全覆蓋導(dǎo)電層408，因此，上部電極(第二電極403)和輔助布線(導(dǎo)電層408)優(yōu)選地容易電連接。
[0213][光提取結(jié)構(gòu)]
作為光提取結(jié)構(gòu)，可以使用半球透鏡、微透鏡陣列、具有凹凸表面結(jié)構(gòu)的薄膜或光擴(kuò)散薄膜等。例如，通過(guò)使用具有與基板、透鏡或薄膜大致相同的折射率的粘合劑等將上述透鏡或上述薄膜粘合在基板上，可以形成光提取結(jié)構(gòu)。
[0214][連接體]
作為連接體497，可使用通過(guò)混合金屬粒子與熱固化樹脂而得到的膏狀或片狀材料，通過(guò)熱壓接合對(duì)上述材料賦予各向異性。作為金屬粒子，優(yōu)選使用層疊有兩種或更多種的金屬的粒子，例如被金覆蓋的鎳粒子。
[0215]〈裝置的制造方法1〉
以下，示出了利用本發(fā)明的一個(gè)方式的剝離方法來(lái)制造圖13Α和圖13C所示的使用濾光片方式的底部發(fā)射型發(fā)光裝置(結(jié)構(gòu)例4)的例子。在圖15Α以后的工序中，省略結(jié)構(gòu)例4中的驅(qū)動(dòng)電路部493。
[0216]另外，通過(guò)改變待剝離層的結(jié)構(gòu)，可以以相同的方法制造出結(jié)構(gòu)例1至3的發(fā)光裝置。
[0217]首先，如圖15Α所示，在形成用基板201上依次形成剝離層203、絕緣層424、晶體管、絕緣層463、絕緣層465、著色層432、導(dǎo)電層435、絕緣層467。在此，導(dǎo)電層457使用與導(dǎo)電層435相同的材料及相同的工序形成。接著，形成與晶體管的源電極或漏電極電連接的第一電極401。然后，形成覆蓋第一電極401的端部的絕緣層405。在此，從絕緣層424至絕緣層405的各層相當(dāng)于待剝離層。
[0218]另外，如圖15B所示，在臨時(shí)支撐基板291上形成框狀分隔壁299以及位于分隔壁299內(nèi)側(cè)的剝離用粘合劑297。此時(shí)，能夠化學(xué)性或物理性地將臨時(shí)支撐基板291與待剝離層分離的粘合劑被用作剝離用粘合劑297。另外，也可以在待剝離層上形成框狀分隔壁299以及位于分隔壁299內(nèi)側(cè)的剝離用粘合劑297。
[0219]接著，使用剝離用粘合劑297將臨時(shí)支撐基板291與形成用基板201貼合在一起，并使剝離用粘合劑297固化。然后，通過(guò)激光照射形成起剝點(diǎn)(圖15C)。至少去除絕緣層424的一部分，由此可以形成起剝點(diǎn)。在此，示出了部分地去除絕緣層424及剝離層203的例子。另外，在示出形成起剝點(diǎn)的工序的各圖中，形成起剝點(diǎn)的區(qū)域由虛線圍繞。關(guān)于形成起剝點(diǎn)的詳細(xì)內(nèi)容，可以參照實(shí)施方式1的記載。
[0220]從所形成的起剝點(diǎn)將待剝離層與形成用基板201分離(圖16A)。
[0221]接著，使用粘合層422將從形成用基板201剝離并露出的絕緣層424貼合到柔性基板420(圖16B)。
[0222]然后，通過(guò)使剝離用粘合劑297溶解或塑化來(lái)去除臨時(shí)支撐基板291。然后，利用水或溶劑等去除剝離用粘合劑297以使待剝離層(例如，絕緣層405)露出(圖16C)。
[0223]通過(guò)上述方式，待剝離層可以從形成用基板201轉(zhuǎn)移到柔性基板420。
[0224]然后，在所露出的第一電極401及絕緣層405上形成EL層402及第二電極403，并且使用粘合層407將有機(jī)EL元件450與柔性基板428貼合在一起。最后，使用各向異性導(dǎo)電材料將FPC495貼合到輸入輸出端子部的各電極。若需要還可以安裝1C芯片等。另外，當(dāng)柔性基板容易彎曲時(shí)，在安裝FPC或TCP時(shí)貼合精度有可能會(huì)降低。因此，在安裝FPC或TCP時(shí)，所制造的裝置也可以由玻璃或硅橡膠等支撐。由此，可以正確地進(jìn)行FPC或TCP與功能元件的電連接。
[0225]通過(guò)上述方式，可以制造出圖13C的發(fā)光裝置。
[0226]〈裝置的制造方法2〉
以下，示出了利用本發(fā)明的一個(gè)方式的剝離方法來(lái)制造圖13A和圖14A所示的使用濾光片方式的頂部發(fā)射型發(fā)光裝置(結(jié)構(gòu)例5)的例子。
