各向異性導(dǎo)電膜及其制備方法
【專利摘要】本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜(100)具有在絕緣性粘結(jié)劑層(1)中分散或以規(guī)則圖案排列有導(dǎo)電粒子(2)的結(jié)構(gòu)。在各向異性導(dǎo)電膜(100)的一面的一部分形成粘附強(qiáng)度比絕緣性粘結(jié)劑層(1)低的低粘附性區(qū)域(3)。低粘附性區(qū)域(3)為在絕緣性粘結(jié)劑層(1)上形成的凹部(10)填充有低粘附性樹(shù)脂的區(qū)域。
【專利說(shuō)明】
各向異性導(dǎo)電膜及其制備方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明設(shè)及各向異性導(dǎo)電膜及其制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 將1C忍片倒裝忍片安裝在基板上時(shí)廣泛利用各向異性導(dǎo)電膜。在上述倒裝忍片安 裝中，由于在1C忍片的接合面邊緣部區(qū)域形成高度為10~20皿的凸點(diǎn)，所W在各向異性導(dǎo)電 連接時(shí)將1C忍片擠到基板上，保持運(yùn)種狀態(tài)將各向異性導(dǎo)電膜固化。因此，未形成凸點(diǎn)的1C 忍片的中央部區(qū)域W向基板側(cè)彎曲的狀態(tài)固化，有無(wú)法緩和很可能引起尺寸精度降低、接 合面分離等問(wèn)題的彎曲狀態(tài)的問(wèn)題。為了解決該問(wèn)題，提出了在基板的背面設(shè)置作為抵抗 彎曲的增強(qiáng)材料的支撐部件(專利文獻(xiàn)1)。
[0003] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn) 專利文獻(xiàn) 專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2008-294396號(hào)公報(bào)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 發(fā)明所要解決的課題 但是，在專利文獻(xiàn)1的情況下，必須加工高單價(jià)的基板，或全新地制備基板，有無(wú)法避免 制備成本高漲的問(wèn)題。另外，在基板的背面形成配線的情況下必須避開(kāi)支撐部件而形成，有 基板的設(shè)計(jì)自由度降低的問(wèn)題。
[0005] 本發(fā)明的目的在于解決W上現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，使得不對(duì)現(xiàn)有的1C忍片、基板加 W 變更，而可解決在各向異性導(dǎo)電連接時(shí)發(fā)生的1C忍片、基板中產(chǎn)生的彎曲的問(wèn)題。
[0006] 解決課題的手段 本發(fā)明人為了用1C忍片和基板與作為其它部件的各向異性導(dǎo)電膜解決彎曲的問(wèn)題，進(jìn) 行了各種研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，若在各向異性導(dǎo)電連接時(shí)將1C忍片擠到基板上時(shí)會(huì)彎曲的部分、 即1C忍片的未形成凸點(diǎn)的中央部區(qū)域不與各向異性導(dǎo)電膜粘附固定，則在各向異性導(dǎo)電連 接時(shí)產(chǎn)生的彎曲在各向異性導(dǎo)電連接后得到緩和，從而完成本發(fā)明。
[0007] 目P，本發(fā)明提供各向異性導(dǎo)電膜，其是在絕緣性粘結(jié)劑層中分散或W規(guī)則圖案排 列有導(dǎo)電粒子的各向異性導(dǎo)電膜，其中，在一面的一部分形成粘附強(qiáng)度比絕緣性粘結(jié)劑層 低的低粘附性區(qū)域。優(yōu)選的低粘附性區(qū)域的方式為在絕緣性粘結(jié)劑層上形成的凹部填充有 低粘附性樹(shù)脂的區(qū)域。
[000引另外，本發(fā)明提供各向異性導(dǎo)電膜的制備方法，其特征在于，在絕緣性粘結(jié)劑層的 一面的一部分進(jìn)行低粘附性區(qū)域形成處理。此外，作為低粘附性區(qū)域?yàn)樵诮^緣性粘結(jié)劑層 上形成的凹部填充有低粘附性樹(shù)脂的區(qū)域的各向異性導(dǎo)電膜的制備方法，本發(fā)明提供具有 W下工序(A)~(C)的制備方法。
[0009]工序(A) 在形成有與低粘附性區(qū)域?qū)?yīng)的凸部的模型上，涂布含有導(dǎo)電粒子的絕緣性粘結(jié)劑層 形成用組合物并通過(guò)加熱或紫外線照射來(lái)干燥或成膜，由此形成在一面形成有凹部的絕緣 性粘結(jié)劑層的工序。
[0010]工序(B) 從模型取下絕緣性粘結(jié)劑層的工序。
[00川工序（C) 在絕緣性粘結(jié)劑層的凹部填充低粘附性區(qū)域形成材料的工序。
[0012] 另外，本發(fā)明提供連接結(jié)構(gòu)體，其是用上述各向異性導(dǎo)電膜將第1電子零件與第2 電子零件各向異性導(dǎo)電連接而成的。
