Esd保護(hù)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及ESD保護(hù)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 以往，提出了各種用于抑制由靜電放電（ESD:electr〇-static discharge:靜電釋 放）引起的電子設(shè)備的破壞的ESD保護(hù)裝置。例如專利文獻(xiàn)1中記載了包括陶瓷多層基板 及一對放電電極的ESD保護(hù)裝置，上述一對放電電極配置于陶瓷多層基板內(nèi)，配置成在設(shè) 置于陶瓷多層基板的空洞部處前端隔開間隔彼此相對。
[0003] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004] 專利文獻(xiàn)
[0005] 專利文獻(xiàn) 1 :TO2008/146514A1 號公報(bào) 【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006] 實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題
[0007] ESD保護(hù)裝置因放電時(shí)產(chǎn)生的熱量而劣化。由此，希望能改善ESD保護(hù)裝置的散熱 性。
[0008] 本實(shí)用新型的主要目的在于提供具有優(yōu)異的散熱性的ESD保護(hù)裝置。
[0009] 解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案
[0010] 本實(shí)用新型所涉及的ESD保護(hù)裝置包括：絕緣材料、第一、第二放電電極、第一外 部電極、第二外部電極、及內(nèi)部導(dǎo)體。第一及第二放電電極設(shè)置于絕緣材料中。第一外部電 極設(shè)置于絕緣材料的外表面上。第一外部電極與第一放電電極進(jìn)行電連接。第二外部電極 設(shè)置于絕緣材料的外表面上。第二外部電極與第二放電電極進(jìn)行電連接。內(nèi)部導(dǎo)體設(shè)置于 絕緣材料中。內(nèi)部導(dǎo)體與第一或第二外部電極相連接。
[0011] 本實(shí)用新型的ESD保護(hù)裝置的特定方面在于，第一放電電極和第二放電電極以相 互相對的方式進(jìn)行設(shè)置。設(shè)置為俯視時(shí)內(nèi)部導(dǎo)體與第一及第二放電電極的相對部相重疊。
[0012] 本實(shí)用新型的ESD保護(hù)裝置的其他特定方面在于，絕緣材料具有空洞。第一放電 電極的前端部和第二放電電極的前端部分別位于空洞內(nèi)。
[0013] 本實(shí)用新型的ESD保護(hù)裝置的其他特定方面在于，ESD保護(hù)裝置具有與第一放電 電極相連的內(nèi)部導(dǎo)體、和與第二放電電極相連的內(nèi)部導(dǎo)體，來作為內(nèi)部導(dǎo)體。以使得與第一 放電電極相連的內(nèi)部導(dǎo)體的前端部、和與第二放電電極相連的內(nèi)部導(dǎo)體的前端部相對的方 式來配置內(nèi)部導(dǎo)體。
[0014]本實(shí)用新型的ESD保護(hù)裝置的其他特定方面在于，設(shè)置為俯視時(shí)內(nèi)部導(dǎo)體與空洞 相重疊。
[0015] 本實(shí)用新型的ESD保護(hù)裝置的又一其他特定方面在于，內(nèi)部導(dǎo)體沿著絕緣材料的 厚度方向相互隔開間隔而設(shè)置有多個(gè)。
[0016] 本實(shí)用新型的ESD保護(hù)裝置的又一其他特定方面在于，絕緣材料包括第一及第二 主面、第一及第二側(cè)面、第一及第二端面。第一外部電極包括：設(shè)置在第一端面上的第一部 分，和至少設(shè)置于第一及第二主面中的一個(gè)主面上的第二部分。第二外部電極包括：設(shè)置在 第二端面上的第三部分，和至少設(shè)置于第一及第二主面的至少一者之上的第四部分。
[0017] 本實(shí)用新型的ESD保護(hù)裝置的又一其他特定方面在于，內(nèi)部導(dǎo)體包括與第一部分 相連接的第一內(nèi)部導(dǎo)體，和與第三部分相連接的第二內(nèi)部導(dǎo)體。
[0018] 本實(shí)用新型的ESD保護(hù)裝置的又一其他特定方面在于，設(shè)置為俯視時(shí)第二和第四 部分中的至少一者與空洞相重疊。
[0019] 本實(shí)用新型的ESD保護(hù)裝置的又一其他特定方面在于，ESD保護(hù)裝置還具有放電 輔助電極。放電輔助電極設(shè)置于第一放電電極的前端部和第二放電電極的前端部之間。放 電輔助電極使第一放電電極和第二放電電極之間的放電開始電壓降低。ESD保護(hù)裝置還具 有保護(hù)層。保護(hù)層配置于絕緣材料、和第一及第二放電電極中至少一方的前端部之間。
[0020] 本實(shí)用新型的ESD保護(hù)裝置的又一其他特定方面在于，保護(hù)層包含從氧化鋁、多 鋁紅柱石、氧化鋯、氧化鎂、及石英構(gòu)成的組中選出的至少一種。
