本發(fā)明實施例涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，特別涉及一種不規(guī)則硅片的腐蝕方法。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體產(chǎn)品的研發(fā)階段，當(dāng)需要對產(chǎn)品進行驗證時，需要對整個晶圓進行切割，得到多個不規(guī)則硅片，一個不規(guī)則硅片對應(yīng)一個產(chǎn)品，再對每個不規(guī)則硅片進行腐蝕，通過不同的腐蝕條件和工藝參數(shù)的調(diào)整選擇出產(chǎn)品對應(yīng)的最優(yōu)方案。

相關(guān)技術(shù)中，由于現(xiàn)有的機臺都是針對整體晶圓的加工，無法對晶圓切割得到的不規(guī)則硅片制作用于阻擋腐蝕溶液的掩蔽層，在腐蝕不規(guī)則硅片的背面時，不規(guī)則硅片裸露的剖面和不規(guī)則硅片的正面圖形會受到損傷，因此，在實際的產(chǎn)品驗證環(huán)節(jié)是以整個晶圓為單位，每次調(diào)整腐蝕條件和工藝參數(shù)是對整個晶圓進行驗證。

然而，每次驗證過程中以一個晶圓為單位，每次驗證同一個晶圓只能驗證一個工藝參數(shù)，產(chǎn)品驗證階段的流片成本高。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為了解決現(xiàn)有技術(shù)的問題，本發(fā)明實施例提供了一種不規(guī)則硅片的腐蝕方法。該技術(shù)方案如下：

第一方面，提供了一種不規(guī)則硅片的腐蝕方法，該方法包括：

將不規(guī)則硅片放置在腐蝕模具的上蓋的開口區(qū)；所述不規(guī)則硅片是整個晶圓切割后得到的，所述腐蝕模具的上蓋包括頂部和螺紋孔，所述開口區(qū)包括貫穿所述頂部的腐蝕孔和用于固定所述不規(guī)則硅片的凹槽；

將所述腐蝕模具的底座旋入所述腐蝕模具的上蓋的螺紋孔；所述腐蝕模具的底座包括內(nèi)柱和底蓋，所述內(nèi)柱上設(shè)置有螺紋，所述內(nèi)柱的直徑等于所述螺紋孔的直徑；

將所述腐蝕模具放入腐蝕溶液，對所述不規(guī)則硅片上與所述腐蝕孔對應(yīng)的部位進行腐蝕；

將所述腐蝕模具的底座從所述腐蝕模具的上蓋的螺紋孔中旋出，將所述不規(guī)則硅片取下，得到腐蝕后的不規(guī)則硅片。

可選的，所述凹槽不貫穿所述腐蝕模具的上蓋的頂部，所述腐蝕孔被所述凹槽包圍。

可選的，所述將不規(guī)則硅片放置在腐蝕模具的上蓋內(nèi)的開口區(qū)，包括：

利用臨時鍵合膠將玻璃片粘到所述不規(guī)則硅片的正面；

將密封墊圈放置在所述腐蝕模具的上蓋內(nèi)的所述凹槽內(nèi)；

將所述不規(guī)則硅片的背面放置在所述密封墊圈上，所述不規(guī)則硅片的背面上待腐蝕的區(qū)域與所述腐蝕孔的形狀對應(yīng)。

可選的，所述腐蝕模具的上蓋的螺紋孔為全螺紋結(jié)構(gòu)。

可選的，所述腐蝕模具的上蓋和底座的材料為耐腐蝕材料。

可選的，所述凹槽的頂角部位為圓形凹槽。

本發(fā)明實施例提供的技術(shù)方案帶來的有益效果是：

通過將不規(guī)則硅片放置在腐蝕模具的上蓋的開口區(qū)，將腐蝕模具的底座旋入腐蝕模具的上蓋的螺紋孔，將腐蝕模具放入腐蝕溶液，對不規(guī)則硅片上與腐蝕孔對應(yīng)的部位進行腐蝕，從腐蝕模具中取出腐蝕后的不規(guī)則硅片；解決了在產(chǎn)品研發(fā)驗證產(chǎn)品時對不規(guī)則硅片單獨腐蝕時，不規(guī)則硅片難以進行常規(guī)工藝的掩蔽層制作，導(dǎo)致腐蝕不規(guī)則硅片的背面時損壞不規(guī)則硅片的正面圖形和側(cè)邊整體結(jié)構(gòu)的問題；達到了使切片后的不規(guī)則硅片能夠進行濕法腐蝕，降低驗證階段的流片成本的效果。

