傳送盒的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
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[0001]本實用新型關(guān)于一種傳送盒，尤指一種易于搬運，且在搬運時，容置于傳送盒當(dāng)中的晶圓和晶圓載具能夠被穩(wěn)固放置，并降低微粒污染產(chǎn)生的傳送盒。
【【背景技術(shù)】】
[0002]半導(dǎo)體晶圓制程中有五大污染物:微粒、金屬不純物、有機(jī)污染物和自然生成氧化層及晶圓表面微粗糙，而在制程轉(zhuǎn)換或晶圓被搬運的過程中，又以微粒污染最容易發(fā)生。因此作為晶圓運送裝置的傳送盒，首要必須能夠避免微粒污染的產(chǎn)生。
[0003]請參考圖1，其為專利公告TWM318605號「容置盒」的現(xiàn)有傳送盒示意圖，此等現(xiàn)有傳送盒由蓋體A和底座B所組成，承載晶圓D的卡匣C則容置于其中?？ㄏ籆具有與底座B相接處的支撐腳E，在搬運過程中，支撐腳E將因不斷與底部B相接觸而彼此摩擦，導(dǎo)致微粒污染發(fā)生。
[0004]另外，隨著晶圓尺寸增大，晶圓載具和傳送盒亦隨之變大，由于傳送盒的重量倍增，在搬運過程中，此等現(xiàn)有傳送盒因采用分離式的蓋體A和底座B的設(shè)計，容易自各個方向被掀開，導(dǎo)致晶圓污染的嚴(yán)重后果。再者，此等現(xiàn)有傳送盒可被雙手握持的結(jié)構(gòu)僅簡單設(shè)計為方形凹槽F狀，并不適于搬運作業(yè)，極易因人為疏失而被摔落。
[0005]請繼續(xù)參考圖2，其為專利公告TW581096號「晶圓盒及其把手裝置」的另一現(xiàn)有傳送盒示意圖，其盒體側(cè)邊具有扶手G，較易于搬運，但扶手G的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，使用大量零組件，仍會造成搬運過程中，各組件之間因摩擦而產(chǎn)生微粒的問題。
[0006]因此，就現(xiàn)有傳送盒而言，仍有許多待改善的空間，故本實用新型的目的在于進(jìn)一步改良傳送盒的各個部件，使之更易于搬運且更耐磨耗，并降低微粒污染發(fā)生的機(jī)率。
【【實用新型內(nèi)容】】
[0007]本實用新型的一目的在于提供一種傳送盒，包含:一上蓋；一盒體，盒體具有一第一側(cè)面、至少一第二側(cè)面和一底部彼此相鄰設(shè)置，其中第一側(cè)面和上蓋相連接；至少一把手，設(shè)置于至少一第二側(cè)面；至少一埋入件，設(shè)置于底部的一內(nèi)面；至少一第一凸肋，設(shè)置于至少一埋入件；以及至少一第二凸肋，設(shè)置于至少一埋入件。
[0008]本實用新型的傳送盒，其上蓋和盒體的第一側(cè)面相連接，有別于現(xiàn)有的分離式傳送盒，在移動過程中，可降低因人為操作不慎而掀蓋的機(jī)率；再者，其設(shè)置有把手，使人員于搬運傳送盒時，可較穩(wěn)固地握持住傳送盒；又，盒體底部內(nèi)面與晶圓卡匣的接觸面上設(shè)置有埋入件，其材質(zhì)可為聚醚醚酮(PEEK)此類耐磨耗的塑料聚合物，以降低盒體底部與晶圓卡匣間的磨擦，減少微粒產(chǎn)生；此外，盒體底部的埋入件還凸設(shè)有至少一第一凸肋和至少一第二凸肋，兩者分別對應(yīng)晶圓卡匣接觸面的不同方向，具有限制和固定晶圓卡匣在傳送盒中的位置的作用，亦可減少運送過程可能產(chǎn)生的不當(dāng)晃動以及摩擦所導(dǎo)致的微粒污染。
[0009]本實用新型的傳送盒，其上蓋和第一側(cè)面進(jìn)一步以一轉(zhuǎn)軸和一插銷相連接，借由金屬、熱塑性塑料或熱固性塑料制造的插銷，可降低一般塑料制的上蓋和盒體間的塑料因摩擦所產(chǎn)生的微粒。又，把手和盒體可為一體成型所制成，亦有益于減少把手的零組件間產(chǎn)生的磨擦微粒。
