間時(shí)確定和/或調(diào)整該基板的對(duì)準(zhǔn)/定向。舉例而言，在基板進(jìn)入緩沖工具104之前可在工廠接口 116內(nèi)部預(yù)對(duì)準(zhǔn)基板。該對(duì)準(zhǔn)適于在處理工具102a的不同處理腔室內(nèi)處理，但由于所述處理腔室106h_106n的定位/定向，該對(duì)準(zhǔn)不適于在處理工具102b的不同處理腔室內(nèi)處理。在所述情況下，在基板進(jìn)入處理工具102b之前，可在通路114c內(nèi)“重計(jì)時(shí)”或重對(duì)準(zhǔn)所述基板。
[0050]在處理工具102b內(nèi)，在一或更多個(gè)處理腔室106h-106n內(nèi)可對(duì)基板進(jìn)行相似的處理，且該基板可經(jīng)由通路114b返回緩沖工具104。隨后可將基板移送回工廠接口 116和/或基板載體。注意，基板可從其他方向和/或路徑行進(jìn)穿過LPT 100c，且可在處理腔室106a-106n的任何數(shù)目的腔室內(nèi)以任何順序處理所述基板。
[0051]在一些實(shí)施方式中，可將LPT系統(tǒng)10c視為至少對(duì)操作員和/或工廠軟件而言的單一工具，且該LPT系統(tǒng)可使用單一工具控制器120、一個(gè)序列器122、一個(gè)監(jiān)控器124、一個(gè)基板歷史126和/或一個(gè)到工廠的連接。在其他實(shí)施方式中，可將LPT系統(tǒng)10c內(nèi)部的各處理工具視為獨(dú)立工具，且/或各工具可使用獨(dú)立序列器、監(jiān)控器、基板歷史和/或到工廠的連接。
[0052]圖2為圖示與三個(gè)單機(jī)處理工具200a_200c的典型工廠布置相比圖1C的LPT10c的占地面積的俯視示意圖。相比三個(gè)清潔、“非連結(jié)型”高度真空移送室，LPT 10c提供四個(gè)清潔、“連結(jié)型”高度真空移送室(具有14個(gè)小面)。圖3為與單機(jī)處理工具300a-300f的布置實(shí)例相比的四個(gè)LPT 10a的布置實(shí)例的俯視示意圖。
[0053]圖4A為根據(jù)本發(fā)明所提供的第一替代LPT 400的俯視示意圖。圖4A的LPT 400與圖1C的LPT 10c類似，LPT 400中類似于處理工具102a、102b的雙移送室處理工具402替代LPT 10c中緩沖工具104。舉例而言，處理工具402可為購(gòu)自應(yīng)用材料公司的Endura2系統(tǒng)或另一適當(dāng)?shù)奶幚砉ぞ摺?br>[0054]處理工具402包括處理腔室406a_406c、和第一移送室408a及第二移送室408b。第一移送室408a用作LPT 400的緩沖腔室，且提供將基板經(jīng)由通路414a移送至處理工具102a/從處理工具102a移送，和經(jīng)由通路414b移送至處理工具102b/從處理工具102b移送。處理工具402的移送室408b用作LPT 400的附加的清潔、高度真空的移送室，且相比圖1C的LPT 100c，移送室408b提供三個(gè)附加處理腔室406a_406c。因此，圖4A的LPT400總共具有五個(gè)清潔、連結(jié)型高度真空移送室，所述移送室耦接十七個(gè)處理腔室?？蓪⒒褰?jīng)由移送(緩沖)腔室408a從工廠接口 116移送至一或更多個(gè)處理腔室106a_106n和406a-406c以供處理。其后，基板可經(jīng)由移送(緩沖)腔室408a返回工廠接口 116。在一些實(shí)施方式中，通路414c和/或通路414d可包括槽口探測(cè)器、基板對(duì)準(zhǔn)器和/或重定向器等415，所述槽口探測(cè)器、基板對(duì)準(zhǔn)器和/或重定向器等可在基板經(jīng)過處理工具102a、102b和/或402之間時(shí)確定和/或調(diào)整該基板的對(duì)準(zhǔn)/定向。在一些實(shí)施方式中，因?yàn)榛宀⒉唤?jīng)過移送室408a與移送室408b之間，所以在移送室408a與移送室408b之間并不提供通過件(如圖所示)。在移送室108a與108b之間及移送室108c與108d之間提供通過室417。
[0055]如果需要，則處理工具102a的移送室108b和/或處理工具102b的移送室108c可使用附加和/或替代真空泵，諸如低溫泵、渦輪泵或類似泵。舉例而言，圖4B圖示LPT 400的實(shí)施方式，在該實(shí)施方式中，兩個(gè)泵420a、420b可增加至處理工具102a的移送室108b，且兩個(gè)泵420c、420d可增加至處理工具102b的移送室108c處。泵420a_420d可包括低溫泵、渦輪泵、以上兩者的組合和/或任何其他適當(dāng)?shù)谋谩？墒褂闷渌麛?shù)目的泵。