[0227]除了在一個(gè)基板上制造一個(gè)發(fā)光裝置的制造方法的例子之外，還將說(shuō)明在一個(gè)基板上制造多個(gè)發(fā)光裝置的制造方法的例子。具體而言，說(shuō)明如下兩種情況:一個(gè)是在每個(gè)發(fā)光裝置中設(shè)置剝離層(可以參照?qǐng)D10H的層105及剝離層103)的例子;另一個(gè)是在一個(gè)剝離層上設(shè)置多個(gè)發(fā)光裝置(可以參照?qǐng)D101的層105及剝離層103)的例子。
?0228] 首先，如圖17Α所示，在形成用基板201上依次形成剝離層203、絕緣層424、晶體管455、絕緣層463及絕緣層465。接著，在絕緣層463及絕緣層465的一部分中形成開口，并且形成與晶體管的源電極或漏電極電連接的第一電極401。另外，導(dǎo)電層457使用與晶體管的源電極及漏電極相同的材料及相同的工序形成。
[0229]然后，形成覆蓋第一電極401的端部的絕緣層405。接著，在第一電極401及絕緣層405上形成EL層402，并在EL層402上形成第二電極403。另外，在絕緣層463及絕緣層465的與導(dǎo)電層457重疊的區(qū)域形成開口，并分別使用與EL層402及第二電極403相同的材料及相同的工序在上述開口中形成EL層482及導(dǎo)電層483。注意，不一定必須要設(shè)置EL層482及導(dǎo)電層483。在此，從絕緣層424至第二電極403(或?qū)щ妼?83)的各層相當(dāng)于待剝離層。
[0230]另外，如圖17B所示，在形成用基板221上依次形成剝離層223及絕緣層226。然后，在絕緣層226上形成遮光層431及著色層432。然后，在絕緣層226上形成框狀分隔壁211以及位于分隔壁211內(nèi)側(cè)的粘合層407。
[0231]接著，使用粘合層407將形成用基板201與形成用基板221貼合在一起，并使粘合層407固化。然后，通過(guò)激光照射形成起剝點(diǎn)(圖17C)。在此，示出了部分地去除絕緣層424及剝離層203的例子。關(guān)于起剝點(diǎn)的形成的詳細(xì)內(nèi)容，可以參照實(shí)施方式1。
[0232]另外，在各剝離層中形成至少一個(gè)起剝點(diǎn)。因此，當(dāng)在每個(gè)發(fā)光裝置中設(shè)置剝離層的情況下，起剝點(diǎn)的數(shù)量多于設(shè)置在形成用基板201上的剝離層203的數(shù)量(S卩，多于發(fā)光裝置的數(shù)量)。圖19A示出了起剝點(diǎn)的數(shù)量等于所制造的發(fā)光裝置的數(shù)量的例子。另一方面，在圖101的一個(gè)剝離層上設(shè)置多個(gè)發(fā)光裝置的情況下，如圖19B所示那樣可以設(shè)置至少一個(gè)起剝點(diǎn)。
[0233]接著，從所形成的起剝點(diǎn)將待剝離層與形成用基板201分離。由此，待剝離層可以從形成用基板201轉(zhuǎn)移到形成用基板221(圖18A)。關(guān)于在一個(gè)基板上制造多個(gè)發(fā)光裝置的例子，參照?qǐng)D20A和20B進(jìn)行描述。
[0234]接著，使用粘合層422將從形成用基板201剝離并露出的絕緣層424貼合到柔性基板420。接著，通過(guò)激光照射形成起剝點(diǎn)(圖18B)。
[0235]在此，在柔性基板420上形成框狀分隔壁235以及位于分隔壁235內(nèi)側(cè)的粘合層233。關(guān)于在一個(gè)基板上制造多個(gè)發(fā)光裝置的例子，參照?qǐng)D21A和圖21B進(jìn)行描述。
[0236]在本制造方法中，在預(yù)先將各設(shè)置有待剝離層的一對(duì)形成用基板相互貼合之后進(jìn)行剝離，接著該待剝離層可以被轉(zhuǎn)移到柔性基板。因此，當(dāng)待剝離層相互貼合時(shí)，可以將柔性低的形成用基板相互貼合在一起，由此與將柔性基板相互貼合在一起時(shí)相比，能夠提高貼合時(shí)的位置對(duì)準(zhǔn)精度。因此，可以說(shuō)該制造方法具有在貼合有機(jī)EL元件與濾色片時(shí)的高位置對(duì)準(zhǔn)精度。