此外，通過腐蝕模具對每個不規(guī)則硅片進行腐蝕保護，使得不需要在調(diào)整濕法腐蝕的工藝參數(shù)時以整個晶圓為單位進行驗證，降低了工藝難度，增加了實驗樣品工藝參數(shù)的多樣化。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是根據(jù)一示例性實施例示出的一種不規(guī)則硅片的腐蝕方法的流程圖；

圖2是根據(jù)一示例性實施例示出的一種腐蝕模具的上蓋的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是根據(jù)一示例性實施例示出的一種腐蝕模具的上蓋從螺紋孔向內(nèi)看的上蓋的頂部的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是根據(jù)一示例性實施例示出的一種腐蝕模具的上蓋從外側(cè)看的上蓋的頂部的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是根據(jù)一示例性實施例示出的一種腐蝕模具的底座的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是根據(jù)一示例性實施例示出的一種腐蝕模具的上蓋與底座連接后的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7是根據(jù)另一示例性實施例示出的一種不規(guī)則硅片的腐蝕方法的流程圖；

圖8是根據(jù)另一示例性實施例示出的一種不規(guī)則硅片的腐蝕方法的實施示意圖；

圖9是根據(jù)一示例性實施例示出的一種腐蝕模具的上蓋與底座連接后的剖面圖。

具體實施方式

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明實施方式作進一步地詳細(xì)描述。

請參考圖1，其示出了本發(fā)明一個實施例提供的不規(guī)則硅片的腐蝕方法的流程圖。如圖1所示，該不規(guī)則硅片的腐蝕方法可以包括以下步驟：

步驟101，將不規(guī)則硅片放置在腐蝕模具的上蓋的開口區(qū)。

不規(guī)則硅片是整個晶圓切割后得到的。

腐蝕模具的上蓋包括頂部和螺紋孔。

開口區(qū)位于腐蝕模具的上蓋的頂部，開口區(qū)包括貫穿頂部的腐蝕孔和用于固定不規(guī)則硅片的凹槽。

將不規(guī)則硅片放置在凹槽中，由于上蓋頂部腐蝕孔的存在，腐蝕孔對應(yīng)位置的不規(guī)則硅片暴露在空氣中。

可選的，凹槽不貫穿腐蝕模具的上蓋頂部，從腐蝕模具的上蓋的外側(cè)看不到凹槽。

可選的，腐蝕孔被凹槽包圍。

腐蝕模具由上蓋和底座構(gòu)成，上蓋和底座通過螺紋結(jié)構(gòu)連接。

如圖2所示，腐蝕模具的上蓋包括頂部22和螺紋孔21，上蓋的頂部設(shè)置有開口區(qū)，開口區(qū)包括貫穿上蓋的頂部的腐蝕孔23和用于固定不規(guī)則硅片的凹槽24。

需要說明的是，開口區(qū)的形狀根據(jù)不規(guī)則硅片的形狀確定，圖2中正方形的開口區(qū)僅為示例性說明，本發(fā)明實施例對此不作限定。比如：若不規(guī)則硅片的形狀為三角形，則開口區(qū)為三角形。

圖3示出了從螺紋孔21看如圖2所示的腐蝕模具的上蓋的頂部的結(jié)構(gòu)示意圖，凹槽24包圍腐蝕孔23。

圖4示出了從外側(cè)看如圖2所示的腐蝕模具的上蓋的頂部的結(jié)構(gòu)示意圖，只能看到腐蝕孔23。

腐蝕模具的底座包括內(nèi)柱和底蓋，內(nèi)柱上設(shè)置有螺紋，內(nèi)柱的直徑等于螺紋孔的直徑。

腐蝕模具的底座的內(nèi)柱上的螺紋與腐蝕模具的上蓋的螺紋孔的螺紋對應(yīng)。

可選的，內(nèi)柱的外徑小于底蓋的內(nèi)徑。

如圖5所示，腐蝕模具的底座包括內(nèi)柱51和底蓋52。

步驟102，將腐蝕模具的底座旋入腐蝕模具的上蓋的螺紋孔。

由于腐蝕模具的上蓋的螺紋孔的螺紋與底座的內(nèi)柱上的螺紋結(jié)構(gòu)的螺紋對應(yīng)，將腐蝕模具的底座上的內(nèi)柱沿螺紋旋入腐蝕模具的上蓋的螺紋孔，能夠?qū)⒌鬃c上蓋固定為一體；腐蝕模具的底座旋入腐蝕模具的上蓋的螺紋孔的結(jié)構(gòu)如圖6所示，底座62旋入上蓋61的螺紋孔內(nèi)，由于上蓋內(nèi)的凹槽內(nèi)放置有不規(guī)則硅片，底座62不能完全旋入上蓋61的螺紋孔內(nèi)。

