063]圖9為根據(jù)本發(fā)明的實施方式所提供的替代LPT 900的俯視示意圖。在圖9的LPT900中，處理工具102a和102b為面對面的。第一移送室902經(jīng)由裝載鎖904耦接至工廠接口 116，且經(jīng)由通過件908將基板供給至第二移送室906。使用移送室906以經(jīng)由通路909a和909b耦接處理腔室102a和102b。附加處理腔室910 (以虛影(phantom)顯示)可耦接至移送室906。在一些實施方式中，例如，預(yù)清潔/除氣腔室可耦接至移送室902。另外，在一或更多個實施方式中，如果需要重定向基板，則對準(zhǔn)器914可與耦接至處理腔室102a和102b的通路的一或更多個者對齊，且/或可使用獨立對準(zhǔn)器。
[0064]圖10為替代LPT 1000的俯視示意圖，LPT 1000類似于圖9的LPT 900，但是LPT1000包括較少的基板移送件。舉例而言，LPT 1000包括移送室1002，移送室1002耦接處理腔室102a、102b，且經(jīng)由真空增設(shè)裝置1004和裝載鎖1006耦接至工廠接口。在一或更多個實施方式中，對準(zhǔn)器1008可與耦接至處理腔室102a和102b的一或更多個通路對齊，且/或可使用獨立的對準(zhǔn)器。在一些實施方式中，附加處理腔室1010(以虛影顯示)可耦接至移送室1002。
[0065]圖11為替代LPT 1100的俯視示意圖，LPT 1100類似于圖7的LPT 700，但LPT1100包括較少的基板移送件(例如，如所示的移送室(直接)耦接至處理工具/通路)。
[0066]圖12為替代LPT 1200的俯視示意圖，在LPT 1200中四個處理工具102a_102d在真空環(huán)境下與多個移送室1204a-1204d和真空增設(shè)裝置1222耦接?？墒褂靡换蚋鄠€附加移送室和/或一或更多個真空增設(shè)裝置1222以滿足維修進(jìn)入的需要。在一些實施方式中，第二工廠接口 1224(以虛影顯示)可定位于真空鏈路的后端(接近處理工具102c和102d)以允許在后端位置處移除基板。
[0067]圖13為根據(jù)本發(fā)明的實施方式所提供的替代LPT 1300的俯視示意圖。在圖13的LPT 1300中，處理工具102a和102b為并排的，且使用多個移送室1304a_1304c以耦接處理工具102a和102b?？勺砸换蚋鄠€工廠接口 116a-116b提供基板。該實施方式可在處理工具102a與102b之間提供便利的維修通道1306用于維修耦接至各工具的處理腔室。
[0068]圖14為根據(jù)本發(fā)明的實施方式所提供的替代LPT 1400的俯視示意圖。在圖14的LPT 1400中，如圖所示，處理工具102a和102b為面對面的，且處理工具102a和102b經(jīng)由定位于兩者之間的移送室1404耦接。移送室1404經(jīng)由通路1406a耦接至處理腔室102a，且經(jīng)由通路1406b耦接至處理腔室102b?；逶诠S接口 116a、116b處經(jīng)由處理工具102a和/或102b提供至LPT 1400和/或從LPT 1400移除。在一些實施方式中僅使用一個工廠接口(例如，并且基板可經(jīng)由同一工廠接口 116進(jìn)入和退出LPT 1400)。一或更多個處理工具102a和102b可包括對準(zhǔn)器1408a、1408b和/或除氣腔室1410a、1410b。
[0069]在操作中且參考圖14，可將基板在工廠接口 116a處傳遞至LPT 1400。舉例而言，容納多個基板的基板載體可傳遞至工廠接口 116a。在工廠接口 116a處，打開基板載體且將基板移送至LPT 1400中以供處理。舉例而言，可將基板從工廠接口 116a移送至耦接于移送室108a的第一裝載鎖118a。舉例而言，在移送室108a中，可使用除氣/預(yù)清潔腔室1410a對基板進(jìn)行除氣和/或預(yù)清潔且將基板移送至處理腔室106a。在處理腔室106a中處理后，可在一或更多個處理腔室106b-106f內(nèi)處理基板。隨后可將基板經(jīng)由通路1406a移送至移送室1404，且隨后經(jīng)由通路1406b移送至移送室108c。在一些實施方式中，通路1406a和/或1406b可包括槽口探測器、基板對準(zhǔn)器和/或重定向器等，所述槽口探測器、基板對準(zhǔn)器和/或重定向器可在基板經(jīng)過處理工具102a與102b之間時確定和/或調(diào)整該基板的對準(zhǔn)/定向。
