[0055]卷繞成螺旋形狀的燈絲2112安置在燈體2111中。銅線、鎢線、鎳鉻合金線和碳中的一個用作燈絲2112。燈式加熱器2110使用電流流過燈絲2112時產(chǎn)生的光。而并且，燈式加熱器2110使用電流流過燈絲2112時產(chǎn)生的熱。
[0056]通過調(diào)整每區(qū)域的燈絲2112的卷繞數(shù)目來調(diào)整燈式加熱器2110的輻射熱的量。這是因為輻射量與燈絲2112的卷繞數(shù)目成比例。即，隨著每區(qū)域的燈絲2112的卷繞數(shù)目增大，輻射量增大。參考圖2，具有直線形狀的燈式加熱器2110連續(xù)地排列以形成具有板形狀的熱源。
[0057]當(dāng)由具有板形狀的熱源的燈式加熱器2110提供的輻射熱的量均一時，熱源的中心區(qū)處的輻射熱的量顯著大于其邊緣區(qū)處的輻射熱的量。因此，當(dāng)襯底10經(jīng)過具有板形狀的熱源時，襯底10的外表面的溫度可能不均勻。此時，因為襯底10在移動，襯底10的相對于垂直于襯底10的移動方向的線的左區(qū)和右區(qū)被加熱到的溫度可能類似于襯底10的中心區(qū)被加熱到的溫度。然而，襯底10的相對于襯底10的移動方向(移動方向線)的左邊緣區(qū)和右邊緣區(qū)的溫度可能相對較低。
[0058]因而，可通過調(diào)整燈體2111的延伸方向上的燈絲2112的卷繞數(shù)目來解決這些問題。即，參考圖5，燈體2111劃分成中心區(qū)段以及安置在中心區(qū)段兩側(cè)的第一和第二邊緣區(qū)段。第一和第二邊緣區(qū)段中每區(qū)域的燈絲2112的卷繞數(shù)目大于中心區(qū)段中每區(qū)域的燈絲2112的卷繞數(shù)目。因此，燈式加熱器2110的邊緣區(qū)中的輻射熱的量大于燈式加熱器2110的中心區(qū)中的輻射熱的量。此外，當(dāng)燈絲2112不彼此重疊時，第一和第二邊緣區(qū)段中的燈絲2112中的相鄰者之間的距離可小于中心區(qū)段中的相鄰燈絲2112之間的距離。
[0059]參考圖5，當(dāng)燈體2111的全長LI為100時，中心區(qū)段可具有范圍在全長LI的約20%到60%的長度L2，并且第一和第二邊緣區(qū)段中的每一個可具有范圍在全長LI的約20%到40%的長度。中心區(qū)段可具有關(guān)于燈體2111的中心兩側(cè)對稱的長度。舉例來說，當(dāng)中心區(qū)段的長度為約40%時，相對于燈體2111的中心的長度的左部分和右部分中的每一個可為約20%。如果中心區(qū)段的長度L2小于約20%，那么燈式加熱器2110的中心區(qū)中的輻射熱的量可能并不減小。如果中心區(qū)段的長度L2大于約60%，那么燈式加熱器2110的邊緣區(qū)中的輻射熱的量可能并不增大。
[0060]中心區(qū)段以及第一和第二邊緣區(qū)段中燈絲2112的卷繞數(shù)目可取決于中心區(qū)段以及第一和第二邊緣區(qū)段的長度而變化。當(dāng)中心區(qū)段中的燈絲2112的卷繞數(shù)目為100時，第一和第二邊緣區(qū)段中的每一個中的燈絲2112的卷繞數(shù)目的范圍可為中心區(qū)段中的燈絲2112的卷繞數(shù)目的約120 %到250 %?；蛘撸谝缓偷诙吘墔^(qū)段中的每一個中的燈絲2112的卷繞數(shù)目的范圍可為中心區(qū)段中的燈絲2112的卷繞數(shù)目的約140%到210%。