[0013] 此外，本發(fā)明提供連接方法，其是用上述各向異性導(dǎo)電膜將第1電子零件與第2電 子零件各向異性導(dǎo)電連接的連接方法，其中， 將各向異性導(dǎo)電膜從其絕緣性粘結(jié)劑層一側(cè)對(duì)第2電子零件臨時(shí)粘貼，對(duì)于臨時(shí)粘貼 的各向異性導(dǎo)電膜，搭載第1電子零件，并從第1電子零件一側(cè)進(jìn)行壓接。在進(jìn)行該壓接時(shí)， 可進(jìn)行加熱或光(紫外線等)照射，或可同時(shí)進(jìn)行加熱和光照射。
[0014] 發(fā)明的效果 本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜中，在絕緣性粘結(jié)劑層中分散或W規(guī)則圖案排列有導(dǎo)電粒 子，在一面的一部分形成有粘附強(qiáng)度比絕緣性粘結(jié)劑層低的低粘附性區(qū)域。因此，可使得1C 忍片的未形成凸點(diǎn)的中央部區(qū)域不與各向異性導(dǎo)電膜粘附固定，可緩和在各向異性導(dǎo)電連 接時(shí)產(chǎn)生的彎曲。
【附圖說(shuō)明】
[0015] [圖1A]圖1A為本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的截面圖。
[0016] [圖1B]圖1B為本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的截面圖。
[0017] [圖2]圖2為本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的截面圖。
[0018] [圖3]圖3為用各向異性導(dǎo)電膜將1C忍片和玻璃基板各向異性導(dǎo)電連接的情況的 說(shuō)明圖。
[0019] [圖4]圖4為本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的平面圖。
[0020] [圖引圖5為本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的平面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021] W下詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜。
[0022] ?各向異性導(dǎo)電膜〉〉 如圖1A所示，本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜100為在絕緣性粘結(jié)劑層1中分散或W規(guī)則圖案 排列有導(dǎo)電粒子2的各向異性導(dǎo)電膜，具有至少在一面的一部分形成有粘附強(qiáng)度比絕緣性 粘結(jié)劑層1低的低粘附性區(qū)域3的結(jié)構(gòu)。
[0023] 在W規(guī)則圖案排列有導(dǎo)電粒子2的情況下，如圖1B所示，絕緣性粘結(jié)劑層1可由保 持導(dǎo)電粒子2的導(dǎo)電粒子保持層la和在其上層合的絕緣性粘接層lb構(gòu)成。在該絕緣性粘接 層化上形成低粘附性區(qū)域3。
[0024] 另外，作為實(shí)現(xiàn)低粘附性區(qū)域3的低粘附性的方法，可列舉出：應(yīng)用低粘附性材料， 或利用公知的方法在絕緣性粘結(jié)劑層1上形成微細(xì)格柵結(jié)構(gòu)、微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)等。
[0025] 各向異性導(dǎo)電膜整體的總厚度優(yōu)選為lOymW上且60ymW下。
[0026] <低粘附性區(qū)域〉 低粘附性區(qū)域3的優(yōu)選的方式為應(yīng)用低粘附性材料，具體而言，如圖1A、1B所示，為W下 方式:在絕緣性粘結(jié)劑層1或絕緣性粘接層化上形成的、優(yōu)選深度為上且30ymW下、更 優(yōu)選為如mW上且15ymW下的凹部10中填充低粘附性樹(shù)脂。凹部10優(yōu)選為膜層厚度的10%W 上且50%W下，更優(yōu)選為20%W上且50%W下。在運(yùn)種情況下，如圖2所示，在一面形成有凹部 10的絕緣性粘結(jié)劑層1的運(yùn)一面的低粘附性區(qū)域3W外的區(qū)域，在不損害絕緣性粘結(jié)劑層1 的粘附強(qiáng)度的范圍內(nèi)（換言之，在各向異性導(dǎo)電連接時(shí)從連接區(qū)域排除的范圍內(nèi)），可由與 絕緣性粘結(jié)劑層1相同的材料形成比凹部10薄的層。具體而言，可形成該低粘附性樹(shù)脂的優(yōu) 選0.2ymW上且下、更優(yōu)選0.3ymW上且下的薄膜3a?？傻玫脚c只在凹部10中填 充低粘附性樹(shù)脂相比，制備條件得到緩和的效果。另外，由于低粘附性樹(shù)脂不參與電氣連 接，所W從經(jīng)濟(jì)上的理由出發(fā)也優(yōu)選不含有導(dǎo)電粒子。需說(shuō)明的是，薄膜3a相對(duì)于凹部10的 深度優(yōu)選為3%W上且20%W下。其原因在于，在比運(yùn)更厚的情況下，難W產(chǎn)生用于消除曉曲 的、粘接力在面內(nèi)方向上的差異，在薄的情況下無(wú)法確保涂布厚度的均勻性，對(duì)長(zhǎng)條化的情 況下的品質(zhì)產(chǎn)生影響。
[0027] 低粘附性區(qū)域3優(yōu)選在各向異性導(dǎo)電膜的總寬度的優(yōu)選20%W上且80%W下、更優(yōu) 選30% W上且70% W下的范圍內(nèi)存在。該范圍優(yōu)選在寬度方向的中央部存在。
