X射線照射源的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種X射線照射源。
【背景技術(shù)】
[0002]—直以來，開發(fā)有以在具有X射線照射窗的筐體內(nèi)組裝入X射線管或高壓產(chǎn)生模塊等而構(gòu)成的X射線照射源。例如在專利文獻(xiàn)I所記載的工業(yè)用X射線產(chǎn)生裝置中，升壓電路的高電壓側(cè)與X射線管的陰極相接近而配置。另外，例如在專利文獻(xiàn)2所記載的軟X射線產(chǎn)生裝置中，在發(fā)射極(emitter)的表面設(shè)置有由規(guī)定的粒徑的金剛石顆粒構(gòu)成的薄膜。在該裝置中，X射線管的筐體整體由鋁形成，從而成為金屬構(gòu)件位于X射線管的陰極配置面的外側(cè)的結(jié)構(gòu)。
[0003]在以上那樣的X射線照射源中，從匹配與X射線管的供電端子的熱膨脹系數(shù)的觀點(diǎn)出發(fā)，考慮將例如堿石灰玻璃等的包含堿的玻璃使用于筐體的底板等。這樣的玻璃的熱膨脹系數(shù)接近于與配置于X射線管內(nèi)的各種電極或密封材料的熱膨脹系數(shù)，因此，可形成真空保持性能高的真空筐體。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特開2012-49123號(hào)公報(bào)
[0007]專利文獻(xiàn)2:日本特開2007-305565號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]發(fā)明所要解決的問題
[0009]然而，在將包含堿的玻璃使用于X射線管的筐體的情況下，若由被施加負(fù)的高電壓的陰極等的高壓部、與被施加低電壓(或接地電位)的各種控制電路等的低壓部夾持玻璃，則存在堿離子受高壓部的電位牽引而自玻璃析出的情況。已知若產(chǎn)生這樣的堿離子的析出，且堿離子附著于X射線管內(nèi)的電極等，則由于各電極間的電位關(guān)系發(fā)生變化，因而會(huì)有產(chǎn)生無法保持所期望的X射線量等的不良狀況的擔(dān)憂。
[0010]本發(fā)明是為了解決上述問題而完成的發(fā)明，其目的在于，提供通過抑制來自筐體的堿離子的析出，從而能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的動(dòng)作的X射線照射源及X射線管。
[0011]解決問題的技術(shù)手段
[0012]為了解決上述問題，本發(fā)明所涉及的X射線照射源，其特征在于，包含:X射線管，其具有:被施加負(fù)的高電壓的陰極、通過來自陰極的電子的入射而產(chǎn)生X射線的靶、及收納陰極與靶并且具有使自靶產(chǎn)生的X射線向外部射出的輸出窗的筐體；及電源部，其產(chǎn)生施加于陰極的負(fù)的高電壓；筐體具有:窗用壁部，其設(shè)置有輸出窗；及主體部，其與窗用壁部接合而形成收納陰極及靶的收納空間；主體部具有相對(duì)壁部，該相對(duì)壁部與窗用壁部相對(duì)地配置且由包含堿的玻璃形成；電源部具有:高電壓產(chǎn)生部，其產(chǎn)生負(fù)的高電壓；及高電壓區(qū)域，其連接于該高電壓產(chǎn)生部并且配置有相對(duì)壁部。
[0013]該X射線照射源中，X射線管的筐體的壁部中，由包含堿的玻璃形成的相對(duì)壁部，配置于與產(chǎn)生向陰極施加的負(fù)的高電壓的高電壓產(chǎn)生部連接的高電壓區(qū)域。通過這樣的結(jié)構(gòu)，可抑制在相對(duì)壁部產(chǎn)生電場，從而抑制了堿離子自玻璃析出。因此，可抑制由堿離子的附著引起的各電極間的電位關(guān)系的變化，不會(huì)產(chǎn)生無法保持所期望的X射線量等的不良狀況，可維持穩(wěn)定的動(dòng)作。
[0014]另外，優(yōu)選陰極沿著相對(duì)壁部的內(nèi)表面延伸，高電壓區(qū)域沿著陰極的延伸方向延伸。在陰極延伸的情況下，在相對(duì)壁部容易產(chǎn)生堿離子的析出，但通過使高電壓區(qū)域沿著陰極延伸，可適宜地抑制堿離子的析出。
[0015]另外，優(yōu)選陰極的電子放出部從相對(duì)壁部分尚，在電子放出部與相對(duì)壁部之間，設(shè)置有被施加與自電源部供給至陰極的負(fù)的高電壓大致相同等的負(fù)的高電壓的背面電極，背面電極以與陰極相對(duì)的方式沿著相對(duì)壁部的內(nèi)表面延伸而配置?？紤]到若電子放出部與相對(duì)壁部直接地面對(duì)，則相對(duì)壁部帶電且電位變得不穩(wěn)定，電子的放出也變得不穩(wěn)定的情況。因此，通過將背面電極與陰極相對(duì)地配置，可防止該不良狀況。另一方面，由更靠近相對(duì)壁部的背面電極所形成的電場，在相對(duì)壁部容易產(chǎn)生堿離子的析出，但通過使高電壓區(qū)域與背面電極相對(duì)，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的電子放出且更適宜地抑制堿離子的析出。
