專利名稱：具有npnm結(jié)構(gòu)的光敏晶閘管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種新穎的光敏器件，特別是一種結(jié)構(gòu)為NPNM的光敏晶閘管。
現(xiàn)有的光敏晶閘管，都是采用NPNP結(jié)構(gòu)的。但是，實踐和理論都已證明，采用NPNM結(jié)構(gòu)(M表示金屬)，也可以制成晶閘管。本實用新型的任務是制造NPNM結(jié)構(gòu)的光敏晶閘管。
本實用新型的任務是以下述方式完成的。采用具有較高電阻率的N型硅單晶，在拋光面上用平面工藝制造一個光敏三極管，在蒸鋁和光刻鋁后磨去底面的一層，露出原始襯底N型材料，然后使之與金屬良好接觸，即制成NPNM結(jié)構(gòu)。把管芯用有透光窗口的封裝元件封裝起來，就得到一個NPNM結(jié)構(gòu)的光敏晶閘管。
用這一方法制造光敏晶閘管，具有簡便易行，成品率高、工時短等優(yōu)點。
附

圖1是NPNM光敏晶閘管管芯結(jié)構(gòu)剖面圖。
實施例。用電阻率高于5歐姆·厘米的N型硅單晶，用平面工藝制造NPN光敏三極管，管芯制成后磨去底面一層，露出原始N型硅，用真空蒸發(fā)法在該面蒸金，合金化，即成NPNM光敏晶閘管管芯。
權(quán)利要求1.一種光敏晶閘管，其特征在于具有NPNM結(jié)構(gòu)；
2.一種光敏晶閘管，其特征在于，所用硅材料的電阻率高于5歐姆·厘米。
專利摘要本實用新型公開了一種光敏器件，特別是具有NPNM結(jié)構(gòu)的光敏晶閘管，它具有生產(chǎn)簡易，成品率高，工時短等優(yōu)點。
文檔編號H01L31/11GK2063695SQ9020253
公開日1990年10月10日 申請日期1990年3月10日 優(yōu)先權(quán)日1990年3月10日
發(fā)明者張君和 申請人:武漢大學