本發(fā)明實施例涉及se(selectiveemitter，選擇性發(fā)射極)晶體硅電池生產(chǎn)檢測，尤其涉及一種太陽能電池激光摻雜se圖形精度的檢測方法。

背景技術(shù)：

1、激光摻雜是制備se電池的一種有效手段，激光具有能量集中和非接觸性等優(yōu)點，有選擇性熔融和擴散的特點。激光摻雜的優(yōu)點是工藝步驟少，除激光外無需增加其他設(shè)備，然而激光摻雜的工藝控制和絲網(wǎng)印刷二次對位精度要求。為了同時達到減小接觸電阻和避免漏電的目的，激光摻雜重摻區(qū)域?qū)诫s均勻性要求較高。

2、目前激光摻雜相關(guān)的設(shè)備中，為方便進行圖形精度的調(diào)控，會將se摻雜圖形的圖層進行分割，分割成柵線圖層、定位點圖層及邊框線圖層，在進行精度調(diào)控時誤觸其他圖層會導(dǎo)致錯位偏移，且不易發(fā)現(xiàn)?，F(xiàn)有的檢測方法可以作為激光摻雜有無重大異常的監(jiān)控，但是不能精確反映圖層錯位偏移的程度，且檢測數(shù)據(jù)量較多，測試過程較復(fù)雜。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明提供一種太陽能電池激光摻雜se圖形精度的檢測方法，以縮減se重摻圖形精度測試步驟，降低檢測時間，并且可以精確的判斷圖層偏移程度，及時有效防止精度調(diào)整過程中誤碰誤觸圖層導(dǎo)致的異常。

2、第一方面，本發(fā)明實施例提供了一種太陽能電池激光摻雜se圖形精度的檢測方法，包括：

3、測量具有激光摻雜se圖形的太陽能電池片的圖層錯位偏移值；其中，所述se圖形包括多條激光線和四個定位點；多條所述激光線沿第一方向延伸，沿第二方向依次排列；四個所述定位點按照矩形圖形端點分布，且四個所述定位點圍成的矩形圖形的邊長分別沿第一方向和第二方向延伸；所述激光線和所述定位點位于不同圖層；所述圖層錯位偏移值包括各所述定位點與所述激光線相鄰的端點在所述第一方向上的間距的極差值，以及各所述定位點與在所述第二方向上位于最外側(cè)且相鄰的所述激光線的間距的極差值；所述第一方向和所述第二方向相交；

4、將所述太陽能電池片的所述圖層錯位偏移值與標準圖層錯位偏移值進行對比，確定se圖形精度是否滿足要求。

5、可選地，將所述太陽能電池片的圖層錯位偏移值與標準圖層錯位偏移值進行對比，確定se圖形精度是否滿足要求，包括：

6、在所述太陽能電池片的所述圖層錯位偏移值不超過50微米時，確定所述se圖形精度滿足要求。

7、可選地，所述se圖形還包括邊框線，所述邊框線圍繞多條所述激光線所在區(qū)域且交替沿所述第一方向和所述第二方向延伸；

8、該檢測方法還包括：

9、測量所述太陽能電池片的激光線pt值、激光線間距值、邊距偏移值、定位點間距值中的至少一項；其中，所述激光線pt值包括所述太陽能電池片在所述第二方向上兩側(cè)的最外側(cè)激光線之間的距離；所述激光線間距值為任意相鄰的兩條所述激光線之間的距離；所述邊距偏移值包括各所述定位點與在所述第一方向上相鄰的邊框線的間距的極差值，以及各所述定位點與在所述第二方向上相鄰的所述邊框線的間距的極差值；所述定位點間距值包括四個所述定位點在所述第一方向上兩兩之間的間距值，四個所述定位點在所述第二方向上兩兩之間的間距值，以及四個所述定位點的對角線間距；

10、將所述太陽能電池片的圖層錯位偏移值與標準圖層錯位偏移值進行對比，確定se圖形精度是否滿足要求，包括：

11、根據(jù)所述激光線pt值、所述激光線間距值、所述邊距偏移值、所述定位點間距值中的至少一項以及所述圖層錯位偏移值，與對應(yīng)的標準值以及標準圖層錯位偏移值對比，確定se圖形精度是否滿足要求。

12、可選地，測量所述太陽能電池片的激光線pt值，包括：

13、在所述太陽能電池片在所述第二方向上兩側(cè)的最外側(cè)激光線上選取五個點位，分別在所述五個點位上測量所述激光線pt值；

14、根據(jù)所述激光線pt值、所述激光線間距值、所述邊距偏移值、所述定位點間距值中的至少一項以及所述圖層錯位偏移值，與對應(yīng)的標準值以及標準圖層錯位偏移值對比，確定se圖形精度是否滿足要求，包括：

