本發(fā)明涉及真空干燥設(shè)備，尤其是指一種基板頂升支撐機(jī)構(gòu)及真空干燥設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、vcd(vacuum?concentrat?ion?dryi?ng)，即真空干燥設(shè)備，具有能夠提供負(fù)壓環(huán)境的真空腔體，通過抽真空的方式降低真空腔體內(nèi)的氣壓，近年來，很多領(lǐng)域都應(yīng)用真空干燥設(shè)備對產(chǎn)品進(jìn)行干燥和固化。

2、為了對真空腔體中的產(chǎn)品進(jìn)行支撐，并帶動產(chǎn)品升降移動，在現(xiàn)有技術(shù)中，一般采用頂升機(jī)構(gòu)與真空腔體配合，即：設(shè)置支撐桿穿設(shè)在真空腔體中，并設(shè)置支撐桿驅(qū)動源與支撐桿連接，采用支撐桿支撐產(chǎn)品，采用支撐桿驅(qū)動源帶動產(chǎn)品升降移動。

3、然而，傳統(tǒng)的vcd設(shè)備的尺寸較小，用于承載待干燥基板的頂升平臺尺寸也較小，因此，升降機(jī)構(gòu)只需要采用一個電缸驅(qū)動平臺升降即可；但是，隨著vcd設(shè)備應(yīng)用的領(lǐng)域越來越多，待干燥基板的面積也越來越大，當(dāng)需要承載大面積的基板的時候，現(xiàn)有的單電機(jī)驅(qū)動的升降機(jī)構(gòu)存在頂升效果差、穩(wěn)定性不好、頂升時容易出現(xiàn)卡頓的問題；

4、并且，隨著待干燥基板的面積不斷增加，需要支撐結(jié)構(gòu)對其進(jìn)行支撐的位置就也隨之增加，現(xiàn)有的支撐結(jié)構(gòu)采用橫桿的支撐方式，當(dāng)橫桿的數(shù)量增多的時候，一方面會遮擋位置傳感器發(fā)射光束，從而影響對基板位置的檢測，另一方面，橫桿增多也就意味著基板上的遮擋面積增多，這樣也會影響基板的干燥效果。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為此，本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于克服現(xiàn)有技術(shù)的頂升機(jī)構(gòu)在大尺寸vcd設(shè)備中不適用的問題，提供一種基板頂升支撐機(jī)構(gòu)，對現(xiàn)有的頂升組件和支撐組件進(jìn)行改進(jìn)，使其能夠應(yīng)用在大尺寸的真空干燥設(shè)備中，實現(xiàn)對基板的點支撐并帶動其穩(wěn)定的升降移動。

2、為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種基板頂升支撐機(jī)構(gòu)，應(yīng)用在真空干燥設(shè)備中，包括：頂升組件和支撐組件，所述支撐組件的一端與所述頂升組件連接，所述支撐組件的另一端部穿設(shè)在所述真空干燥設(shè)備中，所述頂升組件帶動所述支撐組件在所述真空干燥設(shè)備中升降移動，所述支撐組件用于支撐放置在所述真空干燥設(shè)備中的基板；其中：

3、所述頂升組件包括：頂升驅(qū)動源、傳動裝置和頂升臺，所述傳動裝置能夠接收所述頂升驅(qū)動源的動力，并形成多個動力支撐點作用在所述頂升臺上，多個動力支撐點由同一頂升驅(qū)動源控制同步升降支撐所述頂升臺；

4、所述支撐組件包括：多根支撐桿，設(shè)置在所述頂升臺上，多根所述支撐桿的端部穿設(shè)在所述真空干燥設(shè)備中，多根所述支撐桿共同支撐放置在所述真空干燥設(shè)備中的基板，每個所述支撐桿實現(xiàn)對所述基板的點支撐。

5、在本發(fā)明的一個實施例中，所述傳動裝置包括：

6、第一傳動桿，沿第一方向延伸設(shè)置，與所述頂升驅(qū)動源連接，所述頂升驅(qū)動源帶動所述第一傳動桿轉(zhuǎn)動，所述第一傳動桿具有兩個輸出端頭；

7、凸輪傳動結(jié)構(gòu)，在所述第一傳動桿的兩個輸出端頭上均設(shè)置有所述凸輪傳動結(jié)構(gòu)，所述凸輪傳動結(jié)構(gòu)將所述第一傳動桿的軸向轉(zhuǎn)動力轉(zhuǎn)化為線性驅(qū)動力；

8、第二傳動桿，沿第二方向延伸設(shè)置，與所述凸輪傳動結(jié)構(gòu)的輸出端連接，由所述凸輪傳動結(jié)構(gòu)帶動沿第三方向移動，所述第二傳動桿具有兩個支撐端頭，每個所述支撐端頭上均設(shè)置有支撐件；

9、所述第一方向、第二方向和第三方向兩兩垂直延伸。

10、在本發(fā)明的一個實施例中，所述凸輪傳動結(jié)構(gòu)包括：

11、傳動輪，套設(shè)在所述第一傳動桿的兩個輸出端頭上，所述傳動輪能夠隨所述第一傳動桿轉(zhuǎn)動；

12、聯(lián)軸，設(shè)置在所述傳動輪的輪面上，所述聯(lián)軸突出于所述傳動輪；

13、直線軸承，與所述聯(lián)軸連接，所述直線軸承套設(shè)在所述第二傳動桿上，所述直線軸承在所述第二傳動桿上滑動。

14、在本發(fā)明的一個實施例中，所述傳動裝置還包括：支撐架，用于支撐所述傳動輪。

15、在本發(fā)明的一個實施例中，所述傳動裝置還包括：滑軌和滑塊，所述滑軌設(shè)置在所述支撐架上，所述滑塊設(shè)置在所述第二傳動桿的支撐端頭上，所述滑塊能夠在所述滑軌上滑動。