[0237]然后，從所形成的起剝點(diǎn)將絕緣層226與形成用基板221分離(圖18C)。關(guān)于在一個(gè)基板上制造多個(gè)發(fā)光裝置的例子，參照?qǐng)D22A和圖22B進(jìn)行描述。
[0238]通過(guò)上述方式，待剝離層可以從形成用基板201及形成用基板221轉(zhuǎn)移到柔性基板420 上。
[0239]然后，進(jìn)行使導(dǎo)電層457露出的工序以及使用粘合層426將絕緣層226與柔性基板428貼合的工序。先進(jìn)行哪個(gè)工序都可以。
[0240]例如，如在圖23A中用虛線圍繞的區(qū)域所示，去除絕緣層226的一部分。該絕緣層226的一部分可以由針或切割器等損壞，或者也可以用激光照射。除了絕緣層226之外，還可以部分去除粘合層407、導(dǎo)電層483或EL層482。
[0241]接著，以絕緣層226的被去除區(qū)域?yàn)槠鯔C(jī)來(lái)去除與導(dǎo)電層457重疊的絕緣層226、粘合層407、EL層482以及導(dǎo)電層483 (圖23B)。例如，將粘著性輥?zhàn)訅涸诮^緣層226上并使該輥?zhàn)愚D(zhuǎn)動(dòng)而相對(duì)地移動(dòng)。或者，將粘著性膠帶貼合在絕緣層226上，然后剝離。EL層482與導(dǎo)電層483之間的密接性以及包括在EL層482中的層之間的密接性低，因而，分離會(huì)產(chǎn)生在EL層482與導(dǎo)電層483之間的界面處或EL層482中。由此，可以選擇性地去除絕緣層226、粘合層407、EL層482或?qū)щ妼?83與導(dǎo)電層457重疊的區(qū)域。另外，在EL層482等殘留在導(dǎo)電層457上的情況下，可以使用有機(jī)溶劑等去除該殘留物。
[0242]另外，只要導(dǎo)電層457可被露出且可在后續(xù)工序中與FPC495電連接，就不限制去除與導(dǎo)電層457重疊的層的方法。EL層482或?qū)щ妼?83不一定需要與導(dǎo)電層457重疊。例如，在分離產(chǎn)生在EL層482中的情況下，不一定需要設(shè)置導(dǎo)電層483。另外，當(dāng)EL層482與粘合層407彼此接觸時(shí)，例如，根據(jù)所使用的材料，兩層的材料有可能混合或者兩層之間的界面有可能變得不明確。在這種情況下，導(dǎo)電層483優(yōu)選設(shè)置在EL層482與粘合層407之間，以便抑制發(fā)光裝置的可靠性下降。
[0243]然后，使用粘合層426將絕緣層226與柔性基板428貼合在一起(圖23C)。
[0244]然后，以?shī)A著連接體497的方式使FPC495電連接到露出的導(dǎo)電層457。
[0245]通過(guò)上述方式，可以制造出圖14A的發(fā)光裝置。
[0246]另外，通過(guò)下述方法可以制造出圖14C的發(fā)光裝置。
[0247]首先，如圖24A所示，使用粘合層426將絕緣層226與柔性基板428貼合在一起。接著，如圖24B中用虛線圍繞的區(qū)域所示，部分去除柔性基板428、粘合層426及絕緣層226。也可以部分去除粘合層407、導(dǎo)電層483或EL層482。另外，優(yōu)選在柔性基板428中形成點(diǎn)狀或線狀的框形切口(參照?qǐng)D24B中用虛線圍繞的區(qū)域)。切口的深度優(yōu)選為柔性基板428的厚度的一半以上。除了柔性基板428之外，還可以在粘合層426或絕緣層226等中形成切口。
[0248]接著，柔性基板428等的被去除區(qū)域引起去除與導(dǎo)電層457重疊的柔性基板428、粘合層426、絕緣層226、粘合層407、EL層482及導(dǎo)電層483(圖25)。去除各層的方法的例子與上述相同。
[0249]然后，以?shī)A著連接體497的方式使FPC495電連接到露出的導(dǎo)電層457。
[0250]通過(guò)上述方式，可以制造出圖14C的發(fā)光裝置。
[0251]在上述的本發(fā)明的一個(gè)方式的發(fā)光裝置的制造方法中，形成起剝點(diǎn)，然后在使剝離層與待剝離層之間的界面處于可剝離的狀態(tài)，來(lái)進(jìn)行剝離。由此，能夠提高剝離工序的成品率。其結(jié)果是，能夠以高成品率制造出發(fā)光裝置。
[0252]本實(shí)施方式可以與其它實(shí)施方式自由地組合。
[0253]實(shí)施方式3