[0028] 就凹部10的形狀而言，在如圖1A、1B所示的情況下，各向異性導(dǎo)電膜表面和凹部的 內(nèi)側(cè)側(cè)面所成的角為直角，且凹部的內(nèi)側(cè)側(cè)面和底面所成的角也為直角，但也可為從底部 向開(kāi)口部變寬那樣的凹部形狀。另外，凹部的內(nèi)側(cè)側(cè)面可在厚度方向呈直線地形成，但也可 呈曲線地形成。例如，凹部可為半圓球形狀。由此，可精度良好且簡(jiǎn)易地制備低粘附性樹(shù)脂 的形狀。另外，也可局部地調(diào)整粘接力。其原因在于，使得在面方向不產(chǎn)生粘接力的急劇變 化。
[0029] 在運(yùn)里，在絕緣性粘結(jié)劑層1的一面的一部分設(shè)置粘附強(qiáng)度比絕緣性粘結(jié)劑層1低 的低粘附性區(qū)域3。低粘附強(qiáng)度的程度指低至在各向異性導(dǎo)電連接時(shí)1C忍片產(chǎn)生的彎曲在 各向異性導(dǎo)電連接后可緩和的程度。低粘附性區(qū)域3優(yōu)選為該區(qū)域W外的絕緣性粘結(jié)劑層1 的粘接強(qiáng)度的5%W上且50%W下，更優(yōu)選為20%W上且40%W下。各自的粘接強(qiáng)度可使用忍片 剪切力測(cè)定機(jī)(商品名:Dage2400,化ge公司（尹斗公社）制)在室溫下進(jìn)行測(cè)定。通常低粘附 性區(qū)域3的粘接強(qiáng)度優(yōu)選為300NW下，該區(qū)域W外的絕緣性粘結(jié)劑層1的粘接強(qiáng)度優(yōu)選為 600NW 上。
[0030] 另外，在低粘附區(qū)域3和除此W外的區(qū)域?yàn)橄嗤M成的情況下，未固化狀態(tài)下的低 粘附區(qū)域3的特定官能團(tuán)的FT-IR檢測(cè)峰的絕對(duì)值，相對(duì)于除此之外的區(qū)域的檢測(cè)峰優(yōu)選為 低于80%，更優(yōu)選為70%W下，進(jìn)一步更優(yōu)選為50%W下。該檢測(cè)峰的相對(duì)比可與在環(huán)氧化合 物或丙締酸單體的聚合中由官能團(tuán)的減少率求得反應(yīng)率時(shí)采用的公知方法相同地求得。
[0031] 另外，作為在如圖2所示的凹部10中填充的低粘附性樹(shù)脂，可使用不含有固化成 分、且不表現(xiàn)粘性的樹(shù)脂。例如，作為上述低粘附性樹(shù)脂，可列舉出玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為-3(TC W上且7(TCW下的成膜性樹(shù)脂。具體而言，可列舉出苯氧基樹(shù)脂或丙締酸橡膠等在ACF中使 用的公知的樹(shù)脂。另外，可含有環(huán)氧化合物或丙締酸化合物等聚合性樹(shù)脂，但凹部的含量為 凹部W外的區(qū)域的含量的優(yōu)選50% W下、更優(yōu)選5% W上且50% W下、進(jìn)一步更優(yōu)選10%W上且 40%W下。在不含有固化成分或固化成分過(guò)少的情況下，在固化后的膜內(nèi)可形成粘接強(qiáng)度急 劇變化的部位，由此有產(chǎn)生松動(dòng)等其它問(wèn)題之虞。為了抑制上述變化，凹部的形狀優(yōu)選W使 得膜表面一側(cè)比凹部底部寬的方式傾斜。
[0032] 需說(shuō)明的是，低粘附性區(qū)域3可使用與其它區(qū)域相同的材料構(gòu)成，但通過(guò)使環(huán)氧化 合物或丙締酸聚合物等固化成分的滲混量為其它區(qū)域的80%W下，或不含有反應(yīng)引發(fā)劑，可 作為低粘附性區(qū)域起作用。低粘附性區(qū)域和除此W外的區(qū)域可用FT-IR測(cè)定中的官能團(tuán)減 少率的變化比例來(lái)區(qū)分，低粘附性區(qū)域?yàn)樵撟兓壤鄬?duì)小的區(qū)域。
[0033] 另外，由于設(shè)置低粘附性區(qū)域3的位置是為了減少在各向異性導(dǎo)電連接時(shí)各向異 性導(dǎo)電膜中產(chǎn)生的殘留應(yīng)力而設(shè)置的位置，所W優(yōu)選設(shè)置在W下區(qū)域，所述區(qū)域偏離直接 有助于各向異性連接的區(qū)域，且應(yīng)力變化最大。例如，如圖3所示，為在使用各向異性導(dǎo)電膜 100將在邊緣部具有凸點(diǎn)B的1C忍片30與玻璃基板31的配線各向異性導(dǎo)電連接時(shí)，與產(chǎn)生彎 曲的部分(例如，在邊緣部形成有凸點(diǎn)B的1C忍片30的該凸點(diǎn)B所包圍的中央部分R)對(duì)應(yīng)的 區(qū)域。
[0034] 另外，如圖4所示，低粘附性區(qū)域3可在各向異性導(dǎo)電膜100的長(zhǎng)度方向（箭頭方向） 延伸設(shè)置(優(yōu)選寬度為15皿W上，更優(yōu)選為50皿W上，特別優(yōu)選為150皿~5mm)，如圖5所示， 也可在各向異性導(dǎo)電膜100的長(zhǎng)度方向（箭頭方向）呈踏腳石狀地不連續(xù)地設(shè)置。