將底座旋入上蓋的螺紋孔直到底座無法再被擰動，在這種情況下，腐蝕模具的底座和上蓋形成一個密閉的空間，在腐蝕時只有腐蝕孔對應(yīng)位置的不規(guī)則硅片會與腐蝕溶液接觸，不規(guī)則硅片的其他部分被腐蝕模具保護，能夠有效避免不規(guī)則硅片的邊緣和正面圖形區(qū)域被腐蝕溶液破壞。

步驟103，將腐蝕模具放入腐蝕溶液，對不規(guī)則硅片上與腐蝕孔對應(yīng)的部位進行腐蝕。

腐蝕模具的上蓋和底座連接為一體，不規(guī)則硅片被固定在腐蝕模具內(nèi)部，只有裸露在腐蝕孔對應(yīng)位置處的不規(guī)則硅片會被腐蝕溶液腐蝕。

步驟104，將腐蝕模具的底座從腐蝕模具的上蓋的螺紋孔中旋出，將不規(guī)則硅片取下，得到腐蝕后的不規(guī)則硅片。

腐蝕完成后，將腐蝕模具從腐蝕溶液中取出，再將腐蝕模具的底座從腐蝕模具的上蓋的螺紋孔中旋出，將不規(guī)則硅片從上蓋內(nèi)的凹槽中取出，得到腐蝕后的不規(guī)則硅片。

綜上所述，本發(fā)明實施例提供的不規(guī)則硅片的腐蝕方法，通過將不規(guī)則硅片放置在腐蝕模具的上蓋的開口區(qū)，將腐蝕模具的底座旋入腐蝕模具的上蓋的螺紋孔，將腐蝕模具放入腐蝕溶液，對不規(guī)則硅片上與腐蝕孔對應(yīng)的部位進行腐蝕，從腐蝕模具中取出腐蝕后的不規(guī)則硅片；解決了在產(chǎn)品研發(fā)驗證產(chǎn)品時對不規(guī)則硅片單獨腐蝕時，不規(guī)則硅片難以進行常規(guī)工藝的掩蔽層制作導(dǎo)致腐蝕時損壞不規(guī)則硅片的正面圖形和側(cè)邊整體結(jié)構(gòu)的問題；達到了使切片后的不規(guī)則硅片能夠進行濕法腐蝕，降低驗證階段的流片成本的效果。

此外，通過腐蝕模具對每個不規(guī)則硅片進行腐蝕保護，使得不需要在調(diào)整濕法腐蝕的工藝參數(shù)時以整個晶圓為單位進行驗證，降低了工藝難度，增加了實驗樣品工藝參數(shù)的多樣化。

請參考圖7，其示出了本發(fā)明另一個實施例提供的不規(guī)則硅片的腐蝕方法的流程圖。如圖7所示，該不規(guī)則硅片的腐蝕方法可以包括以下步驟：

步驟701，利用臨時鍵合膠將玻璃片粘到不規(guī)則硅片的正面。

為了增加不規(guī)則硅片的強度，避免腐蝕模具的底座在旋入上蓋時損壞不規(guī)則硅片，利用臨時軟接技術(shù)，使用臨時鍵合膠將玻璃片粘到不規(guī)則硅片的正面。

可選的，臨時鍵合膠采用熔點為120-130℃的高熔點臨時鍵合膠，玻璃片為7740高硼玻璃。

在利用臨時鍵合膠將玻璃片粘貼到不規(guī)則硅片的正面時，需要將不規(guī)則硅片正面與玻璃片之間的空氣全部排出。

由于不規(guī)則硅片的正面通過臨時鍵合膠粘貼在玻璃片上，即使在腐蝕時腐蝕溶液通過腐蝕模具的底座和上蓋之間的縫隙進入，不規(guī)則硅片的正面也不會受到腐蝕而損壞。

如圖8所示，不規(guī)則硅片81的正面通過臨時鍵合膠82粘貼在玻璃片83上。

步驟702，將密封墊圈放置在腐蝕模具的上蓋內(nèi)的凹槽內(nèi)。

為了緩沖不規(guī)則硅片與腐蝕模具的上蓋的應(yīng)力，防止在將腐蝕模具的底座旋入上蓋內(nèi)時不規(guī)則硅片受到擠壓破裂，在腐蝕模具的上蓋內(nèi)的凹槽內(nèi)放止密封墊圈。如圖2所示，腐蝕模具的上蓋的凹槽24內(nèi)放置有密封墊圈25。

