搬送裝置、搬送方法及蒸鍍設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示領(lǐng)域，尤其涉及一種搬送裝置、搬送方法及蒸鍍設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)的主流制備工藝是蒸鍍技術(shù)，蒸鍍設(shè)備一般使用inline式(連續(xù)搬送式)和cluster式(八爪式)的構(gòu)造，其中，cluster式的蒸鍍設(shè)備一般使用機(jī)械手臂搬送玻璃基板進(jìn)入各個(gè)腔體，待與mask(掩膜板)進(jìn)行對位后，再進(jìn)行蒸鍍；inline式則是利用搬送裝置固定基板，待與mask對位后，勻速經(jīng)過各個(gè)填裝有不同材料的加熱源的上方，從而在基板上形成OLED器件。
[0003]相比cluster式的構(gòu)造，使用inline式的蒸鍍設(shè)備具有節(jié)省設(shè)備空間和減少tacttime(生產(chǎn)時(shí)間)的優(yōu)勢，但是在inline式設(shè)計(jì)中，如何承載和搬送基板，使其與mask對位，再進(jìn)入蒸鍍腔體，是一個(gè)難度較大的問題，由于大尺寸基板的重量和自身的bending量(形變量)等因素，一般采用直立式方式搬送，這勢必需要線性加熱源也是直立式，這增加了控制線性加熱源保持蒸鍍過程中有機(jī)材料膜厚均一性的難度，而且在采用直立式的搬送過程中，由于基板的鍍膜面呈斜向上設(shè)置，使基板的鍍膜面更容易沉積particle(微粒)，從而增加了particle導(dǎo)致的不良幾率，降低了產(chǎn)品的良率。
[0004]為了避免上述問題，在inline式的設(shè)計(jì)中，大尺寸蒸鍍設(shè)備也采用使基板的TFT面(即鍍膜面)向下的傳送方式，為了克服大尺寸基板的重量和自身的bending量等因素，一般采用靜電式或者粘附式等方式將基板固定在搬送裝置上，但是，靜電式的固定方式容易對基板的TFT(薄膜晶體管)造成損傷，而對于粘附式，粘性物的粘性大小不易被控制，粘性過小容易導(dǎo)致基板掉落，粘性過大則導(dǎo)致后續(xù)的分離困難，并且粘性物在蒸鍍受熱時(shí)會(huì)發(fā)生粘性變化、粘性物老化等問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005](一)要解決的技術(shù)問題
[0006]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是:提供一種搬送裝置、搬送方法及蒸鍍設(shè)備，能夠減小對所搬送基板造成的損傷，且便于基板的接取和分離。
[0007](二)技術(shù)方案
[0008]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案提供了一種搬送裝置，包括:
[0009]承載機(jī)構(gòu)，用于承載基板；
[0010]固定機(jī)構(gòu)，用于以機(jī)械方式將所述基板固定在所述承載機(jī)構(gòu)上。
[0011]優(yōu)選地，還包括升降機(jī)構(gòu)，所述承載機(jī)構(gòu)上設(shè)置有穿孔，所述升降機(jī)構(gòu)通過穿過所述穿孔控制所述基板升降。
[0012]優(yōu)選地，所述承載機(jī)構(gòu)上均勻設(shè)置有多個(gè)所述穿孔。
[0013]優(yōu)選地，所述升降機(jī)構(gòu)包括與每一個(gè)所述穿孔一一對應(yīng)的升降針。
[0014]優(yōu)選地，還包括驅(qū)動(dòng)所述升降機(jī)構(gòu)升降的驅(qū)動(dòng)器。
[0015]優(yōu)選地，所述固定機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在所述承載機(jī)構(gòu)邊緣位置上的可滑動(dòng)件，所述可滑動(dòng)件上設(shè)置有槽結(jié)構(gòu)，所述基板的邊緣部分通過嵌入所述槽結(jié)構(gòu)被固定。
[0016]優(yōu)選地，所述固定機(jī)構(gòu)包括兩組可滑動(dòng)件，每一組可滑動(dòng)件包括兩個(gè)相對設(shè)置的兩個(gè)可滑動(dòng)件。
[0017]優(yōu)選地，所述可滑動(dòng)件采用金屬材料制成。
[0018]優(yōu)選地，所述槽結(jié)構(gòu)內(nèi)設(shè)置有彈性潤滑層。
[0019]優(yōu)選地，所述可滑動(dòng)件可拆卸的安裝在所述承載機(jī)構(gòu)上。
[0020]優(yōu)選地，所述可滑動(dòng)件的與其延伸方向垂直的橫截面形狀為凹字形或L字形。
[0021]優(yōu)選地，所述可滑動(dòng)件的與其延伸方向垂直的橫截面形狀為凹字形，所述承載機(jī)構(gòu)用于承載所述基板的位置上設(shè)置有凸起，所述凸起位于所述穿孔之外的區(qū)域，所述凸起用于當(dāng)所述基板放置在所述承載機(jī)構(gòu)上時(shí)使所述基板的邊緣部分懸空。
[0022]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明還提供了一種蒸鍍設(shè)備，包括上述的搬送裝置。
[0023 ]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明還提供了一種搬送方法，包括:
[0024]將基板放置在承載機(jī)構(gòu)上；
[0025]通過固定機(jī)構(gòu)將所述基板以機(jī)械方式固定在所述承載機(jī)構(gòu)上。
[0026]優(yōu)選地，將基板放置在承載機(jī)構(gòu)上包括:
[0027]控制升降機(jī)構(gòu)穿過所述承載機(jī)構(gòu)的穿孔，并升至預(yù)設(shè)位置；
[0028]將所述基板放置在所述升降機(jī)構(gòu)上；
[0029]控制所述升降機(jī)構(gòu)下降，使所述基板下降從而使所述基板放置在所述承載機(jī)構(gòu)上。
[0030]優(yōu)選地，通過固定機(jī)構(gòu)將所述基板以機(jī)械方式固定在所述承載機(jī)構(gòu)上之后還包括:
[0031 ]控制所述承載機(jī)構(gòu)翻轉(zhuǎn)，使所述基板的鍍膜面朝下；
[0032]在對所述鍍膜面蒸鍍后通過控制所述承載機(jī)構(gòu)使所述基板的鍍膜面朝上，解除所述固定機(jī)構(gòu)對所述基板的固定，并控制所述升降機(jī)構(gòu)上升，從而將所述基板與所述承載機(jī)構(gòu)分離。
[0033](三)有益效果
[0034]本發(fā)明提供的搬送裝置，可以通過固定機(jī)構(gòu)將基板以機(jī)械方式固定在承載機(jī)構(gòu)上，相比現(xiàn)有技術(shù)中靜電式和粘附式的固定方式，能夠減小對基板造成的損傷，提高基板固定的可靠性，并且便于基板的接取和分離。
【附圖說明】
[0035]圖1是本發(fā)明實(shí)施方式提供的一種搬送裝置的示意圖；
[0036]圖2是本發(fā)明實(shí)施方式提供的一種可滑動(dòng)件的示意圖；
[0037]圖3是本發(fā)明實(shí)施方式提供的另一種可滑動(dòng)件的示意圖；
[0038]圖4?9是本發(fā)明實(shí)施方式提供的搬送裝置搬送基板的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0039]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。
[0040]本發(fā)明實(shí)施方式提供了一種搬送裝置，該搬送裝置包括:
[0041 ]承載機(jī)構(gòu)，用于承載基板；
[0042]固定機(jī)構(gòu)，用于以機(jī)械方式將所述基板固定在所述承載機(jī)構(gòu)上。
[0043]本發(fā)明實(shí)施方式提供的搬送裝置，可以通過固定機(jī)構(gòu)將基板以機(jī)械方式固定在承載機(jī)構(gòu)上，相比現(xiàn)有技術(shù)中靜電式和粘附式的固定方式，能夠減小對基板造成的損傷，提高基板固定的可靠性，并且便于基板的接取和分離。
[0044]本發(fā)明中，固定機(jī)構(gòu)以機(jī)械方式將基板固定，例如，該固定機(jī)構(gòu)可以為卡扣、彈性夾等機(jī)械固定結(jié)構(gòu)，通過該固定機(jī)構(gòu)將基板緊壓在承載機(jī)構(gòu)上從而實(shí)現(xiàn)固定。
[0045]優(yōu)選地，為了便于基板的接取和分離，上述搬送裝置還包括升降機(jī)構(gòu)，并在承載機(jī)構(gòu)設(shè)置有穿孔，升降機(jī)構(gòu)可以通過穿過穿孔控制所述基板升降，從而便于將基板放置在承載結(jié)構(gòu)上以及將基板與承載機(jī)構(gòu)分離。
[0046]本發(fā)明中，固定機(jī)構(gòu)可以通過機(jī)械式的固定方式將基板固定在承載機(jī)構(gòu)上，例如，可以在承載機(jī)構(gòu)的邊緣位置上設(shè)置可滑動(dòng)件，可滑動(dòng)件上設(shè)置有槽結(jié)構(gòu)，通過使基板的邊緣部分嵌入槽結(jié)構(gòu)從而能夠?qū)⒒骞潭ㄔ诔休d機(jī)構(gòu)上。
[0047]參見圖1，圖1是本發(fā)明實(shí)施方式提供的一種搬送裝置的示意圖，該搬送裝置包括承載機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)以及固定機(jī)構(gòu)；
[0048]其中，承載機(jī)構(gòu)100用于承載基板，其上均勻設(shè)置有多個(gè)所述穿孔110;
[0049]升降機(jī)構(gòu)包括與每一個(gè)穿孔110—一對應(yīng)的升降針(Pin)210，升降針210通過穿過穿孔110從而控制基板升降，從而能夠基板放置在承載機(jī)構(gòu)上或?qū)⒒迮c承載機(jī)構(gòu)分離；
[0050]固定機(jī)構(gòu)用于將基板固定在承載機(jī)構(gòu)100上，該固定機(jī)構(gòu)包括兩組可滑動(dòng)件，每一組可滑動(dòng)件包括兩個(gè)相對設(shè)置的兩個(gè)可滑動(dòng)件，其中一組包括可滑動(dòng)件310和可滑動(dòng)件330，另一組包括可滑動(dòng)件320和可滑動(dòng)件340，通過上述兩組可滑動(dòng)件能夠?qū)⒕匦螤罨宓母鬟吘壘M(jìn)行固定，由于基板的四周均被可滑動(dòng)件固定，在后續(xù)進(jìn)行翻轉(zhuǎn)動(dòng)作使基板的鍍膜面朝下時(shí)，不會(huì)因?yàn)榇蟪叽缁宓闹亓亢妥陨淼腷ending量等因素，導(dǎo)致基板脫落或者與mask對位異常