[0035] <絕緣性粘結(jié)劑層、導(dǎo)電粒子保持層〉 構(gòu)成本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜100的絕緣性粘結(jié)劑層1 (圖1A)或?qū)щ娏Ｗ颖３謱觢a (圖1B)為將苯氧基樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂、不飽和聚醋樹(shù)脂、飽和聚醋樹(shù)脂、氨基甲酸醋樹(shù)脂、下二 締樹(shù)脂、聚酷亞胺樹(shù)脂、聚酷胺樹(shù)脂、聚締控樹(shù)脂等成膜樹(shù)脂和熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自 由基聚合性樹(shù)脂等熱或光聚合性樹(shù)脂的混合物成膜而得到的膜或其聚合膜。特別優(yōu)選的絕 緣性粘結(jié)劑層1或?qū)щ娏Ｗ颖３謱觢a為將含有丙締酸醋化合物和光自由基聚合引發(fā)劑的混 合物成膜而得到的膜或其聚合膜。W下對(duì)絕緣性粘結(jié)劑層1或?qū)щ娏Ｗ颖３謱觢a含有光自 由基聚合樹(shù)脂并聚合的情況進(jìn)行說(shuō)明。
[0036] (丙締酸醋化合物） 作為構(gòu)成丙締酸醋單元的丙締酸醋化合物，可使用W往公知的光自由基聚合性丙締酸 醋。例如，可使用單官能（甲基）丙締酸醋（在運(yùn)里，（甲基）丙締酸醋包含丙締酸醋和甲基丙 締酸醋）、雙官能W上的多官能（甲基)丙締酸醋。在本發(fā)明中，為了將粘接劑制成熱固性，優(yōu) 選丙締酸類單體的至少一部分使用多官能（甲基)丙締酸醋。
[0037] 從凹部的形狀穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，絕緣性粘結(jié)劑層1或?qū)щ娏Ｗ颖３謱觢a中丙締 酸醋化合物的含量?jī)?yōu)選為2質(zhì)量％W上且70質(zhì)量％^下，更優(yōu)選為10質(zhì)量％W上且50質(zhì)量％W 下。
[0038] (光自由基聚合引發(fā)劑） 作為光自由基聚合引發(fā)劑，可從公知的光自由基聚合引發(fā)劑中適宜選擇使用。例如，可 列舉出苯乙酬類光聚合引發(fā)劑、苯偶酷縮酬類光聚合引發(fā)劑、憐類光聚合引發(fā)劑等。
[0039] 從充分地進(jìn)行光自由基聚合反應(yīng)和抑制膜剛性降低的觀點(diǎn)出發(fā)，相對(duì)于100質(zhì)量 份的丙締酸醋化合物，光自由基聚合引發(fā)劑的使用量?jī)?yōu)選為0.1質(zhì)量份W上且25質(zhì)量份W 下，更優(yōu)選為0.5質(zhì)量份W上且15質(zhì)量份W下。
[0040] 從抑制導(dǎo)電粒子捕捉效率降低和抑制導(dǎo)通電阻上升的觀點(diǎn)出發(fā)，絕緣性粘結(jié)劑層 1的層厚度優(yōu)選為扣mW上且60ymW下，更優(yōu)選為上且40ymW下。另外，從相同的觀點(diǎn) 出發(fā)，導(dǎo)電粒子保持層la的層厚度優(yōu)選為1皿W上且20皿W下，更優(yōu)選為2皿W上且15皿W 下。
[0041] 在絕緣性粘結(jié)劑層1或?qū)щ娏Ｗ颖３謱觢a中也可進(jìn)一步含有環(huán)氧化合物和熱或光 陽(yáng)離子或陰離子聚合引發(fā)劑。在運(yùn)種情況下，如下所述，絕緣性粘接層化也優(yōu)選設(shè)為含有環(huán) 氧化合物和熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合引發(fā)劑的熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合性樹(shù)脂層。由 此，可提高層間粘接強(qiáng)度。對(duì)于環(huán)氧化合物和熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合引發(fā)劑，在下面進(jìn) 行敘述。
[0042] 絕緣性粘結(jié)劑層1的形成例如可通過(guò)W下方法形成:將含有光自由基聚合性丙締 酸醋、光自由基聚合引發(fā)劑和導(dǎo)電粒子的光自由基聚合性組合物涂布在具有為了形成低粘 附性區(qū)域3所需要的結(jié)構(gòu)的模型上，通過(guò)加熱或紫外線照射來(lái)進(jìn)行干燥(或成膜）。另外，導(dǎo) 電粒子保持層la可通過(guò)W下方法形成:使用光自由基聚合性組合物，通過(guò)膜轉(zhuǎn)印法、模具轉(zhuǎn) 印法、噴墨法、靜電附著法等方法附著導(dǎo)電粒子，從導(dǎo)電粒子一側(cè)、其相反一側(cè)或兩側(cè)照射 紫外線。
[0043] <絕緣性粘接層〉 在導(dǎo)電粒子保持層la上層合的絕緣性粘接層lb可使用與導(dǎo)電粒子保持層la相同的材 料。
[0044] 從保持凹部、且得到充分的粘接強(qiáng)度的觀點(diǎn)出發(fā)，絕緣性粘接層lb的層厚度優(yōu)選 tk 2皿大且低于30皿，更優(yōu)選比如m大且低于15皿。
[0045] (環(huán)氧化合物） 在絕緣性粘接層lb為含有環(huán)氧化合物和熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合引發(fā)劑的熱或光 陽(yáng)離子或陰離子聚合性樹(shù)脂層的情況下，作為環(huán)氧化合物，可優(yōu)選列舉出分子內(nèi)具有2個(gè)W 上環(huán)氧基的化合物或樹(shù)脂。它們可為液態(tài)或固態(tài)。
