本發(fā)明涉及離子注入機領域，尤其涉及到用于離子注入機的引出抑制機構。

背景技術：

1、離子注入機是半導體元件制造領域常見的設備之一，其主要作用是將摻雜離子通過各種電、磁器件操縱，最終植入到襯底材料上，實現(xiàn)材料改性。隨著科學技術的日益發(fā)展，離子植入在半導體領域的重要性愈加凸顯，注入離子的能量、摻雜劑種類、摻雜深度、注入角度等要求更加精確，離子植入各元件的設計要求也成為更大的挑戰(zhàn)。

2、現(xiàn)有技術中，申請?zhí)枺篶n202310906582.9的專利文件公開了一種隨引出電極聯(lián)動的束流屏蔽裝置及離子注入機，裝置包括：與引出抑制電極和束流屏蔽組件連接的電極連接軸，電極連接軸通過滾珠絲桿與第二帶輪組連接，在驅動電機的驅動下，引出抑制電極沿軸向伸縮；凸輪通過偏轉組件與電極連接軸連接，第二伺服電機驅動凸輪帶動偏轉組件轉動，電極連接軸帶動引出抑制電極旋轉；安裝平臺中心設有通孔，通孔兩側對稱設有導軌組，導軌組與套筒座連接，第一帶輪組和第二帶輪組均設置在套筒座上，導軌組通過滾珠絲杠和第三帶輪組與第一伺服電機連接，第一伺服電機驅動帶輪組帶動滾珠絲杠運行，導軌組帶動套筒座實現(xiàn)引出抑制電極水平移動。

3、離子注入工藝需要精確控制離子的能量、劑量、注入角度等參數(shù)，以確保獲得所需的摻雜濃度和分布，但是現(xiàn)有的離子注入機僅通過三軸傳動機構來驅動，無法進行精確的偏轉控制，進而導致引束效率低、離子源束流發(fā)散、離子源易短路等問題。

4、因此，我們有必要對這樣一種結構進行改善，以克服上述缺陷。

技術實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的是提供用于離子注入機的引出抑制機構，用于解決現(xiàn)有的離子注入機缺少抑制極調節(jié)結構，無法進行精確的偏轉控制，導致?lián)诫s不均勻、深度不準確或分布不精確等問題。

2、本發(fā)明的上述技術目的是用過以下技術方案實現(xiàn)的：

3、用于離子注入機的引出抑制機構，包括主支架，主支架用于提供支撐和安裝空間，還包括，

4、x軸傳動單元，x軸傳動單元設置在主支架上，x軸傳動單元與抑制極單元連接；

5、y軸傳動單元，y軸傳動單元設置在主支架上，y軸傳動單元的驅動端與x軸傳動單元連接，y軸傳動單元用于驅動x軸傳動單元沿著y軸向移動；

6、z軸傳動單元，z軸傳動單元設置在主支架上，z軸傳動單元用于驅動x軸傳動單元沿著z軸向移動；

7、偏轉軸傳動單元，偏轉軸傳動單元設置在主支架上，偏轉軸傳動單元的驅動端與x軸傳動單元連接，偏轉軸傳動單元用于驅動x軸傳動單元偏轉，

8、主支架包括支撐板，支撐板上具有安裝空間；

9、抑制電極一，抑制電極一設置在支撐板上，抑制電極一用于抑制離子注入機的電流束，防止電流束發(fā)散；

10、支柱，支柱的第一端與支撐板連接，支柱的第二端上套設有主軸滑架板，主軸滑架板能沿著主軸的軸向移動，主軸滑架板用于為x軸傳動單元提供安裝空間，x軸傳動單元的第一端穿設在主軸滑架板上；

11、突出法蘭，突出法蘭通過設置在支撐板上，突出法蘭上開設有用于供x軸傳動單元端部穿過的通孔，x軸傳動單元的另一端穿過通孔與抑制極單元連接；

12、y向限位板，y向限位板安裝在主軸滑架板上，y向限位板用于對主軸滑架板起到限位作用，y軸傳動單元通過y向限位板設置在主支架上，y軸傳動單元通過y向限位板帶動主軸滑架板移動，并帶動設置在主軸滑架板上的x軸傳動單元同步移動；