可選的，腐蝕模具的上蓋內(nèi)的凹槽的頂角部位為圓形凹槽。圓形凹槽有助于方便地取出不規(guī)則硅片。如圖3所示，凹槽24的頂角部位為圓形凹槽31。

密封墊圈的形狀與凹槽的形狀對應(yīng)?？蛇x的，密封墊圈為氟橡膠膠圈。

凹槽的形狀與不規(guī)則硅片的形狀對應(yīng)，本發(fā)明實施例對此不作限定。

步驟703，將不規(guī)則硅片的背面放置在密封墊圈上，不規(guī)則硅片的背面上待腐蝕的區(qū)域與腐蝕孔的形狀對應(yīng)。

腐蝕孔的形狀由不規(guī)則硅片的背面上待腐蝕的區(qū)域的形狀確定，本發(fā)明實施例對此不作限定。

步驟704，將腐蝕模具的底座旋入腐蝕模具的上蓋的螺紋孔。

腐蝕模具的底座包括內(nèi)柱和底蓋，內(nèi)柱上設(shè)置有螺紋，內(nèi)柱的直徑等于螺紋孔的直徑。

將腐蝕模具的底座旋入腐蝕模具的上蓋的螺紋孔的過程持續(xù)至不規(guī)則硅片的背面與密封墊圈接觸面收緊，腐蝕模具實現(xiàn)密封。

如圖9所示，底座92旋入上蓋91的螺紋孔，底座92的內(nèi)柱抵住通過臨時鍵合膠94粘在玻璃片93上的不規(guī)則硅片95，不規(guī)則硅片95被放置在密封墊圈96上，腐蝕孔97與不規(guī)則硅片95的背面接觸。

該步驟在上述步驟102進行了闡述，這里不再贅述。

步驟705，將腐蝕模具放入腐蝕溶液，對不規(guī)則硅片上與腐蝕孔對應(yīng)的部位進行腐蝕。

將腐蝕模具放入堿性腐蝕溶液中，對不規(guī)則硅片的背面進行腐蝕，由于密封墊圈與不規(guī)則硅片的背面緊密接觸，因此，堿性腐蝕溶液只與裸露在腐蝕孔對應(yīng)位置的不規(guī)則硅片的背面進行體硅反應(yīng)。

步驟706，將腐蝕模具的底座從腐蝕模具的上蓋的螺紋孔中旋出，將不規(guī)則硅片取下，得到腐蝕后的不規(guī)則硅片。

腐蝕完成后，將腐蝕模具的底座從腐蝕模具的上蓋的螺紋孔中旋出。利用解鍵合技術(shù)，將不規(guī)則硅片從玻璃片上取下，得到腐蝕后的不規(guī)則硅片。

腐蝕后的不規(guī)則硅片只有在腐蝕時裸露在腐蝕孔對應(yīng)位置的部分被腐蝕，其他部分未被腐蝕。

綜上所述，本發(fā)明實施例提供的不規(guī)則硅片的腐蝕方法，通過將不規(guī)則硅片放置在腐蝕模具的上蓋的開口區(qū)，將腐蝕模具的底座旋入腐蝕模具的上蓋的螺紋孔，將腐蝕模具放入腐蝕溶液，對不規(guī)則硅片上與腐蝕孔對應(yīng)的部位進行腐蝕，從腐蝕模具中取出腐蝕后的不規(guī)則硅片；解決了在產(chǎn)品研發(fā)驗證產(chǎn)品時對不規(guī)則硅片單獨腐蝕時，不規(guī)則硅片難以進行常規(guī)工藝的掩蔽層制作，導(dǎo)致腐蝕不規(guī)則硅片的背面時損壞不規(guī)則硅片的正面圖形和側(cè)邊整體結(jié)構(gòu)的問題；達到了使切片后的不規(guī)則硅片能夠進行濕法腐蝕，降低驗證階段的流片成本的效果。

此外，通過腐蝕模具對個不規(guī)則硅片進行腐蝕保護，使得不需要在調(diào)整濕法腐蝕的工藝參數(shù)時以整個晶圓為單位進行驗證，降低了工藝難度，增加了實驗樣品工藝參數(shù)的多樣化。

在基于圖1或圖7所示實施例的可選實施例中，腐蝕模具的上蓋的螺紋為全螺紋結(jié)構(gòu)。

在基于圖1或圖7所示實施例的可選實施例中，腐蝕模具的上蓋和底座的材料為耐腐蝕材料。比如：腐蝕模具的上蓋和底座的材料為聚四氟乙烯。

需要說明的是：上述本發(fā)明實施例序號僅僅為了描述，不代表實施例的優(yōu)劣。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。