在本實(shí)施方式中，參照?qǐng)D26A至圖26G，說(shuō)明能夠采用本發(fā)明的一個(gè)方式的剝離方法制造出的電子設(shè)備以及照明裝置。
[0254]通過(guò)采用本發(fā)明的一個(gè)方式的剝離方法，能夠高成品率地制造出可用于電子設(shè)備或照明裝置的發(fā)光裝置、顯示裝置或半導(dǎo)體裝置等。另外，通過(guò)采用本發(fā)明的一個(gè)方式的剝離方法，能夠制造出高生產(chǎn)率的柔性電子設(shè)備或照明裝置。
[0255]電子設(shè)備的例子是電視裝置(也稱為電視或電視接收機(jī))、用于計(jì)算機(jī)等的顯示器、數(shù)碼相機(jī)及數(shù)碼攝像機(jī)等拍攝裝置、數(shù)碼相框、移動(dòng)電話機(jī)(也稱為便攜式電話裝置)、便攜式游戲機(jī)、便攜式信息終端、音頻播放裝置、彈珠機(jī)等大型游戲機(jī)等。
[0256]通過(guò)采用本發(fā)明的一個(gè)方式的剝離方法而制造出的裝置具有柔性，因此，也可以沿著房屋或高樓的內(nèi)壁或外壁、汽車的內(nèi)部裝飾/外部裝飾的曲面組裝。
[0257]圖26A示出了移動(dòng)電話機(jī)的例子。移動(dòng)電話機(jī)7400包括組裝在外殼7401中的顯示部7402、操作按鈕7403、外部連接端口 7404、揚(yáng)聲器7405、麥克風(fēng)7406等。另外，將通過(guò)采用本發(fā)明的一個(gè)方式的剝離方法制造出的顯示裝置用于顯示部7402來(lái)制造移動(dòng)電話機(jī)7400。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方式，能夠高成品率地提供具備彎曲顯示部的可靠性高的移動(dòng)電話機(jī)。
[0258]當(dāng)用手指等觸摸圖26A中的移動(dòng)電話機(jī)7400的顯示部7402時(shí)，可以對(duì)移動(dòng)電話機(jī)7400輸入信息。此外，通過(guò)用手指等觸摸顯示部7402可以進(jìn)行打電話或輸入文字等操作。
[0259]通過(guò)使用操作按鈕7403，可以切換電源的開或關(guān)。此外，可以切換在顯示部7402顯示的各種圖像，例如，可以將電子郵件的編寫畫面切換為主菜單畫面。
[0260]圖26B是腕帶型的便攜式顯示裝置的例子。便攜式顯示裝置7100包括外殼7101、顯示部7102、操作按鈕7103以及收發(fā)裝置7104。
[0261]便攜式顯示裝置7100能夠利用收發(fā)裝置7104接收?qǐng)D像信號(hào)，且能夠在顯示部7102上顯示所接收的圖像。此外，利用收發(fā)裝置7104，便攜式顯示裝置7100可以將音頻信號(hào)發(fā)送到其它接收設(shè)備。
[0262]通過(guò)利用操作按鈕7103，可以進(jìn)行電源的開/關(guān)、顯示圖像的切換以及音量調(diào)整等。
[0263]在此，顯示部7102包括采用本發(fā)明的一個(gè)方式的剝離方法制造出的顯示裝置。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方式，能夠高成品率地提供具備彎曲顯示部的可靠性高的便攜式顯示裝置。
[0264]圖26C至圖26E示出照明裝置的例子。照明裝置7200、7210及7220都包括設(shè)置有操作開關(guān)7203的底座7201以及由底座7201支撐的發(fā)光部。
[0265]圖26C所示的照明裝置7200包括具有波狀發(fā)光面的發(fā)光部7202，這是設(shè)計(jì)性高的照明裝置。
[0266]圖26D所示的照明裝置7210所包括的發(fā)光部7212具有對(duì)稱配置的兩個(gè)凸?fàn)顝澢l(fā)光部。因此，可以以照明裝置7210為中心全方位地進(jìn)行照射。
[0267]圖26E所示的照明裝置7220包括凹狀彎曲發(fā)光部7222。因?yàn)閺陌l(fā)光部7222發(fā)射出的光被聚集到照明裝置7220的前面，所以上述結(jié)構(gòu)合適于照亮特定范圍。
[0268]包括在照明裝置7200、7210及7220中的發(fā)光部具有柔性，因而，發(fā)光部也可以固定在塑性構(gòu)件或可動(dòng)框架等上，從而能夠按照用途隨意地彎曲發(fā)光部的發(fā)光面。
