專利名稱：電機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種驅(qū)動(dòng)裝置，尤其涉及一種離子注入機(jī)中具有減速作用的電機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置，屬于半導(dǎo)體器件制造的控制領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，隨著半導(dǎo)體集成電路技術(shù)和芯片技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)中，集成度越來(lái)越高，電路規(guī)模越來(lái)越大，電路中單元器件尺寸越來(lái)越小，對(duì)各種半導(dǎo)體工藝設(shè)備提出了更高的要求。離子注入機(jī)作為半導(dǎo)體離子摻雜工藝線的關(guān)鍵設(shè)備之一，也對(duì)它提出了很高的要求，要求離子注入機(jī)具有整機(jī)可靠性好、生產(chǎn)效率高、多種電荷態(tài)離子寬能量范圍注入、精確控制束注入能量精度、精確控制束純度、低塵粒污染、整機(jī)全自動(dòng)控制、注片均勻性和平行度好等多種功能和特征。而本專利所涉及到的電機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置是靶室自動(dòng)化設(shè)備中的一個(gè)關(guān)鍵部件，對(duì)提高晶片的自動(dòng)傳輸效率，減少晶片的碎片率有著重要的意義。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的是提供一種具有減速機(jī)構(gòu)的、用于離子注入機(jī)靶室終端自動(dòng)傳送晶片的電機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置。
本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的電機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置包括電機(jī)座、主動(dòng)軸、軸承蓋、軸承座、主動(dòng)輪、聯(lián)塊、從動(dòng)軸、軸套、從動(dòng)輪、電機(jī)、軸承，其中主動(dòng)軸與電機(jī)上的電機(jī)軸凹凸配合在一起，主動(dòng)軸與主動(dòng)輪固定在一起，從動(dòng)軸與從動(dòng)輪固定在一起，主動(dòng)軸與從動(dòng)軸的上部?jī)啥朔謩e固定兩個(gè)軸承，一端的兩個(gè)軸承鑲嵌在軸承蓋上面，另兩個(gè)軸承鑲嵌在軸承座下面。
主動(dòng)輪與從動(dòng)輪之間的齒數(shù)比為1∶4，使從動(dòng)軸上面的輸出轉(zhuǎn)速是電機(jī)轉(zhuǎn)速的1/4。起到減速的作用。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是1、具有減速的作用，使之達(dá)到整個(gè)自動(dòng)化設(shè)備的技術(shù)要求。
2、原理簡(jiǎn)單，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，可靠性高。


圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述，但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。
如圖1所示，電機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置，包括電機(jī)座1、主動(dòng)軸2、軸承蓋3、軸承座4、主動(dòng)輪5、聯(lián)塊6、從動(dòng)軸7、軸套8、從動(dòng)輪9、電機(jī)10、軸承11，其中主動(dòng)軸2與電機(jī)10上的電機(jī)軸凹凸配合在一起，主動(dòng)軸2與主動(dòng)輪5固定在一起，從動(dòng)軸7與從動(dòng)輪9固定在一起，主動(dòng)軸2與從動(dòng)軸7的上部?jī)啥朔謩e固定兩個(gè)軸承11，一端的兩個(gè)軸承11鑲嵌在軸承蓋3上面，另兩個(gè)軸承11鑲嵌在軸承座4下面。
主動(dòng)輪5與從動(dòng)輪9之間的齒數(shù)比為1∶4，使從動(dòng)軸7上面的輸出轉(zhuǎn)速是電機(jī)10轉(zhuǎn)速的1/4。起到減速的作用。
權(quán)利要求1.電機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置包括電機(jī)座、主動(dòng)軸、軸承蓋、軸承座、主動(dòng)輪、聯(lián)塊、從動(dòng)軸、軸套、從動(dòng)輪、電機(jī)、軸承，其特征在于主動(dòng)軸與電機(jī)上的電機(jī)軸凹凸配合在一起，主動(dòng)軸與主動(dòng)輪固定在一起，從動(dòng)軸與從動(dòng)輪固定在一起，主動(dòng)軸與從動(dòng)軸的上部?jī)啥朔謩e固定兩個(gè)軸承，一端的兩個(gè)軸承鑲嵌在軸承蓋上面，另兩個(gè)軸承鑲嵌在軸承座下面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于所述的主動(dòng)輪與從動(dòng)輪之間的齒數(shù)比為1∶4。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種電機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置包括電機(jī)座、主動(dòng)軸、軸承蓋、軸承座、主動(dòng)輪、聯(lián)塊、從動(dòng)軸、軸套、從動(dòng)輪、電機(jī)、軸承，其中主動(dòng)軸與電機(jī)上的電機(jī)軸凹凸配合在一起，主動(dòng)軸與主動(dòng)輪固定在一起，從動(dòng)軸與從動(dòng)輪固定在一起，主動(dòng)軸與從動(dòng)軸的上部?jī)啥朔謩e固定兩個(gè)軸承，一端的兩個(gè)軸承鑲嵌在軸承蓋上面，另兩個(gè)軸承鑲嵌在軸承座下面。具有減速的作用，使之達(dá)到整個(gè)自動(dòng)化設(shè)備的技術(shù)要求，原理簡(jiǎn)單，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，可靠性高。
文檔編號(hào)H02K7/116GK2914467SQ20062011305
公開(kāi)日2007年6月20日 申請(qǐng)日期2006年4月24日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月24日
發(fā)明者易文杰, 唐景庭, 郭健輝, 龍會(huì)躍 申請(qǐng)人:北京中科信電子裝備有限公司