[0046] (熱陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑） 作為熱陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑，可采用作為環(huán)氧化合物的熱陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑公知的引發(fā) 劑，例如為利用熱產(chǎn)生能夠使陽(yáng)離子聚合性化合物陽(yáng)離子聚合的酸的引發(fā)劑，可使用公知 的艦鐵鹽、梳鹽、鱗鹽、二茂鐵類等，可優(yōu)選使用對(duì)溫度顯示良好的潛伏性的芳族梳鹽。
[0047] 從抑制固化不良，抑制制品壽命降低的觀點(diǎn)出發(fā)，相對(duì)于100質(zhì)量份的環(huán)氧化合 物，熱陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑的滲混量?jī)?yōu)選為2~60質(zhì)量份，更優(yōu)選為5~40質(zhì)量份。
[004引（熱陰離子聚合引發(fā)劑） 作為熱陰離子聚合引發(fā)劑，可采用作為環(huán)氧化合物的熱陰離子聚合引發(fā)劑公知的引發(fā) 劑，例如為利用熱產(chǎn)生能夠使陰離子聚合性化合物陰離子聚合的堿的引發(fā)劑，可使用公知 的脂族胺類化合物、芳族胺類化合物、仲胺或叔胺類化合物、咪挫類化合物、聚硫醇類化合 物、Ξ氣化棚-胺絡(luò)合物、雙氯胺、有機(jī)酸酷阱等，可優(yōu)選使用對(duì)溫度顯示良好的潛伏性的膠 囊化咪挫類化合物。
[0049] 若熱陰離子聚合引發(fā)劑的滲混量過(guò)少，則有導(dǎo)致固化不良的傾向，若過(guò)多，則有制 品壽命降低的傾向，因此相對(duì)于100質(zhì)量份的環(huán)氧化合物，優(yōu)選為2質(zhì)量份W上且60質(zhì)量份 W下，更優(yōu)選為5質(zhì)量份W上且40質(zhì)量份W下。
[0050] (光陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑和光陰離子聚合引發(fā)劑） 作為環(huán)氧化合物用的光陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑或光陰離子聚合引發(fā)劑，可適宜使用公知的 引發(fā)劑。
[0051] (丙締酸醋化合物） 在絕緣性粘接層lb為含有丙締酸醋化合物和熱或光自由基聚合引發(fā)劑的熱或光自由 基聚合性樹(shù)脂層的情況下，作為丙締酸醋化合物，可從關(guān)于絕緣性粘結(jié)劑層1說(shuō)明的丙締酸 醋化合物中適宜選擇使用。
[0052] (熱自由基聚合引發(fā)劑） 另外，作為熱自由基聚合引發(fā)劑，例如可列舉出有機(jī)過(guò)氧化物或偶氮類化合物等，可優(yōu) 選使用不產(chǎn)生導(dǎo)致氣泡的氮的有機(jī)過(guò)氧化物。
[0053] 若熱自由基聚合引發(fā)劑的使用量過(guò)少，則導(dǎo)致固化不良，若過(guò)多，則導(dǎo)致制品壽命 降低，因此相對(duì)于100質(zhì)量份的丙締酸醋化合物，優(yōu)選為2質(zhì)量份W上且60質(zhì)量份W下，更優(yōu) 選為5質(zhì)量份W上且40質(zhì)量份W下。
[0054] (光自由基聚合引發(fā)劑） 作為丙締酸醋化合物用的光自由基聚合引發(fā)劑，可使用公知的光自由基聚合引發(fā)劑。
[0055] 若光自由基聚合引發(fā)劑的使用量過(guò)少，則導(dǎo)致固化不良，若過(guò)多，則導(dǎo)致制品壽命 降低，因此相對(duì)于100質(zhì)量份的丙締酸醋化合物，優(yōu)選為1質(zhì)量份W上且60質(zhì)量份W下，更優(yōu) 選為3質(zhì)量份W上且40質(zhì)量份W下。
[0056] 需說(shuō)明的是，在絕緣性粘結(jié)劑層1的另一面可層合其它的絕緣性粘接層。由此，可 得到能夠更精細(xì)地控制層整體的流動(dòng)性的效果。在運(yùn)里，作為其它的絕緣性粘接層，可設(shè)為 與前述絕緣性粘接層化相同的構(gòu)成。
[0化7] <導(dǎo)電粒子〉 作為導(dǎo)電粒子2,可從W往公知的在各向異性導(dǎo)電膜中使用的導(dǎo)電粒子中適宜地選擇 使用。例如可列舉出儀、鉆、銀、銅、金、鈕等金屬粒子，金屬被覆樹(shù)脂粒子等。也可并用巧中W 上。
[0058] 作為導(dǎo)電粒子2的平均粒徑，為了使得可應(yīng)對(duì)配線高度的偏差，另外為了抑制導(dǎo)通 電阻的上升，且抑制短路的發(fā)生，優(yōu)選為UimW上且lOymW下，更優(yōu)選為上且下。 平均粒徑可利用通常的粒度分布測(cè)定裝置進(jìn)行測(cè)定。
[0059] 為了抑制導(dǎo)電粒子捕捉效率的降低，且抑制短路的發(fā)生，導(dǎo)電粒子2在絕緣性粘結(jié) 劑層1中的存在量?jī)?yōu)選每1平方mm為50個(gè)W上且40000個(gè)W下，更優(yōu)選為200個(gè)W上且20000 個(gè)W下。
[0060] "導(dǎo)電粒子2的規(guī)則圖案的排列" 導(dǎo)電粒子2的規(guī)則圖案的排列中的規(guī)則圖案指在從各向異性導(dǎo)電膜100的表面透視導(dǎo) 電粒子2時(shí)可識(shí)別的導(dǎo)電粒子2在長(zhǎng)方形格子、正方格子、六方格子、菱形格子等的格點(diǎn)存在 的排列。構(gòu)成運(yùn)些格子的假想線不僅可W是直線，也可W是曲線、折線。