[0016]另外，優(yōu)選還包含電路基板，其載置有筐體及電源部并且包含形成高電壓區(qū)域的配線部；高電壓產(chǎn)生部及配線部以包圍相對(duì)壁部的至少一部分的方式配置。通過這樣的高電壓產(chǎn)生部及配線部的配置，可更可靠地抑制在相對(duì)壁部產(chǎn)生電場。另外，可實(shí)現(xiàn)X射線管的穩(wěn)定的固定。
[0017]另外，優(yōu)選還包含電路基板，其載置有筐體及電源部并且包含形成高電壓區(qū)域的配線部；筐體經(jīng)由間隔件(spacer)而固定于電路基板；高電壓產(chǎn)生部及配線部以在筐體與電路基板之間包圍間隔件的至少一部分的方式配置于與相對(duì)壁部相對(duì)的位置。這樣的高電壓產(chǎn)生部及配線部的配置中，也可可靠地抑制在相對(duì)壁部產(chǎn)生電場。另外，通過間隔件穩(wěn)定地固定X射線管，且將高電壓產(chǎn)生部及配線部配置于與相對(duì)壁部相對(duì)的位置，由此可有效地利用電路基板，從而可謀求裝置的小型化。
[0018]另外，優(yōu)選還包含電路基板，其載置有筐體及電源部并且包含形成高電壓區(qū)域的配線部；高電壓產(chǎn)生部及配線部在與相對(duì)壁部相對(duì)的位置，配置于電路基板的與筐體的載置面相反面?zhèn)?。在這樣的高電壓產(chǎn)生部及配線部的配置中，也可可靠地抑制在相對(duì)壁部產(chǎn)生電場。另外，可使筐體周圍的結(jié)構(gòu)簡單化，從而可謀求裝置的小型化。
[0019]發(fā)明的效果
[0020]根據(jù)本發(fā)明，通過抑制來自筐體的堿離子的析出，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的動(dòng)作。
【附圖說明】
[0021]圖1是表示包含本發(fā)明的第I實(shí)施方式所涉及的X射線照射源而構(gòu)成的X射線照射裝置的立體圖。
[0022]圖2是表示圖1所示的X射線照射裝置的功能性構(gòu)成要素的方塊圖。
[0023]圖3是圖1所示的X射線照射源的立體圖。
[0024]圖4是圖3的平面圖。
[0025]圖5是圖4中的V-V線剖面圖。
[0026]圖6是圖5中的V1-VI線剖面圖。
[0027]圖7是表示變形例所涉及的X射線照射源的平面圖。
[0028]圖8是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式所涉及的X射線照射源中的X射線管與電路基板的結(jié)合狀態(tài)的剖面圖。
[0029]圖9是表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式所涉及的X射線照射源的平面圖。
[0030]圖10是表示圖9所示的X射線照射源中的X射線管與電路基板的結(jié)合狀態(tài)的剖面圖。
[0031]圖11是表示本發(fā)明的效果確認(rèn)試驗(yàn)結(jié)果的圖，(a)是實(shí)施例1的結(jié)果，(b)是實(shí)施例2的結(jié)果。
【具體實(shí)施方式】
[0032]以下，一邊參照附圖一邊詳細(xì)地說明本發(fā)明所涉及的X射線照射源的優(yōu)選的實(shí)施方式。
[0033]圖1是表示包含本發(fā)明的第I實(shí)施方式所涉及的X射線照射源而構(gòu)成的X射線照射裝置的立體圖。該圖所示的X射線照射裝置I在例如處理大型玻璃的生產(chǎn)線上設(shè)置于無塵室等，且被構(gòu)成為通過X射線的照射進(jìn)行大型玻璃的除電的光電離器(光照射式除電裝置)。該X射線照射裝置I包含照射X射線的X射線照射源2、及控制X射線照射源2的控制器3而構(gòu)成。
[0034]圖2是表示X射線照射裝置I的功能性構(gòu)成要素的方塊圖。如該圖所示，控制器3包含控制電路11而構(gòu)成?？刂齐娐?1包含例如向內(nèi)置于X射線照射源2的X射線管21供給電力的電源電路、及向X射線管21發(fā)送控制驅(qū)動(dòng)及停止的控制信號(hào)的控制信號(hào)發(fā)送電路等而構(gòu)成。該控制電路11通過連接纜線C而與X射線照射源2連接。
[0035]接著，對(duì)上述的X射線照射源2的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)的說明。
[0036]圖3是圖1所示的X射線照射源的立體圖。另外，圖4是圖3的平面圖，圖5是圖4中的V-V線剖面圖。如圖3?圖5所示，X射線照射源2在金屬制的大致長方體形狀的筐體31內(nèi)，具有X射線管21及高壓產(chǎn)生模塊(電源部、高電壓產(chǎn)生部)22、以及搭載有驅(qū)動(dòng)電路23的至少一部分的第I電路基板32及第2電路基板33。
[0037]如圖3及圖4所示，筐體31包含:主體部35，其具有形成有使自X射線管21產(chǎn)生的X射線向外部射出的X射線射出窗34的長方形狀的壁部31a、及設(shè)置于該壁部31a的各邊的側(cè)壁部31b且一面?zhèn)乳_口 ；及蓋部31c，其與壁部31a相對(duì)，并以堵塞主體部35的