本實(shí)用新型涉及一種刻蝕腔室上入口閘門(mén)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：
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電子顯示屏在在Ag（銀）刻蝕腔室進(jìn)行加工處理時(shí)，刻蝕腔內(nèi)的酸液會(huì)從Ag刻蝕入口處100外溢（如圖1），進(jìn)而腐蝕與藥液腔相連的非工藝腔內(nèi)的傳輸滾輪及金屬部件，且外溢的酸液會(huì)對(duì)凈房環(huán)境造成污染，影響操作人員健康。

為克服上述缺陷，常在刻蝕入口處100增設(shè)一個(gè)閘門(mén)11（如圖2），電子顯示屏在Ag刻蝕腔室進(jìn)行加工處理時(shí)，閘門(mén)11閉合刻蝕入口100，現(xiàn)有的閘門(mén)11的驅(qū)動(dòng)多為人工控制，自動(dòng)化程度低。

因此，確有必要對(duì)現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行改進(jìn)以解決現(xiàn)有技術(shù)之不足。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
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本實(shí)用新型是為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題而提供一種刻蝕腔室上入口閘門(mén)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案有：一種刻蝕腔室上入口閘門(mén)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括驅(qū)動(dòng)軸、氣缸、第一驅(qū)動(dòng)塊、第二驅(qū)動(dòng)塊、驅(qū)動(dòng)齒輪以及驅(qū)動(dòng)齒條，所述氣缸固定于所述刻蝕腔室的外壁上，且氣缸的氣缸軸與第二驅(qū)動(dòng)塊相連，第二驅(qū)動(dòng)塊與第一驅(qū)動(dòng)塊相鉸接，第一驅(qū)動(dòng)塊固定于驅(qū)動(dòng)軸上，驅(qū)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)于所述刻蝕腔室內(nèi)，驅(qū)動(dòng)齒輪固定于驅(qū)動(dòng)軸上，驅(qū)動(dòng)齒條固定于所述刻蝕腔室上的入口閘門(mén)上，且驅(qū)動(dòng)齒條與驅(qū)動(dòng)齒輪相嚙合。

進(jìn)一步地，所述第一驅(qū)動(dòng)塊上設(shè)有連接槽，在第一驅(qū)動(dòng)塊的側(cè)壁上設(shè)有通孔，該通孔與連接槽相貫通。

進(jìn)一步地，所述連接槽的內(nèi)壁上設(shè)有圓弧定位部。

進(jìn)一步地，所述圓弧定位部的內(nèi)壁上設(shè)有棘齒。

進(jìn)一步地，所述第二驅(qū)動(dòng)塊上設(shè)有鉸接耳。

本實(shí)用新型具有如下有益效果：

本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用效果好，自動(dòng)化程度高。

附圖說(shuō)明：

圖 1 為現(xiàn)有技術(shù)中刻蝕腔室的結(jié)構(gòu)圖。

圖 2 為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)在刻蝕腔室上的安裝結(jié)構(gòu)圖。

圖 3 為本實(shí)用新型中氣缸與第一、二驅(qū)動(dòng)塊之間的安裝結(jié)構(gòu)圖。

圖 4 為本實(shí)用新型中驅(qū)動(dòng)齒輪、驅(qū)動(dòng)齒條在入口閘門(mén)上示意圖。

具體實(shí)施方式：

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說(shuō)明。

如圖2和圖4所示，本實(shí)用新型一種刻蝕腔室上入口閘門(mén)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括驅(qū)動(dòng)軸12、氣缸13、第一驅(qū)動(dòng)塊14、第二驅(qū)動(dòng)塊15、驅(qū)動(dòng)齒輪16以及驅(qū)動(dòng)齒條17，氣缸13固定于刻蝕腔室的外壁上，且氣缸13的氣缸軸與第二驅(qū)動(dòng)塊15相連，第二驅(qū)動(dòng)塊15與第一驅(qū)動(dòng)塊14相鉸接，第一驅(qū)動(dòng)塊14固定于驅(qū)動(dòng)軸12上，驅(qū)動(dòng)軸12轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)于刻蝕腔室內(nèi)，驅(qū)動(dòng)齒輪16固定于驅(qū)動(dòng)軸12上，驅(qū)動(dòng)齒條17固定于刻蝕腔室上的入口閘門(mén)11上，且驅(qū)動(dòng)齒條17與驅(qū)動(dòng)齒輪16相嚙合。

本實(shí)用新型中的第一驅(qū)動(dòng)塊14上設(shè)有連接槽140，在第一驅(qū)動(dòng)塊14的側(cè)壁上設(shè)有通孔141，該通孔141與連接槽140相貫通。驅(qū)動(dòng)軸12的一端伸于連接槽140內(nèi)，在通孔141內(nèi)穿接螺栓，將第一驅(qū)動(dòng)塊14固定于驅(qū)動(dòng)軸12上。

為更好地將驅(qū)動(dòng)軸12連接于第一驅(qū)動(dòng)塊14上，在連接槽140的內(nèi)壁上設(shè)有圓弧定位部，驅(qū)動(dòng)軸12置于該圓弧定位部?jī)?nèi)。

為進(jìn)一步增加第一驅(qū)動(dòng)塊14的連接效果，在圓弧定位部的內(nèi)壁上設(shè)有棘齒。

為便于第一驅(qū)動(dòng)塊14與第二驅(qū)動(dòng)塊15之間的相連，在第二驅(qū)動(dòng)塊15上設(shè)有鉸接耳151。

安裝時(shí)，在入口閘門(mén)11的端面上設(shè)置一滑塊200，并在刻蝕腔室的內(nèi)壁上開(kāi)設(shè)滑槽，進(jìn)而使得入口閘門(mén)11滑動(dòng)連接在刻蝕腔室的內(nèi)壁上。在電子顯示屏在Ag刻蝕腔室進(jìn)行加工處理時(shí)，入口閘門(mén)11將刻蝕腔室的刻蝕入口100封閉，在電子顯示屏加工完成后，氣缸13的氣缸軸收縮，通過(guò)驅(qū)動(dòng)齒輪16驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)齒條17向上運(yùn)動(dòng)，在擋板11上的槽孔與刻蝕入口100相貫通后，通過(guò)傳動(dòng)輥將電子顯示屏從刻蝕入口100移出刻蝕腔室。

以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下還可以作出若干改進(jìn)，這些改進(jìn)也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。