技術(shù)特征：

1.一種可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述固定框架(1)包括，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述左側(cè)驅(qū)動機(jī)構(gòu)(205)包括，

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述右側(cè)驅(qū)動機(jī)構(gòu)(206)包括，

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一晶圓夾齒(203)縱向排列在所述左側(cè)夾齒固定板(201)和右側(cè)夾齒固定板(202)的后側(cè)，所述第二晶圓夾齒(204)縱向排列在所述左側(cè)夾齒固定板(201)和右側(cè)夾齒固定板(202)的前側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一晶圓夾齒(203)和所述第二晶圓夾齒(204)均為樹脂材料，所述第一晶圓夾齒(203)和所述第二晶圓夾齒(204)的開口呈“v”字形設(shè)置，所述第一晶圓夾齒(203)和所述第二晶圓夾齒(204)在高度方向存在設(shè)定的高度差。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(304)包括，

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(304)還包括，

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括，

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括，

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及晶圓傳輸技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)。包括，固定框架；夾持裝置，設(shè)于固定框架上，包括，左側(cè)夾齒固定板和右側(cè)夾齒固定板，可沿一旋轉(zhuǎn)軸的軸線方向相互靠近或遠(yuǎn)離運(yùn)動地設(shè)于固定框架的架體間，左側(cè)夾齒固定板和右側(cè)夾齒固定板相對的一側(cè)上均設(shè)有臟晶圓夾齒和干凈晶圓夾齒；翻轉(zhuǎn)裝置，設(shè)于固定框架上；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，設(shè)于固定框架的右側(cè)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的輸出端伸入固定框架的架體內(nèi)連接右側(cè)翻轉(zhuǎn)板，用于驅(qū)動右側(cè)翻轉(zhuǎn)板轉(zhuǎn)動。本技術(shù)實(shí)現(xiàn)了清洗前的臟晶圓和清洗后的干凈晶圓的分開夾持和翻轉(zhuǎn)，避免清洗前的臟晶圓遺留在夾齒上的污染物對清洗后的干凈晶圓產(chǎn)生影響。

技術(shù)研發(fā)人員：施欽天,屠國強(qiáng),徐銘,劉志鵬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：至微半導(dǎo)體（上海）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240415
技術(shù)公布日：2025/1/2