面板裝置及其檢測方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是有關(guān)于一種面板裝置及其檢測方法，且特別是有關(guān)于一種由兩個基板組立而成的面板裝置及其檢測方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著信息技術(shù)與半導(dǎo)體制程能力的發(fā)展，市面上的各類產(chǎn)品在反應(yīng)速率、處理效能、顯示品質(zhì)等條件上都不斷提升使得制作合格率與制作誤差受到相當(dāng)嚴(yán)謹(jǐn)?shù)囊?。以顯示面板來說，顯示面板通常是由兩個或是兩個以上的基板組立而成，其供這基板上面制作有不同的構(gòu)件。將兩個或多個基板組立在一起的過程中，若對位上的誤差過大，將使最終產(chǎn)品無法滿足市場的需求。因此，在組立多個基板時，需要有適當(dāng)?shù)姆椒ㄅc手段來檢測對位偏移是否超過可容忍的限度。另外，在基板上制作不同元件時，不同元件的制作過程不一定同步，因此也可能產(chǎn)生對位上的誤差，這類誤差也往往需要被要求在一定的程度之內(nèi)以符合市場的需求。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本發(fā)明提供一種面板裝置，提供量測結(jié)構(gòu)以供正確檢測出對位偏移的程度。
[0004]本發(fā)明提供一種面板裝置的檢測方法，可以確實(shí)檢測出對位偏移是否超出容許范圍。
[0005]本發(fā)明的面板裝置包括一第一基板、一第二基板、一第一量測結(jié)構(gòu)以及一第二量測結(jié)構(gòu)。第二基板與第一基板以面對面方式組立。第一量測結(jié)構(gòu)配置于第一基板與第二基板其中一者上，并具有N個量測開口，其中N為正整數(shù)。第二量測結(jié)構(gòu)配置于第一基板與第二基板其中一者上，并具有N個量測圖案。各量測圖案的面積對應(yīng)地遮蔽住其中一個量測開口。在一選定量測方向上各量測圖案的寬度不小于對應(yīng)的其中一個量測開口的寬度，其中第一量測結(jié)構(gòu)與第二量測結(jié)構(gòu)由不同膜層構(gòu)成。
[0006]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述第i個量測圖案的寬度為Xi，第i個量測開口的寬度Yi，X1-Yi =Wi彡O。第j個量測圖案的寬度為Xj，第j個量測開口的寬度Yj，Xj-Yj =Wj ^ Oo i與j各自為I?N，i不等于j，且Wi不等于Wj。
[0007]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述N個量測圖案的寬度不一致。
[0008]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述N個量測開口的寬度不一致。
[0009]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，各量測圖案與對應(yīng)的其中一個量測開口具有相同形狀卻不同尺寸的輪廓。
[0010]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述輪廓為多邊形，且多邊形的至少一邊落在對應(yīng)的量測圖案的面積內(nèi)。
[0011 ] 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，至少一個量測開口未被對應(yīng)的量測圖案完全遮蔽而形成一間隙。
[0012]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，第一量測結(jié)構(gòu)與第二量測結(jié)構(gòu)分別位于第一基板與第二基板上。
[0013]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，各量測圖案的寬度大于對應(yīng)的其中一個量測開口的寬度而與第一量測結(jié)構(gòu)重疊以形成一重疊面積。各量測圖案具有一標(biāo)記。不同量測圖案構(gòu)成的重疊面積彼此不同而且不同量測圖案的標(biāo)記彼此不同。
[0014]本發(fā)明的一種面板裝置的檢測方法，包括判斷上述面板中置中是否有量測開口未被對應(yīng)的量測圖案的面積完全遮蔽而形成一間隙，若是，則表示面板裝置存在一制程對位偏移。
[0015]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，第i個量測圖案的寬度為Xi，第i個量測開口的寬度Yi，X1-Yi = Wi彡0，而第j個量測圖案的寬度為Xj，第j個量測開口的寬度Yj，Xj-Yj =Wj彡0，i與j各自為I?N，j不等于i，且Wj不等于Wi。第i個量測開口未被第i個量測圖案填滿，第j個量測開口被第j個量測圖案填滿，則第一基板與第二基板在選定量測方向上的制程對位偏移為(Wi)/2至(Wj)/2。