[0070]在處理工具102b內(nèi)，可在一或更多個處理腔室106g_106j內(nèi)處理基板。隨后可將基板移送至工廠接口 116b或經(jīng)由處理工具102a移送回至工廠接口 116a。注意，基板可從其他方向和/或路徑行進(jìn)穿過LPT 1400，且可在任何數(shù)目的處理腔室106a-106 j內(nèi)以任何順序處理所述基板。在一些實施方式中，一或更多個處理腔室可耦接至移送室1404以為LPT 1400提供附加的處理能力。
[0071]圖15為根據(jù)本發(fā)明的實施方式所提供的替代LPT 1500的俯視示意圖。在圖15的LPT 1500中，可使用腔室位置中之一者作為處理工具102a與102b之間(穿過真空增設(shè)裝置/隧道1504)的移送件的基板入口 /出口位置?？蓪⒒褰?jīng)由工廠接口 116a和/或116b提供至處理工具102a和102b。該實施方式對序列器設(shè)計、工廠自動化和使用者接口(例如未使用附加機(jī)器人和/或基板位置)具有較小的影響。在一些實施方式中，可使用諸如一或更多個機(jī)器人、直線軌道或類似機(jī)構(gòu)的往返機(jī)構(gòu)以在處理工具102a、102b之間移送基板。
[0072]圖16為根據(jù)本發(fā)明的實施方式所提供的替代LPT 1600的俯視示意圖。LPT 1600除使用處理工具102a、102b外，還使用雙移送室處理工具1602。舉例而言，處理工具1602可為購自應(yīng)用材料公司的Endura 2系統(tǒng)，或另一適當(dāng)?shù)奶幚砉ぞ摺?br>[0073]處理工具1602包括處理腔室1606a_1606b、和第一移送室1608a和第二移送室1608b。第一移送室1608a用作LPT 1600的緩沖腔室，且提供將基板移送至第二移送室1608b/從第二移送室1608b移送。第二移送室1608b提供將基板經(jīng)由通路114a和移送室108b移送至處理工具102a/從處理工具102a移送。經(jīng)由通路114b可從處理工具102a的移送室108b進(jìn)入處理工具102b。
[0074]處理工具102a包括處理腔室106a_106g。處理工具102b包括處理腔室106h-106m。處理工具1602包括處理腔室1606a_1606b。處理工具1602的移送室1608b用作LPT 1600的附加的清潔、高度真空移送室且如圖所示提供附加的處理腔室位置。圖16的LPT 1600總共具有五個清潔、連結(jié)型高度真空移送室，所述移送室在一些實施方式中耦接至十八個處理腔室(圖16中顯示為十五個)?？蓪⒒鍙墓S接口 116移送，穿過移送(緩沖)腔室1608a至移送室1608b至一或更多個處理腔室1606a_1606b和106a_106m用于處理。其后，基板可經(jīng)由移送(緩沖)腔室1608a返回工廠接口 116。在一些實施方式中，通路114a和/或通路114b可包括槽口探測器、基板對準(zhǔn)器和/或再定位器等1610a、1610b，所述槽口探測器、基板對準(zhǔn)器和/或再定位器等可在基板經(jīng)過處理工具102a、102b和/或1602之間時確定且/或調(diào)整該基板的對準(zhǔn)/定向。
[0075]如果需要，則處理工具102a的移送室108b和/或處理工具102b的移送室108c可使用附加和/或替代真空泵，諸如低溫泵、渦輪泵或類似泵。在一些實施方式中，移送室1608a可包括除氣和/或預(yù)清潔腔室I 1a-110b。
[0076]如上所述，使用LPT系統(tǒng)允許將基板在真空的環(huán)境下傳送至多個處理工具的各個腔室位置，且可顯著增加可用的高度真空或“清潔”腔室位置(例如小面)的數(shù)量。另外，在一些實施方式中，當(dāng)處理工具之間的基板保持在真空環(huán)境下時可減少除氣/預(yù)清潔腔室的數(shù)目。另外，在一些實施方式中，只有當(dāng)采用壓力均勻化而不是泵/排氣口時可增加裝載鎖產(chǎn)量。經(jīng)由使用LPT系統(tǒng)，每次探訪腔室，基板經(jīng)歷較少次數(shù)的泵/排氣口回圈。在一些實施方式中可使用批量裝載鎖，因此可將更多基板在一個泵/排氣口回圈中呈現(xiàn)至處理工具，且/或潛在縮短裝載或卸載處理工具(例如，在穩(wěn)態(tài)操作期間經(jīng)歷處理的基板的數(shù)目)的“深度”所使用的時間。
[0077]根據(jù)本發(fā)明的實施方式的LPT系統(tǒng)可允許處理工具始終使用增加的和/或最大真空度。如上所述，可視需要在真空隧道內(nèi)和/或沿著連