專利名稱：射頻離子電源的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
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本發(fā)明涉及一種電源技術(shù)領(lǐng)域，具體的說是一種射頻離子電源。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的射頻電源技術(shù)采用它激式石英晶體穩(wěn)頻，功率輸出采用金屬陶瓷四
極管FU-100F。電子管與電纜之間采用匹配網(wǎng)絡(luò)。電纜與負(fù)載之間，由匹配箱來
實(shí)現(xiàn)匹配。由于電源的工作與負(fù)載的匹配連接完全是由電源與負(fù)載之間加裝匹 配箱來完成負(fù)載之間的匹配。匹配的性能好壞直接影響到生產(chǎn)中鍍膜的質(zhì)量、 由于設(shè)備中電極參數(shù)不斷的發(fā)生變化致使匹配性能難于控制，使操作工的操作 難度增加，同時(shí)產(chǎn)品質(zhì)量也難以得到保證。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的旨在改進(jìn)背景技術(shù)之不足而提供一種全自動(dòng)控制的，能夠有 效提高產(chǎn)品加工質(zhì)量的自匹配射頻離子電源。 本發(fā)明采用如下技術(shù)方案
一種射頻離子電源，包括可調(diào)電源電路，推挽放大自激振蕩電路，穩(wěn)壓濾 波電路，藕合輸出電路，所述可調(diào)電源電路對(duì)功率、電壓進(jìn)行調(diào)節(jié)，該可調(diào)電 源電路的輸出端連接有靜電除塵器，該靜電除塵器的另一端通過穩(wěn)壓濾波電路 與推挽放大自激振蕩電路連接，該推挽放大自激振蕩電路的另一端與藕合輸出 電路連接，該藕合輸出電路的另一端接設(shè)備負(fù)載，該設(shè)備負(fù)載發(fā)出的信號(hào)反饋 給推挽放大自激振蕩電路。
采用上述技術(shù)方案的本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，所設(shè)置的推挽放大自激振蕩 電路，由電容提供正反饋信號(hào)，并通過電子管進(jìn)行功率放大，實(shí)現(xiàn)電源與設(shè)備 間的阻抗匹配；該電源的射頻峰值電壓高，工作開始不需要點(diǎn)火裝置，且能夠 在較高的真空度下并且在高功率下轟擊，鍍膜夾具不粘晶片，對(duì)高頻晶片的鍍 膜效率有很大的提高；增設(shè)的靜電除塵器完全消除工作過程中由于靜電的影響
造成的粘附現(xiàn)象。
作為本發(fā)明技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述藕合輸出電路中輸出高頻信號(hào)，
其輸出線圈(L2)與設(shè)備負(fù)載之間產(chǎn)生選頻網(wǎng)絡(luò)，實(shí)現(xiàn)電源與設(shè)備的阻抗匹配。 作為本發(fā)明技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述的靜電除塵器與可調(diào)電源并聯(lián)后
再與推挽放大自激振蕩電路連接。
作為本發(fā)明技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述的推挽放大自激振蕩電路中設(shè)有
兩個(gè)高頻功率電子管，分別為第一高頻功率電子管(Qi)和第二高頻功率電子 管(Q2)，所述第一高頻功率電子管(Q。與第二高頻功率電子管(Q2)的陽極 之間串接有電感線圈(L。，該電感線圈(L。分別與電容(d)和電容(C2) 的一端并聯(lián)，該電容(C。另一端與電感(L3)并接后與第一高頻功率電子管 (Q》的柵極連接，所述電容(C2)的另一端與電感(L4)并接后與第二高頻 功率電子管(Q2)的柵極連接。


圖l是本發(fā)明的電路方框圖。 圖2是本發(fā)明的電路原理圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖及實(shí)施例詳述本發(fā)明
一種射頻離子電源，參見附圖1和附圖2，由可調(diào)電源電路1，推挽放大
自激振蕩電路2，藕合輸出電路3，設(shè)備負(fù)載4，靜電除塵器5，穩(wěn)壓濾波電路6， 輸出電纜7，電流指示電路8組成。
可調(diào)電源電路l對(duì)功率、電壓進(jìn)行調(diào)節(jié)，可調(diào)電源電路l的輸出端連接有靜
電除塵器5和電流指示電路8，靜電除塵器5的另一端與推挽放大自激振蕩電路 2連接，推挽放大自激振蕩電路2的另一端通過穩(wěn)壓濾波電路6與推挽放大自激 振蕩電路2連接，藕合輸出電路3的另一端通過輸出電纜7接設(shè)備負(fù)載4的上 電極，設(shè)備負(fù)載4發(fā)出的信號(hào)反饋給推挽放大自激振蕩電路3。
藕合輸出電路3中輸出高頻信號(hào)，其輸出線圈L2與設(shè)備負(fù)載4之間產(chǎn)生選 頻網(wǎng)絡(luò)，實(shí)現(xiàn)電源與設(shè)備的阻抗匹配。
靜電除塵器5中的電容C7與可調(diào)電源電路1并聯(lián)后再與推挽放大自激振蕩 電路2連接。