[0061]如果第一和第二邊緣區(qū)段中的每一個中的燈絲2112的卷繞數(shù)目小于約120%或140%，那么在燈式加熱器2110的中心區(qū)與邊緣區(qū)的輻射熱的量之間沒有差異。如果第一和第二邊緣區(qū)段中的每一個中的燈絲2112的卷繞數(shù)目大于約210%或250%，那么燈式加熱器2110的中心區(qū)的溫度可能低。即，如同圖5中所說明的溫度分布線(圖5的線A)，通過如上文所描述而調(diào)整燈絲2112的卷繞數(shù)目，可減小燈式加熱器2110的中心區(qū)的輻射熱的量，可增大燈式加熱器2110的邊緣區(qū)的輻射熱的量。
[0062]因此，由具有板形狀(其由垂直于襯底10的移動方向線的燈式加熱器2110構(gòu)成)的熱源加熱的襯底10可具有均一的加熱溫度分布。熱源(燈式加熱器2110)與襯底10之間的距離范圍可為約5mm到15厘米。如上文所描述，從燈式加熱器2110發(fā)出的輻射熱加熱在燈式加熱器2110上方移動的襯底10。此時，燈式加熱器2110中的每一個的中心區(qū)的輻射熱的量小于其邊緣區(qū)的輻射熱的量，由此補(bǔ)償襯底10的相對于襯底10的移動方向線的左邊緣區(qū)和右邊緣區(qū)中的熱損失。此外，可防止熱集中于中心區(qū)中。因此，移動的襯底10得以均勻受熱。
[0063]燈式加熱器2110不限于以上描述，并且因而可以各種方式加以修改。
[0064]即，參考圖6，根據(jù)當(dāng)前實(shí)施例的變化，可調(diào)整燈式加熱器2110中的燈絲2112的卷繞數(shù)目，使得燈式加熱器2110的輻射熱的量從燈式加熱器2110的中心區(qū)到其邊緣區(qū)增大。即，每區(qū)域的燈絲2112的卷繞數(shù)目可從燈體2111的中心到其邊緣區(qū)增大。在此情況下，燈式加熱器2110的邊緣區(qū)的輻射熱的最大量可比其中心區(qū)的輻射熱的最小量大1.3到2倍。
[0065]參考圖7，根據(jù)當(dāng)前實(shí)施例的變化，具有最小輻射熱量的區(qū)段可位于燈式加熱器2110的中心區(qū)中，并且具有最大輻射熱量的區(qū)段可位于燈式加熱器2110的邊緣區(qū)中，并且輻射熱量逐漸變化的區(qū)段可位于燈式加熱器2110的中心區(qū)與邊緣區(qū)之間。
[0066]燈式加熱器2110可包含具有棒桿形狀的固定軸桿2117，并且燈絲2112繞著固定軸桿2117的外表面卷繞成螺旋形狀。另外，燈式加熱器2110可包含充當(dāng)?shù)谝缓偷诙糁尾糠?115以及第一電極部分2113和第二電極部分2114的第一燈固持器2118a和第二燈固持器2118b (2118)。因此，第一燈固持器2118a和第二燈固持器2118b密封燈體2111，如圖7中所示。此外，第一燈固持器2118a和第二燈固持器2118b將固定軸桿2117固定在燈體2111中，并且將電力供應(yīng)到燈絲2112。第一燈固持器2118a和第二燈固持器2118b連接到第一燈插座2116a和第二燈插座2116b。
[0067]根據(jù)輻射熱的量，固定軸桿2117劃分成具有最小輻射熱量的中心區(qū)段、具有最大輻射熱量的第一和第二邊緣區(qū)段，以及具有輻射熱量變化的第一和第二變化區(qū)段。中心區(qū)段相對于固定軸桿2117的中心點(diǎn)的左區(qū)與右區(qū)相同。第一變化區(qū)段和第二變化區(qū)段分別安置在中心區(qū)段的左側(cè)和右側(cè)處。第一和第二邊緣區(qū)段緊挨著第一和第二變化區(qū)段而安置。