[0056]在操作中且參考圖4A-圖4B，可將基板在工廠接口 116處傳遞至LPT 400。舉例而言，容納多個(gè)基板的基板載體可傳遞至工廠接口 116。在工廠接口 116處，打開基板載體且基板將被移送至LPT 400以供處理。舉例而言，可將基板從工廠接口 116移送至耦接于移送室408a的第一裝載鎖118a中。在移送室408a內(nèi)可使用除氣/預(yù)清潔腔室IlOaUlOb兩者之一或兩者對(duì)基板進(jìn)行除氣和/或預(yù)清潔。例如，除氣/預(yù)清潔后，可將基板經(jīng)由通路414a移送至處理工具102a的移送室108b，以在處理腔室106a內(nèi)部進(jìn)行處理。在處理腔室106a內(nèi)處理后，可將基板移送至移送室108a，且在一或更多個(gè)處理腔室106b_106f內(nèi)進(jìn)行處理。隨后可將基板移送回至移送室108b，在處理腔室106g進(jìn)行處理(如果需要)，且將該基板經(jīng)由通路414c移送至處理工具402的移送室408b。在一些實(shí)施方式中，通路414c可包括由參考標(biāo)記415表示的槽口探測(cè)器、基板對(duì)準(zhǔn)器和/或重定向器等，所述槽口探測(cè)器、基板對(duì)準(zhǔn)器和/或重定向器等可在基板經(jīng)過處理工具102a與402之間時(shí)確定和/或調(diào)整該基板的對(duì)準(zhǔn)/定向。舉例而言，在基板進(jìn)入處理腔室408a之前可在工廠接口 116內(nèi)部預(yù)對(duì)準(zhǔn)所述基板。對(duì)準(zhǔn)可適于在處理工具102a的多個(gè)處理腔室內(nèi)處理，但由于處理腔室的定向/定位，該對(duì)準(zhǔn)不適于在處理腔室406a_406c內(nèi)處理。在所述情況下，在基板進(jìn)入處理工具402內(nèi)之前，可重對(duì)準(zhǔn)所述基板。
[0057]在處理工具402內(nèi)，可在一或更多個(gè)處理腔室406a_406c內(nèi)處理基板。隨后，可將基板經(jīng)由通路414d移送至處理工具102b。在一些實(shí)施方式中，通路414d可包括槽口探測(cè)器、基板對(duì)準(zhǔn)器和/或重定向器等，如前文所述，所述槽口探測(cè)器、基板對(duì)準(zhǔn)器和/或重定向器等可在基板經(jīng)過處理工具402與102b之間時(shí)確定和/或調(diào)整該基板的對(duì)準(zhǔn)/定向。
[0058]在處理工具102b內(nèi)，在一或更多個(gè)處理腔室106h_106n內(nèi)可對(duì)基板進(jìn)行相似的處理，且該基板可經(jīng)由通路414b返回移送室408a。隨后可將該基板移送回工廠接口 116和/或基板載體。注意，基板可從其他方向和/或路徑行進(jìn)穿過LPT 400，且可在處理腔室106a-106n的任何數(shù)目的腔室內(nèi)以任何順序處理所述基板。
[0059]在一些實(shí)施方式中，可將LPT系統(tǒng)400視為至少對(duì)操作員和/或工廠軟件而言的單一工具，且LPT系統(tǒng)400可使用單一工具控制器120、一個(gè)序列器122、一個(gè)監(jiān)控器124、一個(gè)基板歷史126和/或一個(gè)到工廠的連接。在其他實(shí)施方式中，可將LPT系統(tǒng)400內(nèi)的各處理工具視為獨(dú)立工具，且/或各工具可使用獨(dú)立序列器、監(jiān)控器、基板歷史和/或到工廠的連接。
[0060]圖5為圖示與三個(gè)單機(jī)處理工具500a-500c的典型工廠布置相比圖4A的LPT 400的占地面積的俯視示意圖。相比三個(gè)清潔、非連結(jié)型高度真空移送室，LPT 400提供五個(gè)清潔、連結(jié)型高度真空移送室(具有17個(gè)小面)。圖6為與單機(jī)處理工具600a-600f的布置實(shí)例相比的LPT 400a-400c的布置實(shí)例的俯視示意圖。
[0061]圖7為根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式所提供的替代LPT 700的俯視示意圖。在圖7的LPT 700中，處理工具102a和102b為“面對(duì)面”的，且使用移送室702，諸如可購(gòu)自應(yīng)用材料公司的Charger移送室或另一適當(dāng)?shù)囊扑褪?，以耦接至處理腔?02a和102b且自工廠接口 116供給基板。在該實(shí)施方式中，可將除氣/預(yù)清潔腔室IlOa-1lOb定位于處理工具102a和/或處理工具102b上(在圖7中顯示為位于處理工具102上)。在一些實(shí)施方式中，例如，移送室702可包括對(duì)準(zhǔn)器/定向器720?；蹇稍诠S接口 116內(nèi)預(yù)對(duì)準(zhǔn)。該對(duì)準(zhǔn)可適于在處理工具102a的各個(gè)處理腔室內(nèi)處理，但由于處理工具102內(nèi)的處理腔室的定向/定位，該對(duì)準(zhǔn)不適于在處理工具102b的各個(gè)處理腔室內(nèi)處理。在所述情況下，在基板進(jìn)入處理工具102b之前，可重對(duì)準(zhǔn)所述基板。
[0062]圖8為根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式所提供的替代LPT 800的俯視示意圖。在圖8的LPT 800中，處理工具102a和102b為“并排”的，且使用移送室802以耦接處理腔室102a和102b。可自處理工具102a及102b的一或更多個(gè)處理工具處的工廠接口 116供給基板。
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