技術(shù)特征：

1.用于離子注入機的引出抑制機構(gòu)，包括主支架，主支架用于提供支撐和安裝空間，其特征在于，還包括，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于離子注入機的引出抑制機構(gòu)，其特征在于，x軸傳動單元包括，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于離子注入機的引出抑制機構(gòu)，其特征在于，抑制極單元包括，

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于離子注入機的引出抑制機構(gòu)，其特征在于，y軸傳動單元包括，

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于離子注入機的引出抑制機構(gòu)，其特征在于，z軸傳動單元包括，

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于離子注入機的引出抑制機構(gòu)，其特征在于，偏轉(zhuǎn)軸傳動單元，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了用于離子注入機的引出抑制機構(gòu)，包括主支架；X軸傳動單元，X軸傳動單元與抑制極單元連接；Y軸傳動單元，Y軸傳動單元的驅(qū)動端與X軸傳動單元連接，Y軸傳動單元用于驅(qū)動X軸傳動單元沿著Y軸向移動；Z軸傳動單元，Z軸傳動單元的驅(qū)動端與X軸傳動單元連接，Z軸傳動單元用于驅(qū)動X軸傳動單元沿著Z軸向移動；偏轉(zhuǎn)軸傳動單元，偏轉(zhuǎn)軸傳動單元設(shè)置在主支架上，偏轉(zhuǎn)軸傳動單元的驅(qū)動端與X軸傳動單元連接，偏轉(zhuǎn)軸傳動單元用于驅(qū)動X軸傳動單元偏轉(zhuǎn)。本發(fā)明通過在現(xiàn)有的三軸傳動機構(gòu)上增加偏轉(zhuǎn)軸傳動單元，實現(xiàn)了對離子束的三維空間精確控制，這種高精度控制確保了離子束能夠準確地到達目標位置。

技術(shù)研發(fā)人員：彭強祥,龔樹智,劉仁杰,劉青隆
受保護的技術(shù)使用者：浙江中科尚弘離子裝備工程有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9