[0068]當(dāng)固定軸桿2117的全長Ml為100時，中心區(qū)可具有范圍在全長Ml的約20%到50%的長度。第一和第二邊緣區(qū)段中的每一個可具有范圍在全長Ml的約5%到20%的長度。第一和第二變化區(qū)段中的每一個可具有范圍在全長Ml的約5%到20%的長度。第一和第二邊緣區(qū)段中每區(qū)域的燈絲2112的卷繞數(shù)目可比中心區(qū)段中每區(qū)域的燈絲2112的卷繞數(shù)目大1.2到2.5倍。因此，如上文所描述，燈式加熱器2110的中心區(qū)可具有最小輻射熱量，并且燈式加熱器2110的邊緣區(qū)可具有最大輻射熱量。
[0069]參考圖8(a)和圖8(b)，根據(jù)當(dāng)前實(shí)施例的變化，燈式加熱器2110的燈體2111可制造成密封棒桿形狀，并且多個燈絲固定部分2119可支撐燈絲2112并且將燈絲2112固定于燈體2111中。連接到燈絲2112的第一電極部分2113和第二電極部分2114安置在燈體2111的兩端處。燈絲固定部分2119防止燈體2111中的燈絲2112下垂。
[0070]參考圖8(a)，燈絲固定部分2119以規(guī)則間隔在燈體2111中排列。燈絲2112在燈絲固定部分2119之間的空間中卷繞成螺旋形狀。凹部可安置在燈絲固定部分2119中以連接燈絲2112的相鄰部分之間的燈絲固定部分2119。參考圖8(a)，根據(jù)當(dāng)前實(shí)施例的變化，燈體2111的兩個邊緣區(qū)中的燈絲固定部分2119之間的區(qū)中的燈絲2112的卷繞數(shù)目可大于燈體2111的中心區(qū)中的燈絲固定部分2119之間的區(qū)中的燈絲2112的卷繞數(shù)目。因此，燈式加熱器2110的邊緣區(qū)中的輻射熱的量可大于燈式加熱器2110的中心區(qū)中的輻射熱的量。燈絲固定部分2119之間的燈絲2112的卷繞數(shù)目中的每一個可根據(jù)對應(yīng)區(qū)而恒定，如上文所描述。燈絲2112的卷繞數(shù)目可根據(jù)燈絲固定部分2119之間的空間而改變。
[0071]參考圖8(b)，燈絲固定部分2119可以不規(guī)則間隔排列。S卩，燈體2111的兩個邊緣區(qū)中的燈絲固定部分2119之間的距離可小于燈體2111的中心區(qū)中的燈絲固定部分2119之間的距離。舉例來說,燈體2111的中心區(qū)中的燈絲固定部分2119之間的距離可比燈體2111的兩個邊緣區(qū)中的燈絲固定部分2119之間的距離大約1.5到3倍。如果燈體2111的中心區(qū)中的燈絲固定部分2119之間的距離超過所述范圍，那么燈絲2112可能在燈體2111的中心區(qū)中下垂。燈體2111的邊緣區(qū)中的燈絲2112的卷繞數(shù)目可大于燈體2111的中心區(qū)中的燈絲2112的卷繞數(shù)目。即，燈絲固定部分2119之間的燈絲2112的卷繞數(shù)目可相同，如圖8(b)中所示。因此，燈體2111的邊緣區(qū)中每區(qū)域的燈絲2112的卷繞數(shù)目可比燈體2111的中心區(qū)中每區(qū)域的燈絲2112的卷繞數(shù)目大約1.5到3倍。因而，燈式加熱器的邊緣區(qū)中的輻射熱的量可大于燈式加熱器的中心區(qū)中的輻射熱的量。
[0072]參考圖9，燈式加熱器2110經(jīng)排列以垂直于移動方向線，由此形成具有板形狀的熱源。安置在熱源的兩個邊緣處的兩個燈式加熱器2110中每區(qū)域的燈絲2112的卷繞數(shù)目可相同。除了所述兩個燈式加熱器2110之外的所有燈式加熱器2110的卷繞數(shù)目可沿著其延伸長度而改變，如上文所描述。因此，加熱過程的初始階段中移動襯底的外表面的溫度偏差減小。
[0073]電力供應(yīng)部分2150包含:輸出傳遞部分(output