[0061] W導(dǎo)電粒子數(shù)為基準(zhǔn)，為了使各向異性連接穩(wěn)定，W規(guī)則圖案排列的導(dǎo)電粒子2相 對(duì)于所有導(dǎo)電粒子2的比例優(yōu)選為90%W上。該比例的測(cè)定可利用光學(xué)顯微鏡等進(jìn)行。
[0062] 另外，導(dǎo)電粒子2的粒子間距離、即導(dǎo)電粒子間的最短距離為導(dǎo)電粒子2的平均粒 徑的優(yōu)選0.5倍W上、更優(yōu)選1倍W上且5倍W下。
[0063] ?各向異性導(dǎo)電膜的制備方法〉〉 接著，說(shuō)明本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的制備方法的一個(gè)實(shí)例。
[0064] 本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜可通過(guò)在絕緣性粘結(jié)劑層的一面的一部分進(jìn)行低粘附 性區(qū)域形成處理來(lái)制備。作為低粘附性區(qū)域形成處理，可列舉出：灌注低粘附性區(qū)域形成材 料，并通過(guò)公知的方法進(jìn)行平滑處理;利用激光實(shí)施格柵加工;或通過(guò)光刻法實(shí)施微細(xì)凹凸 加工等。
[0065] 本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的制備方法的優(yōu)選的一個(gè)實(shí)例為具有W下工序(A)~(C) 的制備方法。W下對(duì)每道工序進(jìn)行說(shuō)明。
[0066] 工序(A) 首先，在形成有與低粘附性區(qū)域?qū)?yīng)的凸部的模型上，涂布含有導(dǎo)電粒子的絕緣性粘 結(jié)劑層形成用組合物并通過(guò)加熱或紫外線照射來(lái)干燥或成膜，由此形成在一面形成有凹部 的絕緣性粘結(jié)劑層。作為模型，可使用由玻璃、硬化樹(shù)脂、金屬等形成的模型。
[0067] 工序(B) 接著，利用公知的方法從模型取下絕緣性粘結(jié)劑層。在該工序中，優(yōu)選預(yù)先在絕緣性粘 結(jié)劑層上臨時(shí)粘貼轉(zhuǎn)印片材，將轉(zhuǎn)印片材作為支撐體從模型取下絕緣性粘結(jié)劑層。
[006引工序(C) 接著，利用公知的方法在絕緣性粘結(jié)劑層的凹部填充低粘附性區(qū)域形成材料。由此，得 到本發(fā)明的優(yōu)選的方式的各向異性導(dǎo)電膜。
[0069] 可根據(jù)需要，剝離轉(zhuǎn)印片材，在該面(絕緣性粘結(jié)劑層的另一面)層合其它的絕緣 性粘接層。
[0070] ?各向異性導(dǎo)電膜的用途〉〉 如上所述得到的各向異性導(dǎo)電膜可在利用熱或光將1C忍片、I對(duì)莫塊、柔性基板等第1電 子零件和柔性基板、剛性基板、玻璃基板等第2電子零件各向異性導(dǎo)電連接時(shí)優(yōu)選應(yīng)用（除 了 COG W外也可應(yīng)用于C0F、COB、FOG、FOB等）。如上所述得到的連接結(jié)構(gòu)體也是本發(fā)明的一 部分。在運(yùn)種情況下，從提高連接可靠性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選將各向異性導(dǎo)電膜從其絕緣性粘 結(jié)劑層一側(cè)對(duì)配線基板等第2電子零件進(jìn)行臨時(shí)粘貼，對(duì)于臨時(shí)粘貼的各向異性導(dǎo)電膜，搭 載1C忍片等第1電子零件，從第1電子零件一側(cè)進(jìn)行熱壓接。另外，也可利用光固化進(jìn)行連 接。 實(shí)施例
[0071 ] W下通過(guò)實(shí)施例來(lái)具體地說(shuō)明本發(fā)明。
[0072] 實(shí)施例^5 用甲苯將60質(zhì)量份的苯氧基樹(shù)脂(YP-50,新日鐵住金化學(xué)(株））、40質(zhì)量份的丙締酸醋 化P600，Daicel-Allnex Ltd.(歹^電瓜?才瓜幸夕乂（株）））、2質(zhì)量份的光自由基聚合引 發(fā)劑（IRGACURE 369，Ξ菱化學(xué)(株））和10質(zhì)量份的平均粒徑為4WI1的導(dǎo)電粒子(鍛Ni/Au樹(shù) 脂粒子，AUL704，積水化學(xué)工業(yè)(株)）制備混合液，使得樹(shù)脂固體成分為50質(zhì)量％。
[0073] 使用該混合液和形成有規(guī)定的凸部(在實(shí)施例^4的情況下為與圖4對(duì)應(yīng)的連續(xù)地 延伸設(shè)置的方式，在實(shí)施例5的情況下為與圖5對(duì)應(yīng)的呈踏腳石狀地不連續(xù)的方式）的片型 模型，在切割后制備寬度為2mm的絕緣性粘結(jié)劑層。將該絕緣性粘結(jié)劑層從模型取下，在形 成有凹部的面涂布低粘附性樹(shù)脂組合物使得凹部W外的干燥厚度為化m，照射波長(zhǎng)為 365nm、累積光量為4000mL/cm2的紫外線，由此形成絕緣性粘結(jié)劑層。
[0074] 在得到的絕緣性粘結(jié)劑層的凹部一側(cè)表面整體上，涂布用甲苯將94質(zhì)量份的上述 苯氧基樹(shù)脂、6質(zhì)量份的丙締酸醋、0.3質(zhì)量份的光自由基聚合引發(fā)劑稀釋而得到的低粘附 性樹(shù)脂組合物并干燥，使得凹部W外的干燥厚度為3μπι，由此得到總厚度為25WI1的各向異性 導(dǎo)電膜。
