本發(fā)明涉及靜電卡盤,特別涉及一種靜電卡盤用電極漿料的制備方法。
背景技術(shù):
1、靜電卡盤電極漿料導(dǎo)電粒子常用w、mo等金屬粒子,其優(yōu)點(diǎn)在于導(dǎo)電性較好,但存在以下缺陷:
2、1.電極層與陶瓷層結(jié)合力較差,燒結(jié)收縮后易出現(xiàn)分層、開(kāi)裂等問(wèn)題;
3、2.金屬粒子會(huì)與陶瓷盤中碳元素反應(yīng),產(chǎn)生碳化,導(dǎo)致電阻率變化,吸附力不穩(wěn)定;
4、3.金屬電極易氧化。
5、除導(dǎo)電粒子影響外,電極漿料粉體粒徑也會(huì)對(duì)電極漿料產(chǎn)生較大的影響,采用粒徑相近的粉體,堆積密度較低,在燒結(jié)后收縮比大,造成印刷厚度與燒后電極厚度有較大的差距,厚度難以把控。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種靜電卡盤用電極漿料的制備方法,以解決背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。
2、為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明的技術(shù)方案為:
3、一種靜電卡盤用電極漿料的制備方法,所述制備方法包括以下步驟:
4、將粉體在有機(jī)溶劑中通過(guò)球磨機(jī)分散,其中,所述粉體為氧化鋁粉體,以及兩種或者兩種以上粒徑不同的碳化物粉體,所述氧化鋁粉體的d50粒徑為3~6μm,不同粒徑的粉體能有更高的堆積密度,分散過(guò)程中所需的有機(jī)溶劑少,燒結(jié)后收縮比較小,不易造成電極漿料的開(kāi)裂分層;
5、粉體球磨分散后在烘箱中烘干,烘箱中烘干的時(shí)間為24h,使用研缽研磨過(guò)篩后備用;
6、將過(guò)篩后的粉料與有機(jī)載體混合,固含量為60~80%,在擂潰機(jī)中混合30min~60min,然后在三輥機(jī)中軋制得到所需電極漿料。
7、優(yōu)選的,所述氧化鋁粉體的d50粒徑為4~5μm,所述碳化物粉體d50粒徑為1~3μm。
8、優(yōu)選的,所述有機(jī)溶劑為乙醇、甲苯、正丁醇中的任意一個(gè)。
9、優(yōu)選的,所述球磨時(shí)間為5~12h。
10、優(yōu)選的,過(guò)篩后的所述粉料與有機(jī)載體混合后固含量為70~75%。
11、優(yōu)選的,所述碳化物粉體為碳化鎢粉體。
12、采用上述技術(shù)方案,具有以下技術(shù)效果:
13、1.采用三種不同粒徑粒子混合,使粉體堆積密度大幅提高,提高電極厚度可控性以及降低燒后收縮比;
14、2.采用碳化物替代金屬粒子,有效改善電極層與陶瓷板間的匹配性,減少氧化,穩(wěn)定吸附力。
1.一種靜電卡盤用電極漿料的制備方法,其特征在于,所述制備方法包括以下步驟:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靜電卡盤用電極漿料的制備方法,其特征在于,所述氧化鋁粉體的d50粒徑為4~5μm,所述碳化物粉體d50粒徑為1~3μm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靜電卡盤用電極漿料的制備方法,其特征在于,所述有機(jī)溶劑為乙醇、甲苯、正丁醇中的任意一個(gè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種靜電卡盤用電極漿料的制備方法,其特征在于,所述球磨時(shí)間為5~12h。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靜電卡盤用電極漿料的制備方法,其特征在于,過(guò)篩后的所述粉料與有機(jī)載體混合后固含量為70~75%。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靜電卡盤用電極漿料的制備方法,其特征在于,所述碳化物粉體為碳化鎢粉體。