一種束流檢測及分析裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件制造控制系統(tǒng)，即注入機，特別地，涉及一種用于離子注入機束流檢測及分析裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，束流的精確檢測及分析對于離子注入系統(tǒng)愈發(fā)重要，對注入產(chǎn)品的質(zhì)量和離子注入機的產(chǎn)業(yè)化有著很大的影響。如果離子注入機引出束流能量很低時，特別是大束流、傳輸路徑長的場合，由于空間電荷效應(yīng)的影響，離子束發(fā)散嚴(yán)重，其傳輸效率極低，使得最后到達注入晶片的束流小，束品質(zhì)差，不能滿足注入工藝要求；束流的精確檢測及分析的控制對于超低能大束流離子束的傳輸有著特殊的意義。
[0003]束流檢測的精準(zhǔn)度是最終得到高品質(zhì)產(chǎn)品的基礎(chǔ)，目前對于離子源引出束流測量和分析要求已成為產(chǎn)業(yè)發(fā)展的迫切需求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明公開了一種束流檢測及分析裝置，可用于離子注入機系統(tǒng)；其針對現(xiàn)有束流檢測、分析、獲得精準(zhǔn)束流值，即使對于超低能束流的傳輸、引出電極或傳輸裝置位置有所偏離、傳輸路徑過長的情況所產(chǎn)生的束流精準(zhǔn)測量及分析問題，都能夠很好的解決，而不會對最終離子注入的產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生影響。
[0005]本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實現(xiàn):
[0006]1.一種束流檢測及分析裝置，包括:法拉第傳動機構(gòu)⑴、接束法拉第杯(2)、光欄運動機構(gòu)(3)、分析光欄(4)、水冷卻模塊(5)，其特征在于:調(diào)節(jié)裝置上下對稱布置在束流通道⑴兩側(cè)。
[0007]2.如權(quán)利要求1所述的一種束流均勻性調(diào)節(jié)裝置，法拉第傳動機構(gòu)(I)包括一個氣缸及一個真空焊接波紋管，保證其平穩(wěn)的運行。
[0008]3.如權(quán)利要求1所述的一種束流檢測及分析裝置，接束法拉第杯(2)中裝置永久磁體，其特征在于保障接束法拉第杯(2)在檢測到束流精確值的同時還能起到對束流的聚焦作用。
[0009]4.如權(quán)利要求1所述的一種束流檢測及分析裝置，光欄運動機構(gòu)(3)由一電機及兩個傳動塊組成，其特征在于可控制光欄雙向運動的距離大小。
[0010]5.如權(quán)利要求1所述的一種束流檢測及分析裝置，分析光欄(4)能限制束流的寬度，起到分析束流的作用，其特征在于:分析光欄(4)可雙向同時等距離調(diào)節(jié)光欄的寬度。
[0011]6.如權(quán)利要求1所述的一種束流檢測及分析裝置，其特征在于:水冷卻模塊(5)可通過外圍供水來轉(zhuǎn)換到此束流檢測及分析裝置上，保障其裝置的冷卻及穩(wěn)定性。
[0012]本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點:
[0013]1.結(jié)構(gòu)簡單，易于加工制造。
[0014]2.功能可靠，穩(wěn)定性好。
[0015]3.易于控制，不需經(jīng)常維護和更換。
【附圖說明】
[0016]圖1檢測及分析裝置總結(jié)構(gòu)圖
[0017]圖2分析光欄及運動機構(gòu)結(jié)構(gòu)圖
[0018]圖3法拉第接束杯及傳動機構(gòu)結(jié)構(gòu)圖
【具體實施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖1、附圖2和附圖3對本發(fā)明作進一步的介紹，但不作為對本發(fā)明的限定。
[0020]參見圖1、圖2和圖3，一種束流均勻性調(diào)節(jié)裝置分四部分，法拉第傳動機構(gòu)(I)、接束法拉第杯(2)、光欄運動機構(gòu)(3)、分析光欄(4)、水冷卻模塊(5)。其中法拉第傳動機構(gòu)