[0075] 需說(shuō)明的是，使用光學(xué)顯微鏡測(cè)定得到的各向異性導(dǎo)電膜的凹部一側(cè)表面的凹部 的面積比例(％)、凹部深度(μπι)相對(duì)于總厚度的深度比例(％)、從一側(cè)的膜側(cè)邊緣至凹部邊 緣為止的距離(μπι)和從另一側(cè)的膜側(cè)邊緣至凹部邊緣為止的距離(μπι)的總和。深度根據(jù)焦 點(diǎn)的調(diào)整計(jì)算求得。將得到的結(jié)果示出于表1中。
[0076] 實(shí)施例6 (排列有導(dǎo)電粒子的絕緣性粘結(jié)劑層的制備） 用甲苯將60質(zhì)量份的苯氧基樹(shù)脂(ΥΡ-50,新日鐵住金化學(xué)(株））、40質(zhì)量份的丙締酸醋 化P600，Daicel-Allnex Ltd.(歹斗電瓜?才瓜幸夕乂（株）））和2質(zhì)量份的光自由基聚合 引發(fā)劑(IRGACURE 369，Ξ菱化學(xué)(株））制備混合液，使得固體成分為50質(zhì)量％。在厚度為50μ m的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇醋膜上涂布該混合液，使得干燥厚度為祉m，在80°C的烘箱中干燥5 分鐘，由此形成光自由基聚合性樹(shù)脂層。
[0077] 接著，對(duì)于得到的光自由基聚合性樹(shù)脂層，將平均粒徑為4WI1的導(dǎo)電粒子(鍛Ni/Au 樹(shù)脂粒子，A化704,積水化學(xué)工業(yè)(株））相互隔開(kāi)4皿W單層排列。進(jìn)而從該導(dǎo)電粒子一側(cè)由 L抓光源對(duì)光自由基聚合性樹(shù)脂層照射波長(zhǎng)為365nm、累積光量為4000mJ/cm2的紫外線，由 此形成在表面固定有導(dǎo)電粒子的絕緣性粘結(jié)劑層。
[0078] (具有凹部的絕緣性粘接層的形成） 使用含有60質(zhì)量份的上述苯氧基樹(shù)脂、40質(zhì)量份的丙締酸醋、2質(zhì)量份的光自由基聚合 引發(fā)劑的絕緣性粘接層形成用組合物和形成有規(guī)定的凸部（與圖4對(duì)應(yīng)的連續(xù)地延伸設(shè)置 的方式)的片型模型，形成在切割后寬度為2mm、且在中央形成有凹部的絕緣性粘接層。
[0079] (各向異性導(dǎo)電膜的制備） 在得到的絕緣性粘接層上重疊絕緣性粘結(jié)劑層，在4(TC、0.1化的條件下進(jìn)行層壓。將 得到的層合體從模型取下，在絕緣性粘接層的凹部一側(cè)表面整體上，涂布用甲苯將80質(zhì)量 份的上述苯氧基樹(shù)脂、20質(zhì)量份的丙締酸醋、1質(zhì)量份的光自由基聚合引發(fā)劑稀釋而得到的 低粘附性樹(shù)脂組合物并干燥，使得凹部W外的干燥厚度為3μπι，由此得到總厚度為2祉m的各 向異性導(dǎo)電膜。
[0080] 需說(shuō)明的是，使用光學(xué)顯微鏡測(cè)定得到的各向異性導(dǎo)電膜的凹部一側(cè)表面的凹部 的面積比例(％)、凹部深度(μπι)相對(duì)于總厚度的深度比例(％)、從一側(cè)的膜邊緣部至凹部邊 緣為止的距離(μπι)和從另一側(cè)的膜邊緣部至凹部邊緣為止的距離(μπι)的總和。深度根據(jù)焦 點(diǎn)的調(diào)整計(jì)算求得。將得到的結(jié)果示出于表1中。
[0081] 比較例1 使用未設(shè)置凹部的片狀模型，且未設(shè)置非粘附性樹(shù)脂層，除此之外，與實(shí)施例1相同地 制備總厚度為25WI1的各向異性導(dǎo)電膜。
[0082] 需說(shuō)明的是，使用光學(xué)顯微鏡測(cè)定得到的各向異性導(dǎo)電膜的凹部一側(cè)表面的凹部 的面積比例(％)、凹部深度(μπι)相對(duì)于總厚度的深度比例(％)、從一側(cè)的膜側(cè)邊緣至凹部邊 緣為止的距離(μπι)和從另一側(cè)的膜側(cè)邊緣至凹部邊緣為止的距離(μπι)的總和。深度根據(jù)焦 點(diǎn)的調(diào)整計(jì)算求得。將得到的結(jié)果示出于表1中。
[0083] < 評(píng)價(jià)〉 對(duì)于各實(shí)施例和比較例的各向異性導(dǎo)電性膜，分別如下所示地試驗(yàn)評(píng)價(jià)各向異性導(dǎo)電 連接時(shí)的(a)短路發(fā)生率和(b)彎曲量。將結(jié)果示出于表1中。
[0084] (a)短路發(fā)生率 在短路發(fā)生率的評(píng)價(jià)用1C和玻璃基板之間夾持各實(shí)施例和比較例的各向異性導(dǎo)電性 膜，加熱加壓（18(rC、80M化、5秒)得到各評(píng)價(jià)用連接物，求得該評(píng)價(jià)用連接物的短路發(fā)生 率。短路發(fā)生率用"短路的發(fā)生數(shù)/7.5WI1間隔總數(shù)"。
[0085] 短路發(fā)生率的評(píng)價(jià)用1C (7.5皿間隔的梳齒TEG (test element group))外徑 1.5X13mm 厚度0.5mm 凸點(diǎn)規(guī)格鍛金、高度為15μπι、尺寸為25 X 140μπι、凸點(diǎn)間距為7.5皿 玻璃基板 玻璃材質(zhì)Corning Inc. (3-二シク社）審リ 外徑 30 X 50mm 厚度0.5mm 電極IT0配線。
