畸變的量的空間積分值基本 上變?yōu)榱愕姆秶小?br> [0182] 類似地，用于產(chǎn)生不必要的振動C和D的激振力在設置下電極13的部分中基本上 為零。
[0183] 通過該配置，用于產(chǎn)生不必要的振動C和D的激振力基本上為零，由此，不必要的 振動C和D的響應的大小可被減小到極小的大小。
[0184] 應當注意，在第四實施例中，使得不對壓電元件2a的驅(qū)動起作用的部分（非驅(qū)動 區(qū)域16)的垂直方向上的中心位置與壓電元件2a的垂直方向上的中心位置一致。描述通 過該配置產(chǎn)生的效果。
[0185] 與有助于物體的移動的面外十階彎曲振動或面外十一階彎曲振動對應的壓電元 件2a的畸變量在垂直方向上基本上恒定。用于產(chǎn)生面外十階彎曲振動或面外十一階彎曲 振動的激振力基本上與排除非驅(qū)動區(qū)域16的面積的驅(qū)動范圍17的面積成比例。為了獲得 更大量的用于產(chǎn)生面外十階彎曲振動或面外十一階彎曲振動的激振力，非驅(qū)動區(qū)域16的 面積優(yōu)選為較小。
[0186] 因此，為了進一步減小不必要的振動C和D對于面外十階彎曲振動和面外i^一階 彎曲振動的影響，非驅(qū)動區(qū)域16的面積可被進一步減小，使得壓電元件2a中的畸變量的空 間積分值可基本上減小為零，這是優(yōu)選的。
[0187] 與不必要的振動C和D對應的壓電元件2a中的畸變量由圖6的線15示出，假如 紙面的左側(cè)為正，那么該畸變量在垂直方向上在中心具有正的范圍并且在兩端具有負的范 圍。
[0188] 正區(qū)域的積分值比負區(qū)域的積分值大。因此，優(yōu)選將非驅(qū)動區(qū)域16設置在作為 畸變量的正區(qū)域的中心的部分，而不設置在作為畸變量的負區(qū)域的垂直方向上的任一個端 部。如果對于正區(qū)域和負區(qū)域均設置非驅(qū)動區(qū)域16,那么作為與以上不同的另一例子，為 了將驅(qū)動范圍17中的畸變量的空間積分值基本上減小為零，正區(qū)域和負區(qū)域中的非驅(qū)動 區(qū)域均需要增大，結(jié)果是作為正區(qū)域和負區(qū)域中的非驅(qū)動區(qū)域的組合區(qū)域的非驅(qū)動區(qū)域16 也增大。
[0189] 此外，壓電元件2a中的畸變的量在垂直方向上的中心處具有最大的正值，該正值 隨著到中心的距離的增大而減小。鑒于此，為了在將驅(qū)動范圍17中的畸變量的空間積分值 基本上減小為零的同時進一步減小非驅(qū)動區(qū)域16的面積，進一步優(yōu)選使得垂直方向上的 非驅(qū)動區(qū)域16的中心位置與垂直方向上的壓電元件2a的中心位置一致。
[0190] 如上所述，在第四實施例中，使得不對壓電元件2a的驅(qū)動起作用的部分（非驅(qū)動 區(qū)域16)的垂直方向上的中心位置與垂直方向上的壓電元件2a的中心位置一致，以由此進 一步減小不必要的振動C和D對于面外十階彎曲振動和面外十一階彎曲振動的影響。
[0191] 作為替代方案，可對于第四實施例采用另一配置，其中，可以部分地改變驅(qū)動范圍 17的極化方向，或者可以改變其電場值或極性，以由此類似地減少關于不必要的振動C和D 的激振力。
[0192] 作為另一替代方案，如圖7所示，可一體化形成壓電元件2a和2d。
[0193] 作為另一替代方案，與第四實施例類似，可以將在與節(jié)線正交的方向上分割的分 段電極9提供給根據(jù)第一和第二實施例的振動裝置，以由此減小對于不必要的振動C和D 的激振力，在所述根據(jù)第一和第二實施例的振動裝置中，在節(jié)線延伸的方向上設置兩個壓 電元件2a和2b。
[0194] 參照上述的實施例描述的振動裝置可被應用于驅(qū)動裝置，以由此形成能夠在預定 方向上驅(qū)動物體的驅(qū)動裝置。
[0195] 此外，該振動裝置可被應用于除塵裝置，以由此形成能夠通過在預定方向上移動 灰塵而去除灰塵的除塵裝置。
[0196] 此外，上述的除塵裝置可被用于形成能夠去除光路上的灰塵的光學裝置。
[0197] 特別地，例如，該振動裝置可被應用于諸如照相機、傳真機、掃描儀、投影儀、復印 機、激光束打印機、噴墨打印機、鏡頭、雙目鏡或圖像顯示裝置之類的光學裝置。
[0198] 雖然已參照示例性實施例描述了本發(fā)明，但應理解，本發(fā)明不限于公開的示例性 實施例。以下的權(quán)利要求的范圍應被賦予最寬的解釋以包含所有的變更方式以及等同的結(jié) 構(gòu)和功能。
【權(quán)利要求】