(I)負(fù)責(zé)接束法拉第杯(2)的平穩(wěn)運動。
[0021]光欄運動機構(gòu)(3)來負(fù)責(zé)調(diào)節(jié)分析光欄(4)雙向運動的距離大小。水冷卻模塊
(5)來冷卻整個系統(tǒng)在接束時的溫度。
[0022]在該實施方式中，法拉第傳動機構(gòu)(I)由一個氣缸和一個真空焊接波紋管主要部件構(gòu)成，氣缸為驅(qū)動部件，來驅(qū)動真空焊接波紋管，真空焊接波紋管帶動接束法拉第杯(2)進行運動，采用真空焊接波紋管是為了更好地保障接束法拉第杯(2)在真空中的平穩(wěn)運動。
[0023]在該實施方式中，光欄運動機構(gòu)(3)由一個電機和兩個傳動塊組成，電機運轉(zhuǎn)經(jīng)由傳動塊帶動分析光欄(4)雙向運動，在傳動塊上安裝位置傳感器來保障分析光欄(4)雙向運動位置的精確性。
[0024]在該實施方式中，接束法拉第杯(2)中帶有永久磁鐵，磁鐵兩端對稱安裝，在保障接束法拉第杯(2)能接到束流進行精確測量的同時，還起到對數(shù)流的聚焦作用。
[0025]在該實施方式中，對短電極(7)和長電極⑶起到安裝定位作用的電極腔體(2)、電極蓋板(3)的形式可替代的，能起到定位的作用即可。
[0026]在該實施方式中，分析光欄(4)可雙方向調(diào)節(jié)，并且可通過位置傳感器進行運動位置的計算，起到了對通過束流的限制和分析作用。
[0027]本發(fā)明專利的特定實施例已對本發(fā)明專利的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明專利精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
【主權(quán)項】
1.一種束流檢測及分析裝置，包括:法拉第傳動機構(gòu)(I)、接束法拉第杯(2)、光欄運動機構(gòu)(3)、分析光欄(4)、水冷卻模塊(5)，其特征在于:調(diào)節(jié)裝置上下對稱布置在束流通道(I)兩側(cè)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種束流均勻性調(diào)節(jié)裝置，法拉第傳動機構(gòu)(I)包括一個氣缸及一個真空焊接波紋管，保證其平穩(wěn)的運行。
3.如權(quán)利要求1所述的一種束流檢測及分析裝置，接束法拉第杯(2)中裝置永久磁體，其特征在于保障接束法拉第杯(2)在檢測到束流精確值的同時還能起到對束流的聚焦作用。
4.如權(quán)利要求1所述的一種束流檢測及分析裝置，光欄運動機構(gòu)(3)由一電機及兩個傳動塊組成，其特征在于可控制光欄雙向運動的距離大小。
5.如權(quán)利要求1所述的一種束流檢測及分析裝置，分析光欄(4)能限制束流的寬度，起到分析束流的作用，其特征在于:分析光欄(4)可雙向同時等距離調(diào)節(jié)光欄的寬度。
6.如權(quán)利要求1所述的一種束流檢測及分析裝置，其特征在于:水冷卻模塊(5)可通過外圍供水來轉(zhuǎn)換到此束流檢測及分析裝置上，保障其裝置的冷卻及穩(wěn)定性。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種束流檢測及分析裝置，包括：法拉第傳動機構(gòu)(1)、接束法拉第杯(2)、光欄運動機構(gòu)(3)、分析光欄(4)、水冷卻模塊(5)，其中法拉第傳動機構(gòu)(1)負(fù)責(zé)接束法拉第杯(2)的快速平緩運動；光欄運動機構(gòu)(3)引導(dǎo)分析光欄(4)的雙方向等距運動；水冷卻模塊(5)冷卻整個流檢測及分析裝置。本發(fā)明涉及離子注入裝置，隸屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。
【IPC分類】H01J37-244
【公開號】CN104576272
【申請?zhí)枴緾N201310507655
【發(fā)明人】李幸夫
【申請人】北京中科信電子裝備有限公司
【公開日】2015年4月29日
【申請日】2013年10月24日