[00化](b)彎曲量 使用Ξ維測(cè)量?jī)x化巧ence Coloration ((株）年一工シス））測(cè)定在(a)中制備的評(píng)價(jià) 用連接物的未安裝1C忍片的一側(cè)的玻璃配線基板表面的寬度20mm的彎曲。彎曲在實(shí)際使用 方面優(yōu)選為低于15皿。需說(shuō)明的是，該20mm的寬度相當(dāng)于在背面安裝的1C忍片的寬度。
[0087] [表1]
由表1可知，實(shí)施例1~6的各向異性導(dǎo)電膜未使短路發(fā)生率上升，與比較例1相比，可減 小彎曲量。另外，凹部深度相對(duì)于總厚度的比例在20~50%的范圍內(nèi)無(wú)大的變化(實(shí)施例1、 2)。若凹部面積相對(duì)于膜表面積變大，則有彎曲量減少的傾向（實(shí)施例2~4)。在連續(xù)地延伸 設(shè)置凹部的情況下和凹部散布的情況下，彎曲量無(wú)大的差異(實(shí)施例2、5)。另外，在導(dǎo)電粒 子無(wú)規(guī)地分散的情況下和導(dǎo)電粒子排列的情況下，彎曲量也無(wú)大的差異。
[0088] 產(chǎn)業(yè)上的可利用性 本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜中，在絕緣性粘結(jié)劑層中分散或w規(guī)則圖案排列有導(dǎo)電粒 子，在一面的一部分形成有粘附強(qiáng)度比絕緣性粘結(jié)劑層低的低粘附性區(qū)域。因此，可使得1C 忍片的未形成凸點(diǎn)的中央部區(qū)域不與各向異性導(dǎo)電膜粘附固定，可緩和在各向異性導(dǎo)電連 接時(shí)產(chǎn)生的彎曲。由此，對(duì)1C忍片等電子零件向配線基板的各向異性導(dǎo)電連接有用。
[0089] 符號(hào)說(shuō)明 1絕緣性粘結(jié)劑層 la導(dǎo)電粒子保持層 化絕緣性粘接層 2導(dǎo)電粒子 3低粘附性區(qū)域 10凹部 30 1C忍片 31玻璃基板 B凸點(diǎn) 100各向異性導(dǎo)電膜
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 各向異性導(dǎo)電膜，其是在絕緣性粘結(jié)劑層中分散有導(dǎo)電粒子或以規(guī)則圖案排列有導(dǎo) 電粒子的各向異性導(dǎo)電膜，其中，在一面的一部分形成粘附強(qiáng)度比絕緣性粘結(jié)劑層低的低 粘附性區(qū)域。2. 權(quán)利要求1所述的各向異性導(dǎo)電膜，其中，低粘附性區(qū)域?yàn)樵诮^緣性粘結(jié)劑層上形成 的凹部填充有低粘附性樹(shù)脂的區(qū)域。3. 權(quán)利要求2所述的各向異性導(dǎo)電膜，其中，在一面形成有凹部的絕緣性粘結(jié)劑層的該 一面的低粘附性區(qū)域以外的區(qū)域，也利用與絕緣性粘結(jié)劑層相同的材料形成比凹部薄的 層。4. 權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電膜，其中，低粘附性樹(shù)脂不含有導(dǎo)電粒 子。5. 權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電膜，其中，低粘附性區(qū)域在各向異性導(dǎo)電 膜的長(zhǎng)度方向延伸設(shè)置。6. 權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電膜，其中，低粘附性區(qū)域在各向異性導(dǎo)電 膜的長(zhǎng)度方向斷續(xù)設(shè)置。7. 制備方法，其是權(quán)利要求1所述的各向異性導(dǎo)電膜的制備方法，其中，在絕緣性粘結(jié) 劑層的一面的一部分進(jìn)行低粘附性區(qū)域形成處理。8. 制備方法，其是權(quán)利要求2所述的各向異性導(dǎo)電膜的制備方法，其具有以下工序(A) -(C)： 工序⑷ 在形成有與低粘附性區(qū)域?qū)?yīng)的凸部的模型上，涂布含有導(dǎo)電粒子的絕緣性粘結(jié)劑層 形成用組合物，并通過(guò)加熱或紫外線照射來(lái)干燥或成膜，由此形成在一面形成有凹部的絕 緣性粘結(jié)劑層的工序； 工序⑶ 從模型取下絕緣性粘結(jié)劑層的工序;和 工序(C) 在絕緣性粘結(jié)劑層的凹部填充低粘附性區(qū)域形成材料的工序。9. 連接結(jié)構(gòu)體，其是用權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電膜將第1電子零件與 第2電子零件各向異性導(dǎo)電連接而成的。10. 連接方法，其是用權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電膜將第1電子零件與 第2電子零件各向異性導(dǎo)電連接的連接方法，其中， 將各向異性導(dǎo)電膜從其絕緣性粘結(jié)劑層一側(cè)對(duì)第2電子零件臨時(shí)粘貼，對(duì)于臨時(shí)粘貼 的各向異性導(dǎo)電膜，搭載第1電子零件，并從第1電子零件一側(cè)進(jìn)行壓接。
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【公開(kāi)日】2016年10月26日
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