推挽放大自激振蕩電路2中設(shè)有兩個(gè)高頻功率電子管，分別為第一高頻功 率電子管Qi和第二高頻功率電子管Q2，第一高頻功率電子管Q!與第二高頻功 率電子管Q2的陽極之間串接有電感線圈Lp電感線圈"分別與電容d和電容 C2的一端并聯(lián)，電容d另一端與電感L3并接后與第一高頻功率電子管Qi的柵
極連接，電容C2的另一端與電感L4并接后與第二高頻功率電子管Q2的柵極連接。
推挽放大自激振蕩電路2，由電容d和C2提供正反饋信號(hào)，并通過第一高 頻功率電子管(^與第二高頻功率電子管Q2進(jìn)行功率放大，實(shí)現(xiàn)電源與設(shè)備間的 阻抗匹配；該電源的射頻峰值電壓高，工作開始不需要點(diǎn)火裝置，且能夠在較 高的真空度下并且在高功率下轟擊，鍍膜夾具不粘晶片，對(duì)高頻晶片的鍍膜效 率有很大的提高；增設(shè)的靜電除塵器5完全消除工作過程中由于靜電的影響造 成的粘附現(xiàn)象。
本實(shí)施實(shí)施例安裝操作簡單、使用方便，接好電源(220V)，用功率輸出專 用電纜將該機(jī)功率輸出插口與負(fù)載連接好，工作控制由外控信號(hào)輸入插孔輸入 控制信號(hào)(外控信號(hào)要求為一組常開觸點(diǎn)，閉合開始工作，斷開停止工作)，電 磁閥電源線與供氣電磁閥(-220V)連接好，然后將電源開關(guān)置于ON的位置， 功能開關(guān)置于自動(dòng)，功率調(diào)節(jié)至150V左右，待外控輸入工作信號(hào)開始工作后可 根據(jù)實(shí)際需要再調(diào)整功率調(diào)節(jié)旋鈕至適當(dāng)位置即可。
本實(shí)施例設(shè)有手動(dòng)試驗(yàn)按鈕，即當(dāng)功能開關(guān)置于手動(dòng)位置時(shí)按下手動(dòng)按鈕 即開始工作，松開則停止工作，此按鈕只作為維修人員在維修試驗(yàn)時(shí)使用；本 實(shí)施例正常工作電流為0-320mA (電流表指示)， 一般不宜超過340inA，否則 將影響設(shè)備的工作壽命。
權(quán)利要求
1、一種射頻離子電源，包括可調(diào)電源電路，推挽放大自激振蕩電路，穩(wěn)壓濾波電路，藕合輸出電路，其特征在于所述可調(diào)電源電路對(duì)功率、電壓進(jìn)行調(diào)節(jié)，該可調(diào)電源電路的輸出端連接有靜電除塵器，該靜電除塵器的另一端通過穩(wěn)壓濾波電路與推挽放大自激振蕩電路連接，該推挽放大自激振蕩電路的另一端與藕合輸出電路連接，該藕合輸出電路的另一端接設(shè)備負(fù)載，該設(shè)備負(fù)載發(fā)出的信號(hào)反饋給推挽放大自激振蕩電路。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的射頻離子電源，其特征在于所述藕合輸出電路 中輸出高頻信號(hào)，其輸出線圈(L2)與設(shè)備負(fù)載之間產(chǎn)生選頻網(wǎng)絡(luò)，實(shí)現(xiàn)電源 與設(shè)備的阻抗匹配。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻離子電源，其特征在于所述的靜電除塵器 中的電容與可調(diào)電源電路并聯(lián)后再與推挽放大自激振蕩電路連接。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻離子電源，其特征在于所述的推挽放大自 激振蕩電路中設(shè)有兩個(gè)高頻功率電子管，分別為第一高頻功率電子管(Q。和 第二高頻功率電子管(Q2)，所述第一高頻功率電子管(Q,)與第二高頻功率電子管(Q2)的陽極之間串接有電感線圈(L。，該電感線圈(L》分別與電容(d) 和電容(C2)的一端并聯(lián)，該電容(C。另一端與電感(L3)并接后與第一高頻 功率電子管(Q!)的柵極連接，所述電容(C2)的另一端與電感(L4)并接后 與第二高頻功率電子管(Q2)的柵極連接。
全文摘要
本發(fā)明涉及電源技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種射頻離子電源。包括可調(diào)電源電路，推挽放大自激振蕩電路，藕合輸出電路，所述可調(diào)電源電路對(duì)功率、電壓進(jìn)行調(diào)節(jié)，該可調(diào)電源電路的輸出端連接有靜電除塵器，該靜電除塵器的另一端通過穩(wěn)壓濾波電路與推挽放大自激振蕩電路連接，該推挽放大自激振蕩電路的另一端與藕合輸出電路連接，該藕合輸出電路的另一端接設(shè)備負(fù)載，該設(shè)備負(fù)載發(fā)出的信號(hào)反饋給推挽放大自激振蕩電路。設(shè)置的推挽放大自激振蕩電路實(shí)現(xiàn)電源與設(shè)備間的阻抗匹配；電源的射頻峰值電壓高，工作開始不需要點(diǎn)火裝置，增設(shè)的靜電除塵器完全消除工作過程中由于靜電的影響造成的粘附現(xiàn)象。
文檔編號(hào)H02M1/44GK101552551SQ20091014326
公開日2009年10月7日 申請日期2009年5月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月22日
發(fā)明者張建偉 申請人:唐山海通電子有限公司