[0269]注意，在此示出了由底座支撐發(fā)光部的照明裝置作為例子，設(shè)置有發(fā)光部的殼體可以固定或吊在天花板上。由于發(fā)光面可以彎曲，因此，可以照亮特定區(qū)域，或者該發(fā)光面彎曲為凸出狀，由此可以照亮整個(gè)房間。
[0270]在此，各發(fā)光部包括采用本發(fā)明的一個(gè)方式的剝離方法制造出的發(fā)光裝置。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方式，能夠高成品率地提供具備彎曲發(fā)光部的可靠性高的照明裝置。
[0271]圖26F示出了便攜式顯示裝置的例子。顯示裝置7300包括殼體7301、顯示部7302、操作按鈕7303、顯示部拉出件7304以及控制部7305。
[0272]顯示裝置7300在筒狀的外殼7301內(nèi)包括卷筒狀的柔性顯示部7302。
[0273]顯示裝置7300能夠由控制部7305接收影像信號(hào)，且能夠在顯示部7302上顯示所接收的影像。此外，電池包括在控制部7305中。此外，用來(lái)連接連接器的端子部也可以包括在控制部7305中，以便能夠使用布線從外部直接提供影像信號(hào)或電力。
[0274]通過(guò)利用操作按鈕7303，可以進(jìn)行電源的開/關(guān)以及顯示影像的切換等。
[0275]圖26G示出了使用顯示部拉出件7304將顯示部7302拉出后的狀態(tài)的顯示裝置7300。在此狀態(tài)下可以在顯示部7302上顯示影像。另外，通過(guò)殼體7301的表面上的操作按鈕7303可以實(shí)現(xiàn)單手操作。如圖26F所示，通過(guò)將操作按鈕7303配置在殼體7301的一側(cè)而不是殼體7301的中央，可以容易進(jìn)行單手操作。
[0276]另外，加固框也可以設(shè)置在顯示部7302的側(cè)部，使得在拉出時(shí)該顯示部7302具有平面的顯示面。
[0277]此外，除了上述結(jié)構(gòu)以外，揚(yáng)聲器也可以設(shè)置在殼體中，從而使用與影像信號(hào)同時(shí)接收的音頻信號(hào)輸出聲音。
[0278]顯示部7302包括采用本發(fā)明的一個(gè)方式的剝離方法制造出的顯示裝置。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方式，能夠高成品率地提供輕量且可靠性高的顯示裝置。
[0279]本實(shí)施方式可以與其它實(shí)施方式自由地組合。
[0280]實(shí)施方式4
在本實(shí)施方式中，參照?qǐng)D27A和圖27B，說(shuō)明可用于本發(fā)明的一個(gè)方式的剝離方法的激光照射系統(tǒng)。
[0281 ]圖27A和圖27B所示的激光照射系統(tǒng)都包括載物臺(tái)503、處理部505、顯示裝置507、相機(jī)509、激光裝置511、位置對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)513以及光源515。
[0282]作為配置于載物臺(tái)503上的樣品501，例如可以舉出圖1B或圖6A所示的結(jié)構(gòu)。
[0283]相機(jī)509的觀察結(jié)果通過(guò)處理部505輸出到顯示裝置507。
[0284]例如，可以使用包括相機(jī)的光學(xué)顯微鏡作為相機(jī)509。相機(jī)509所檢測(cè)的光在處理部505中被處理并作為圖像顯示在顯示裝置507。
[0285]激光裝置511可以用來(lái)照射形成起剝點(diǎn)的激光。
[0286]處理部505連接到顯示裝置507、相機(jī)509、激光裝置511、位置對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)513以及光源515。由于本實(shí)施方式中的激光照射系統(tǒng)包括處理部505，因此，可以根據(jù)相機(jī)509的觀察結(jié)果等自動(dòng)使位置對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)513、激光裝置511及光源515工作。另外，根據(jù)輸出到顯示裝置