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垂直取晶、固晶機(jī)構(gòu)及其采用它的垂直固晶機(jī)的制作方法

文檔序號(hào):12724967閱讀:來源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了垂直取晶、固晶機(jī)構(gòu),包括晶圓臺(tái),其特征在于,還包括:第一驅(qū)動(dòng)裝置,所述第一驅(qū)動(dòng)裝置用于驅(qū)動(dòng)下述焊頭組件相對(duì)于所述晶圓臺(tái)做垂直圓周旋轉(zhuǎn);焊頭組件,所述焊頭組件包括至少一個(gè)焊頭,所述焊頭用于取晶及固晶,所述焊頭組件的旋轉(zhuǎn)軸線與所述晶圓臺(tái)平行。本發(fā)明有益效果:焊頭在晶圓臺(tái)的上方或下方做沿晶圓臺(tái)垂直圓周運(yùn)動(dòng),取晶、固晶時(shí),焊頭相對(duì)于晶圓臺(tái)的運(yùn)動(dòng)軌跡為圓弧,通過焊頭垂直圓周轉(zhuǎn)動(dòng),可以縮短焊頭的水平運(yùn)動(dòng)距離,可以適應(yīng)不同尺寸的基板,取晶和固晶時(shí)水平運(yùn)動(dòng)時(shí)間非常短,大大提高了生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本。

技術(shù)研發(fā)人員:王敕;關(guān)蕊
受保護(hù)的技術(shù)使用者:江蘇艾科瑞思封裝自動(dòng)化設(shè)備有限公司
文檔號(hào)碼:201710223165
技術(shù)研發(fā)日:2017.04.07
技術(shù)公布日:2017.06.20

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