[0021] 實(shí)用新型效果
[0022] 根據(jù)本實(shí)用新型，能提供具有優(yōu)異的散熱性的ESD保護(hù)裝置。
【附圖說明】
[0023] 圖1是表示本實(shí)用新型的一實(shí)施方式所涉及的ESD保護(hù)裝置的簡要剖視圖。
[0024] 圖2是表示本實(shí)用新型的一實(shí)施方式所涉及的ESD保護(hù)裝置的簡要俯視圖。
[0025] 圖3是表示本實(shí)用新型的變形例1所涉及的ESD保護(hù)裝置的簡要俯視圖。
[0026] 圖4是表示本實(shí)用新型的變形例2所涉及的ESD保護(hù)裝置的簡要俯視圖。
[0027] 圖5是表示本實(shí)用新型的變形例3所涉及的ESD保護(hù)裝置的簡要俯視圖。
[0028] 圖6是表示本實(shí)用新型的變形例4所涉及的ESD保護(hù)裝置的簡要俯視圖。
[0029] 圖7是表示本實(shí)用新型的變形例5所涉及的ESD保護(hù)裝置的簡要俯視圖。
[0030] 圖8是表示本實(shí)用新型的變形例6所涉及的ESD保護(hù)裝置的簡要俯視圖。
[0031] 圖9是表示本實(shí)用新型的變形例7所涉及的ESD保護(hù)裝置的簡要剖視圖。
[0032] 圖10是表示本實(shí)用新型的變形例8所涉及的ESD保護(hù)裝置的簡要俯視圖。
[0033] 圖11是表示本實(shí)用新型的變形例9所涉及的ESD保護(hù)裝置的簡要俯視圖。
[0034] 圖12是表示本實(shí)用新型的變形例10所涉及的ESD保護(hù)裝置的簡要俯視圖。
[0035] 圖13是表示本實(shí)用新型的變形例11所涉及的ESD保護(hù)裝置的簡要俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0036] 下面，對實(shí)施本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式的一個(gè)示例進(jìn)行說明。然而，下述實(shí)施方 式僅僅是例示。本實(shí)用新型不限于下述任一實(shí)施方式。
[0037] 此外，在實(shí)施方式等所參照的各附圖中，以相同的標(biāo)號來參照實(shí)質(zhì)上具有相同功 能的構(gòu)件。此外，實(shí)施方式等所參照的附圖是示意性描述的圖，附圖中所繪制的物體的尺寸 比率等可能會(huì)與現(xiàn)實(shí)中的物體的尺寸比率等不同。附圖相互間的物體的尺寸比率等也有可 能不同。具體的物體的尺寸比率等應(yīng)當(dāng)參考以下的說明來進(jìn)行判斷。
[0038] 圖1是表示本實(shí)施方式所涉及的ESD保護(hù)裝置的簡要剖視圖。圖2是表示本實(shí)施 方式所涉及的ESD保護(hù)裝置的簡要俯視圖。
[0039] 如圖1及圖2所示，ESD保護(hù)裝置1具有包括空洞11的絕緣材料10。絕緣材料 10是六面體。此處，所謂"六面體"是指所有具有六個(gè)面的立體形狀。構(gòu)成六面體的六個(gè)面 也可以分別為非平面。構(gòu)成六面體的面中的相對的面既可以是相互平行的，也可以是相互 不平行的。六面體的角部及棱線部可以分別是倒角狀，也可以分別具有圓形形狀。在本實(shí) 施方式中，具體而言，絕緣材料10大致設(shè)置為長方體狀。絕緣材料10包括：相互平行的第 一及第二主面l〇a、10b，相互平行的第一及第二側(cè)面10c、10d，相互平行的第一及第二端面 10eU0f〇
[0040] 絕緣材料10可以由適合的陶瓷構(gòu)成。具體而言，絕緣材料10例如以Ba、Al、Si為 主要成分，利用低溫共燒陶瓷（LTCC:Low Tempertature Co-fired Ceramics)構(gòu)成。作為 絕緣材料10,也可以使用包含聚酰亞胺樹脂、環(huán)氧樹脂等的樹脂基板。
[0041] 在絕緣材料10的內(nèi)部設(shè)置有第一及第二放電電極21、22。第一及第二放電電極 21、22分別與第一及第二主面10a、10b平行地設(shè)置。第一放電電極21引出至第一端面10e。 另一方面，第二放電電極22引出至第二端面10f。第一放電電極21的前端部和第二放電電 極22的前端部位于空洞11內(nèi)。第一放電電極21的前端部和第二放電電極22的前端部在 空洞11內(nèi)相對。通過采用上述結(jié)構(gòu)，能提高ESD保護(hù)裝置1的響應(yīng)性并能提高ESD保護(hù)裝 置1的耐久性。
[0042] 在絕緣材料10的外表面上設(shè)置有第一及第二外部電極31、32。具體而言，第一 外部電極31包括：設(shè)置在第一端面10e上的第一部分31a，和至少設(shè)置于第一及第二主面 10a、10b的其中一個(gè)主面上的第二部分31bl、31b2。第一外部電極也可僅設(shè)于第一端面上。 第一外部電極31在第一部分31a處與第一放電電極21電連接。
[0043] 第二外部電極3