1. 一種振動裝置，包括： 振動體，包含第一電氣機械能量轉(zhuǎn)換兀件， 其中所述振動裝置被配置為在振動體中產(chǎn)生振動，所述振動同時包括第一駐波的成分 和具有時間相位差的第二駐波的成分，所述第一駐波和所述第二駐波具有在相同方向上排 列的多個節(jié)線并且在階次方面是不同的；以及 其中所述第一電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件包括在第一駐波和第二駐波的所述多個節(jié)線中 的相鄰的節(jié)線之間的位置處具有間隙地放置的電極。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動裝置，還包括第二電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件，所述第二電 氣機械能量轉(zhuǎn)換元件包括在基本上與以下兩個位置之一對應的位置處具有間隙地放置的 電極：第一駐波和第二駐波之一的所述多個節(jié)線中的一個節(jié)線的第一位置，以及第一駐波 和第二駐波的所述多個節(jié)線中的相鄰的節(jié)線之間的第二位置。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動裝置，其中所述第一電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件包括在跨過 所述多個節(jié)線的方向上具有間隙地排列的電極。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的振動裝置，還包括： 電源，用于向多個電氣機械能量轉(zhuǎn)換兀件施加交變電壓；和 控制電路，用于控制要由電源施加的交變電壓， 其中由控制電路控制的交變電壓表現(xiàn)出頻率響應。
5. -種驅(qū)動裝置，包括根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動裝置，其中所述驅(qū)動裝置通過使用 所述振動裝置來在一個方向上驅(qū)動物體。
6. -種包括根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動裝置的除塵裝置，其中，所述除塵裝置通過使 用該振動裝置而在一個方向上移動灰塵。
7. -種包括根據(jù)權(quán)利要求6所述的除塵裝置的光學裝置，其中，所述光學裝置通過使 用該除塵裝置而去除光路上的灰塵。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動裝置，其中第一電氣機械能量轉(zhuǎn)換兀件在第一方向上延 伸。
9. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的振動裝置，其中第二電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件在第二方向上延 伸。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動裝置，其中向所述振動體施加具有對第一駐波和第二 駐波均表現(xiàn)出響應的頻率的交變電壓。
11. 一種振動裝置，包括： 振動體，包含第一電氣機械能量轉(zhuǎn)換兀件和第二電氣機械能量轉(zhuǎn)換兀件， 其中所述振動裝置被配置為在振動體中產(chǎn)生振動，所述振動同時包括第一駐波的成分 和具有時間相位差的第二駐波的成分，所述第一駐波和所述第二駐波在階次方面是不同的 并且具有在第一方向上延伸且沿著第二方向排列的多個節(jié)線， 其中第二方向與第一方向相交， 其中所述第一電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件包括在第二方向上具有間隙地排列的電極， 其中在第二方向上，在所述電極中的一個電極的邊緣與所述第一駐波和所述第二駐波 的所述多個節(jié)線中的相鄰節(jié)線之間的距離小于在所述電極中的所述一個電極的中心與所 述第一駐波和所述第二駐波的所述多個節(jié)線之中的所述相鄰節(jié)線之間的距離，以及 其中所述相鄰節(jié)線是作為所述多個節(jié)線之中最接近于所述電極中的所述一個電極的 中心的節(jié)線的節(jié)線。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的振動裝置，還包括第二電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件，所述第二 電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件包括在跨過所述多個節(jié)線的方向上具有間隙地排列的電極。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的振動裝置，還包括： 電源，用于向多個電氣機械能量轉(zhuǎn)換兀件施加交變電壓；和 控制電路，用于控制要由電源施加的交變電壓， 其中由控制電路控制的交變電壓表現(xiàn)出頻率響應，以及 其中所述第一電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件被設置在振動的節(jié)線的位置處，其中所述振動的 位置不同于第一駐波和第二駐波的所述多個節(jié)線。