[0010]承上所述，本實用新型的傳送盒，改良現(xiàn)有晶圓傳送盒或稱之為晶舟盒的蓋體結(jié)合方式，上蓋和盒體間以耐磨的插銷相連接，以改善現(xiàn)有的分離式設(shè)計的缺點；并于盒體底部局部設(shè)置有耐磨材質(zhì)的埋入件，可減少卡匣和盒體間因磨擦而導(dǎo)致微粒產(chǎn)生的機(jī)率；再者，盒底的埋入件設(shè)置有第一凸肋和第二凸肋，以固定晶圓卡匣的位置；此外，盒體具有易于握持且一體成型的把手，可降低傳送盒于搬運時摔落的意外發(fā)生機(jī)率以及減少零組件磨擦所產(chǎn)生的微粒污染。因此，本實用新型的傳送盒可改良現(xiàn)有晶圓傳送盒的種種缺點，提供半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)一種更佳的傳送盒選擇。
【【附圖說明】】
[0011]圖1為現(xiàn)有傳送盒不意圖；
[0012]圖2為另一現(xiàn)有傳送盒不意圖；
[0013]圖3為本實用新型的傳送盒的外觀示意圖；
[0014]圖4為本實用新型的傳送盒的盒體示意圖；
[0015]圖5為本實用新型的傳送盒的盒體側(cè)面示意圖；
[0016]圖6為本實用新型的傳送盒的轉(zhuǎn)軸插銷局部放大示意圖；
[0017]圖7為本實用新型的傳送盒的補(bǔ)強(qiáng)肋局部放大示意圖；以及
[0018]圖8為本實用新型的傳送盒與晶圓卡匣的組合示意圖。
【【具體實施方式】】
[0019]本實用新型的傳送盒，進(jìn)一步改良現(xiàn)有晶圓傳送盒的多項缺失。首先請參考圖3，其為本實用新型的傳送盒I的外觀示意圖，包含:一上蓋10 ;—盒體20，盒體20具有一第一側(cè)面21、至少一第二側(cè)面22和一底部23彼此相鄰設(shè)置，其中第一側(cè)面21和上蓋10相連接；以及至少一把手24，設(shè)置于至少一第二側(cè)面22。
[0020]在上蓋10的部分，上蓋10表面可具有一滑扣組5、一窗口 6及/或一紙架7?；劢M5可扣接于上蓋10和盒體20邊緣的凹槽，再以平行滑動的方式，使上蓋10和盒體20之間可被扣合。
[0021]窗口 6可為一透明或半透明的窗口，以供人員進(jìn)一步觀察傳送盒I的內(nèi)部狀態(tài)。紙架7則可供人員放置紀(jì)錄紙，紀(jì)錄作業(yè)內(nèi)容或傳送盒I的使用情形，例如可進(jìn)一步確認(rèn)零組件磨耗和更換的情況，促進(jìn)作業(yè)程序順暢，有助于傳送盒I的利用。
[0022]在盒體20部分，請參考圖4，其為本實用新型的傳送盒I的盒體20示意圖。盒體20可被區(qū)分為一第一側(cè)面21、至少一第二側(cè)面22、一第三側(cè)面29和底部23，其中第一側(cè)面21、至少一第二側(cè)面22和底部23彼此相鄰設(shè)置，而第三側(cè)面29則與第一側(cè)面21對向設(shè)置并與至少一第二側(cè)面22和底部2鄰接，其分別定義如下:第一側(cè)面21與上蓋10相連接；至少一第二側(cè)面22分別與第一側(cè)面21和第三側(cè)面29鄰接，并于至少一第二側(cè)面22上設(shè)置至少一把手24，以提供搬運傳送盒I的功能；而第三側(cè)面29則借由上蓋10的滑扣組5和第三側(cè)面29彼此扣接，使上蓋10和盒體20能夠扣合。
[0023]其中，把手24的構(gòu)造和現(xiàn)有傳送盒不同，其為盒體20的第二側(cè)面22的延伸，可大大減少一般把手裝置的零組件使用量。如圖2所示的現(xiàn)有傳送盒，其扶手G即具有大量零組件，而零件越多越容易產(chǎn)生磨耗，故自第二側(cè)面22延伸的把手24能夠避免搬運時零組件彼此摩擦造成的微粒污染。
[0024]又，于本實施例中，盒體20具有二個第二側(cè)面22，且分別具有一把手24，以利人員搬運傳送盒I。于一較佳實施例中，把手24更進(jìn)一步設(shè)計為具有部分圓弧狀構(gòu)造，使把手24形狀能更符合人手握持物品時的姿勢，以減輕搬運者手部負(fù)擔(dān)。
[0025]盒體20的底部23具有一內(nèi)面，其設(shè)置有至少一埋入件26以及凸設(shè)于埋入件26上的至少一第一凸肋27和至少一第二凸肋28。其中，第一凸肋27及/或第二凸肋28呈一π型、L型或橫條型。兩者的差異在于，第一凸肋27用于改善晶圓卡匣容置在傳送盒I內(nèi)部被搬運時，減少其左、右側(cè)邊方向的移動量，而第二凸