13、z軸傳動單元通過y向限位板設置在主支架上，z軸傳動單元的驅動端通過y向限位板驅動x軸傳動單元沿著z軸向移動；

14、航空插頭，航空插頭集成設置在支撐板上，航空插座用于提供電源接口。

15、本發(fā)明的進一步設置為：x軸傳動單元包括，

16、主軸承座，軸承座的第一端上設置有主軸，主軸的第一端與主軸承座連接，主軸的第二端上設置有抑制接頭，x軸傳動單元通過抑制接頭與抑制極單元連接；

17、密封波紋管，密封波紋管套設在主軸上，密封波紋管位于軸承座和抑制接頭之間；

18、聯(lián)軸器一，聯(lián)軸器一安裝在主軸承座的第二端上，z軸連動架通過聯(lián)軸器一與主軸承座連接，z軸連動架上安裝有z軸限位桿，x軸傳動單元通過z軸限位桿與z軸傳動單元連接，z軸限位桿用于起限位作用，z軸傳動單元通過z軸限位桿驅動x軸傳動單元移動；

19、偏轉套，偏轉套安裝在主軸承座上，偏轉套上開設有定位孔；

20、偏轉調節(jié)桿，偏轉調節(jié)桿通過定位孔穿設在偏轉套上。

21、本發(fā)明的進一步設置為：抑制極單元包括，

22、抑制座，抑制座上具有安裝空間，抑制座上安裝有抑制電極二，抑制座上開設有安裝孔一；

23、雜流擋板，雜流擋板上開設有與安裝孔一相匹配的安裝孔二，雜流擋板通過安裝孔二與安裝孔一配合并通過連接件鎖定。

24、本發(fā)明的進一步設置為：y軸傳動單元包括，

25、y向連動板，y向連動板上設置有y向聯(lián)軸器；

26、y向軸承座，y向軸承座上用于提供支撐和安裝空間，y向軸承座內設置有傳動軸一，傳動軸一上套設有傳動齒輪一；

27、y向絲桿，y向絲桿的第一端通過y向聯(lián)軸器與y向連動板連接，y向絲桿的第二端安裝在y向軸承座上；

28、驅動電機一，驅動電機一安裝在y向軸承座上，驅動電機一的輸出端上安裝有傳動齒輪二，傳動齒輪二與傳動齒輪一嚙合，驅動電機一通過傳動齒輪一、傳動齒輪二將驅動力傳遞至傳動軸，并帶動y向絲桿轉動。

29、本發(fā)明的進一步設置為：z軸傳動單元包括，

30、z向軸承座，z向軸承座上用于提供支撐和安裝空間，z向軸承座內設置有傳動軸二，傳動軸二上套設有傳動齒輪三；

31、z向絲桿，z向絲桿的第一端安裝在z向軸承座上，z向絲桿的第二端向外延伸設置；

32、驅動電機二，驅動電機二安裝在z向軸承座上，驅動電機二的輸出端上安裝有傳動齒輪四，傳動齒輪四與傳動齒輪三嚙合，驅動電機二通過傳動齒輪三、傳動齒輪四將驅動力傳遞至傳動軸二，并帶動z向絲桿轉動。

33、本發(fā)明的進一步設置為：偏轉軸傳動單元，

34、偏轉支架，偏轉支架上設置有偏轉聯(lián)軸器；

35、偏轉軸承座，偏轉軸承座上用于提供支撐和安裝空間，偏轉軸承座內設置有傳動軸三，傳動軸三上套設有傳動齒輪五；

36、偏轉絲桿，偏轉絲桿的第一端通過偏轉聯(lián)軸器與y向連動板連接，偏轉絲桿的第二端安裝在偏轉軸承座上；

37、驅動電機三，驅動電機三安裝在偏轉軸承座上，驅動電機三的輸出端上安裝有傳動齒輪六，傳動齒輪六與傳動齒輪五嚙合，驅動電機三通過傳動齒輪三、傳動齒輪三將驅動力傳遞至傳動軸三，并帶動偏轉絲桿轉動。

38、綜上所述，本發(fā)明具有以下有益效果：

39、1、偏轉調節(jié)，設置有偏轉軸傳動單元，能根據(jù)離子注入的角度要求，設置偏轉軸傳動單元的偏轉角度，通過驅動電機三驅動x軸傳動單元，進而達到所需的偏轉角度，滿足離子注入對角度控制的需求；

40、2、高精度的三維控制，引出抑制極機構實現(xiàn)了對離子束的三維空間精確控制，這種高精度控制確保了離子束能夠準確地到達目標位置，從而提高了離子注入的精度和效率，能在離子注入過程中，精確控制離子束的位置和角度。