14. 一種驅(qū)動裝置，包括根據(jù)權(quán)利要求12所述的振動裝置，其中所述驅(qū)動裝置通過使 用所述振動裝置來在一個方向上驅(qū)動物體。
15. -種包括根據(jù)權(quán)利要求11所述的振動裝置的除塵裝置，其中，所述除塵裝置通過 使用該振動裝置而在一個方向上移動灰塵。
16. -種包括根據(jù)權(quán)利要求15所述的除塵裝置的光學裝置，其中，所述光學裝置通過 使用該除塵裝置而去除光路上的灰塵。
17. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的振動裝置，其中第一電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件在跨過多個節(jié) 線之一的方向上延伸。
18. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的振動裝置，其中向所述振動體施加具有對第一駐波和第二 駐波均表現(xiàn)出響應的頻率的交變電壓。
19. 一種振動裝置，包括： 第一電氣機械能量轉(zhuǎn)換兀件，所述第一電氣機械能量轉(zhuǎn)換兀件包括第一電極和第二電 極， 其中所述振動裝置被配置為產(chǎn)生振動，所述振動同時包括第一駐波的成分和具有預定 的時間相位差的第二駐波的成分，所述第一駐波和所述第二駐波在階次方面是不同的并且 具有在第一方向上延伸且沿著第二方向排列的多個節(jié)線， 其中第二方向與第一方向相交， 其中第一電極和第二電極沿著第二方向具有間隙地排列， 其中多個節(jié)線中的第一節(jié)線在第一電極和第二電極之間，以及 其中第二電極在第一節(jié)線與多個節(jié)線之中的相鄰于第一節(jié)線的第二節(jié)線之間。
20. 根據(jù)權(quán)利要求19所述的振動裝置，其中第一電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件包括在第一方 向上具有間隙地排列的第三電極和第四電極。
21. 根據(jù)權(quán)利要求19所述的振動裝置，還包括向第一電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件供應交變 電壓的電路。
22. -種驅(qū)動裝置，包括根據(jù)權(quán)利要求19所述的振動裝置，其中所述驅(qū)動裝置通過使 用所述振動裝置來在預定方向上驅(qū)動物體。
23. -種包括根據(jù)權(quán)利要求19所述的振動裝置的除塵裝置，其中，所述除塵裝置通過 使用該振動裝置而在一個方向上移動灰塵。
24. -種包括根據(jù)權(quán)利要求19所述的除塵裝置的光學裝置，其中，所述光學裝置通過 使用該除塵裝置而去除光路上的灰塵。
25. 根據(jù)權(quán)利要求19所述的振動裝置，其中第一電氣機械能量轉(zhuǎn)換兀件在第一方向上 延伸。
26. 根據(jù)權(quán)利要求19所述的振動裝置，還包括第二電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件，所述第二 電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件包括在第二方向上具有間隙地排列的第三電極和第四電極。
27. 根據(jù)權(quán)利要求26所述的振動裝置，其中第二電氣機械能量轉(zhuǎn)換元件在第二方向上 延伸。
28. 根據(jù)權(quán)利要求19所述的振動裝置，其中電路將交變電壓的頻率設置為對第一駐波 和第二駐波均表現(xiàn)出響應的頻率。
29. 根據(jù)權(quán)利要求19所述的振動裝置，其中所述振動是行波。
【文檔編號】H02N2/00GK104124892SQ201410387580
【公開日】2014年10月29日 申請日期:2010年10月26日 優(yōu)先權(quán)日:2009年10月26日
【發(fā)明者】大橋海史, 月本貴之 申請人:佳能株式會社