15、在所述五個點位的所述激光線pt值與標準值之間的差值均不超過20微米，且所述五個點位的所述激光線pt值中的最大值與最小值之差不超過30微米，所述太陽能電池片的所述圖層錯位偏移值不超過50微米時，確定所述se圖形精度滿足要求。

16、可選地，根據(jù)所述激光線pt值、所述激光線間距值、所述邊距偏移值、所述定位點間距值中的至少一項以及所述圖層錯位偏移值，與對應(yīng)的標準值以及標準圖層錯位偏移值對比，確定se圖形精度是否滿足要求，包括：

17、在所述激光線間距值與標準值相差不超過30微米，所述太陽能電池片的所述圖層錯位偏移值不超過50微米時，確定所述se圖形精度滿足要求。

18、可選地，根據(jù)所述激光線pt值、所述激光線間距值、所述邊距偏移值、所述定位點間距值中的至少一項以及所述圖層錯位偏移值，與對應(yīng)的標準值以及標準圖層錯位偏移值對比，確定se圖形精度是否滿足要求，包括：

19、在所述邊距偏移值不超過2毫米，所述太陽能電池片的圖層錯位偏移值不超過50微米時，確定所述se圖形精度滿足要求。

20、可選地，根據(jù)所述激光線pt值、所述激光線間距值、所述邊距偏移值、所述定位點間距值中的至少一項以及所述圖層錯位偏移值，與對應(yīng)的標準值以及標準圖層錯位偏移值對比，確定se圖形精度是否滿足要求，包括：

21、在四個所述定位點在所述第一方向兩兩之間的間距值、四個所述定位點在所述第二方向兩兩之間的間距值，以及四個所述定位點的對角線間距值的測量值與標準值之間的差值不超過20微米，四個所述定位點在第一方向或第二方向上兩兩之間的間距值之差不超過30微米，所述太陽能電池片的圖層錯位偏移值不超過50微米時，確定所述se圖形精度滿足要求。

22、第二方面，本發(fā)明實施例還提供了一種太陽能電池激光摻雜se圖形精度的檢測設(shè)備，包括：

23、距離測量儀，用于測量具有激光摻雜se圖形的太陽能電池片的圖層錯位偏移值；其中，所述se圖形包括多條激光線和四個定位點；多條所述激光線沿第一方向延伸，沿第二方向依次排列；四個所述定位點按照矩形圖形端點分布，且四個所述定位點圍成的矩形圖形的邊長分別沿第一方向和第二方向延伸；所述激光線和所述定位點位于不同圖層；所述圖層錯位偏移值包括各所述定位點與所述激光線相鄰的端點在所述第一方向上的間距的極差值，以及各所述定位點與在所述第二方向上位于最外側(cè)且相鄰的所述激光線的間距的極差值；所述第一方向和所述第二方向相交；

24、計算機，用于將所述太陽能電池片的所述圖層錯位偏移值與標準圖層錯位偏移值進行對比，確定se圖形精度是否滿足要求。

25、可選地，所述計算機還用于在所述太陽能電池片的所述圖層錯位偏移值不超過50微米時，確定所述se圖形精度滿足要求。

26、可選地，所述距離測量儀還用于測量所述太陽能電池片的激光線pt值、激光線間距值、邊距偏移值、定位點間距值中的至少一項；其中，所述激光線pt值包括所述太陽能電池片在所述第二方向上兩側(cè)的最外側(cè)激光線之間的距離；所述激光線間距值為任意相鄰的兩條所述激光線之間的距離；所述邊距偏移值包括各所述定位點與在所述第一方向上相鄰的邊框線的間距的極差值，以及各所述定位點與在所述第二方向上相鄰的所述邊框線的間距的極差值；所述定位點間距值包括四個所述定位點在所述第一方向上兩兩之間的間距值，四個所述定位點在所述第二方向上兩兩之間的間距值，以及四個所述定位點的對角線間距；

27、所述計算機還用于根據(jù)所述激光線pt值、所述激光線間距值、所述邊距偏移值、所述定位點間距值中的至少一項以及所述圖層錯位偏移值，與對應(yīng)的標準值以及標準圖層錯位偏移值對比，確定se圖形精度是否滿足要求。

28、本發(fā)明實施例提供的一種太陽能電池激光摻雜se圖形精度的檢測方法，首先測量具有激光摻雜se圖形的太陽能電池片的圖層錯位偏移值；然后將太陽能電池片的圖層錯位偏移值與標準圖層錯位偏移值進行對比，確定se圖形精度是否滿足要求；解決了具有激光摻雜se圖形的太陽能電池片在進行精度調(diào)控時誤觸其他圖層會導(dǎo)致錯位偏移，且不易發(fā)現(xiàn)的問題，縮減se重摻圖形精度測試步驟，降低檢測時間，并且可以精確的判斷圖層偏移程度，及時有效防止精度調(diào)整過程中誤碰誤觸圖層導(dǎo)致的異常。