[0016]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，各量測圖案的寬度大于對應(yīng)的其中一個量測開口的寬度而與第一量測結(jié)構(gòu)重疊以形成一重疊面積，而且不同量測圖案構(gòu)成的該些重疊面積彼此。不同面板裝置的各量測圖案具有一標(biāo)記，不同量測圖案的標(biāo)記彼此不同。面板裝置的該檢測方法包括依據(jù)間隙所對應(yīng)的量測圖案上的標(biāo)記來判斷制程對位偏移的程度。
[0017]基于上述，本發(fā)明實(shí)施例的面板裝置中具有由不同膜層構(gòu)成的第一量測結(jié)構(gòu)與第二量測結(jié)構(gòu)，其中第一量測結(jié)構(gòu)的量測開口分別對應(yīng)于第二量結(jié)構(gòu)的量測圖案且各量測圖案的尺寸不小于對應(yīng)的量測開口的尺寸。如此一來，第一量測結(jié)構(gòu)與第二量測結(jié)構(gòu)可以用來準(zhǔn)確的判斷面板裝置是否存在制程對位偏移。
[0018]以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述，但不作為對本發(fā)明的限定。
【附圖說明】
[0019]圖1A為本發(fā)明一實(shí)施例的面板裝置的局部上視示意圖。
[0020]圖1B為圖1A的面板裝置沿剖線1-1的剖面示意圖。
[0021]圖1C與圖1D表示在組立過程中發(fā)生制程誤差的面板裝置的示意圖。
[0022]圖2A為本發(fā)明一實(shí)施例的面板裝置的其中一組檢測對的上視示意圖。
[0023]圖2B為圖2A的剖線I1-1I的剖面示意圖。
[0024]圖3A為圖2A的面板裝置存在對位偏移時其中一組檢測對的上視示意圖。
[0025]圖3B為圖3A的剖線II1-1II的剖面示意圖。
[0026]圖4A為圖2A的面板裝置存在對位偏移時其中一組檢測對的上視示意圖。
[0027]圖4B為圖4A的剖線IV-1V的剖面示意圖。
[0028]圖5A為本發(fā)明另一實(shí)施例的面板裝置的局部上視示意圖。
[0029]圖5B為圖5A的剖線V-V的剖面示意圖。
[0030]圖5C為在制作過程中發(fā)生制程誤差的面板裝置的示意圖。
[0031]圖為圖5C的剖線V-V的剖面示意圖。
[0032]圖6A為本發(fā)明一實(shí)施例的面板裝置的局部上視示意圖。
[0033]圖6B為圖6A的面板裝置沿剖線V1-VI的剖面示意圖。
[0034]圖7A為本發(fā)明一實(shí)施例的面板裝置中第一量測結(jié)構(gòu)與第二量測結(jié)構(gòu)的上視示意圖。
[0035]圖7B為圖7A中區(qū)域E內(nèi)的量測圖案542的局部放大示意圖。
[0036]圖8A為一實(shí)施例的面板裝置的第一基板的上視示意圖。
[0037]圖SB為一實(shí)施例的面板裝置的第二基板的上視示意圖。
[0038]圖8C為圖8A與圖8B的兩個基板組立成面板裝置之后，沿剖線VI1-VII的剖面示意圖。
[0039]圖8D為圖8A與圖8B的兩個基板組立之后，沿剖線VII1-VIII的剖面示意圖。
[0040]其中，附圖標(biāo)記
[0041]100、100’、200、300、300’、400、800:面板裝置
[0042]110、210、310、410:第一基板
[0043]120、220、320、420:第二基板
[0044]130、230、330、430、530:第一量測結(jié)構(gòu)
[0045]132、1321、132j、232、332、3321、332j、432、4321、432j、532:量測開口
[0046]140、240、340、440、540:第二量測結(jié)構(gòu)
[0047]142、1421、142j、242、242A、342、3421、342j、442、4421、442j、542:量測圖案
[0048]542A:標(biāo)記
[0049]810:第一功能層
[0050]812:遮光矩陣
[0051]820:第二功能層
[0052]822:信號屏蔽線
[0053]824、G、G1、G2:間隙
[0054]A:重疊面積
[0055]A1、Aj:重疊寬度
[0056]Dl:方向
[0057]DL:信號線
[0058]E:區(qū)域
[0059]F1、F2、R:距離
[0060]1-1、11-11、II1-1I1、IV-1V、V-V、V1-V1、VI1-VI1、VII1-VII1:剖線
[0061]PE:畫素電極
[0062]S1:第一側(cè)
[0063]S2:第二側(cè)
[0064]X1、Xj、Y1、Yj:寬度
【具體實(shí)施方式】
[0065]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)的描述，以更進(jìn)一步了解本發(fā)明的目的、方案及功效，但并非作為本發(fā)明所附權(quán)利要求保護(hù)范圍的限制。
[0066]圖1A為本發(fā)明一實(shí)施例的面板裝置的局部上視示意圖，而圖1B為圖1A的面板裝置沿剖線1-1的剖面示意圖。請同時參照圖1A與圖1B，面板裝置100包括第一基