16、在本發(fā)明的一個實施例中，所述頂升組件還包括到導(dǎo)向裝置，所述導(dǎo)向裝置與所述頂升臺連接，所述導(dǎo)向裝置限制所述頂升臺的升降方向。

17、在本發(fā)明的一個實施例中，所述支撐組件還包括：

18、基座，設(shè)置在所述頂升臺上，所述基座用于支撐所述支撐桿；

19、伸縮密封件，套設(shè)在所述支撐桿外，所述伸縮密封件能夠隨支撐桿伸縮改變長度，且所述伸縮密封件的兩端分別與所述真空腔體和所述基座密封連接。

20、在本發(fā)明的一個實施例中，所述支撐桿的端部設(shè)置有支撐所述基板的p?i?n針。

21、為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明還提供了一種真空干燥設(shè)備，包括：上述基板頂升支撐機(jī)構(gòu)，還包括：

22、真空腔室，由上板和下板扣合形成，所述支撐組件的一端從所述下板中穿過，進(jìn)入到所述真空腔室中支撐所述基板在所述真空腔室中移動。

23、在本發(fā)明的一個實施例中，所述上板和下板還設(shè)置有密封圈和調(diào)整墊片，所述密封圈和調(diào)整墊片共同支撐所述上板和下板，所述密封圈的支撐高度高于所述調(diào)整墊片的支撐高度。

24、本發(fā)明的上述技術(shù)方案相比現(xiàn)有技術(shù)具有以下優(yōu)點：

25、本發(fā)明所述的基板頂升支撐機(jī)構(gòu)，應(yīng)用在真空干燥設(shè)備中，采用頂升組件和支撐組件配合對放置在真空干燥設(shè)備中的基板進(jìn)行支撐并帶動其升降移動；相比于現(xiàn)有技術(shù)的頂升機(jī)構(gòu)，本發(fā)明的基板頂升支撐機(jī)構(gòu)更適用于大尺寸的真空干燥設(shè)備，其中：設(shè)置頂升組件包括：頂升驅(qū)動源、傳動裝置和頂升臺，通過傳動裝置將頂升驅(qū)動源的動力分解，將單個動力支撐點分解成多個動力支撐點作用在頂升臺上，保證頂升臺升降的穩(wěn)定性；

26、并且，在本發(fā)明中還設(shè)置支撐組件包括多根支撐桿，通過多根支撐桿分布共同支撐基板，將現(xiàn)有技術(shù)的桿支撐結(jié)構(gòu)變?yōu)辄c支撐結(jié)構(gòu)，在保證支撐強(qiáng)度的同時，不僅能夠避免遮擋傳感器光束，還能夠盡量減少支撐組件與基板的接觸面積，保證基板的干燥效果。

技術(shù)特征：

1.一種基板頂升支撐機(jī)構(gòu)，其特征在于，應(yīng)用在真空干燥設(shè)備中，包括：頂升組件和支撐組件，所述支撐組件的一端與所述頂升組件連接，所述支撐組件的另一端部穿設(shè)在所述真空干燥設(shè)備中，所述頂升組件帶動所述支撐組件在所述真空干燥設(shè)備中升降移動，所述支撐組件用于支撐放置在所述真空干燥設(shè)備中的基板；其中：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板頂升支撐機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述傳動裝置包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板頂升支撐機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述凸輪傳動結(jié)構(gòu)包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板頂升支撐機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述傳動裝置還包括：支撐架，用于支撐所述傳動輪。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板頂升支撐機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述傳動裝置還包括：滑軌和滑塊，所述滑軌設(shè)置在所述支撐架上，所述滑塊設(shè)置在所述第二傳動桿的支撐端頭上，所述滑塊能夠在所述滑軌上滑動。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板頂升支撐機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述頂升組件還包括到導(dǎo)向裝置，所述導(dǎo)向裝置與所述頂升臺連接，所述導(dǎo)向裝置限制所述頂升臺的升降方向。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板頂升支撐機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述支撐組件還包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板頂升支撐機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述支撐桿的端部設(shè)置有支撐所述基板的pin針。

9.一種真空干燥設(shè)備，其特征在于：包括：上述權(quán)利要求1～8任意一項所述的基板頂升支撐機(jī)構(gòu)，還包括：

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的真空干燥設(shè)備，其特征在于：所述上板和下板還設(shè)置有密封圈和調(diào)整墊片，所述密封圈和調(diào)整墊片共同支撐所述上板和下板，所述密封圈的支撐高度高于所述調(diào)整墊片的支撐高度。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種基板頂升支撐機(jī)構(gòu)及中空干燥設(shè)備，所述基板頂升支撐機(jī)構(gòu)包括：頂升組件和支撐組件，所述頂升組件包括：頂升驅(qū)動源、傳動裝置和頂升臺，所述傳動裝置能夠接收所述頂升驅(qū)動源的動力，并形成多個動力支撐點作用在所述頂升臺上，多個動力支撐點由同一頂升驅(qū)動源控制同步升降支撐所述頂升臺；所述支撐組件包括：多根支撐桿，設(shè)置在所述頂升臺上，多根所述支撐桿的端部穿設(shè)在所述真空干燥設(shè)備中，多根所述支撐桿共同支撐放置在所述真空干燥設(shè)備中的基板，每個所述支撐桿實現(xiàn)對所述基板的點支撐。本發(fā)明提供一種基板頂升支撐機(jī)構(gòu)，能夠應(yīng)用在大尺寸的真空干燥設(shè)備中，實現(xiàn)對基板的點支撐并帶動其穩(wěn)定的升降移動。

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技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9