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采用激光標(biāo)記對(duì)位的P型PERC雙面太陽能電池及制備方法與流程

文檔序號(hào):11692194閱讀:267來源:國知局
采用激光標(biāo)記對(duì)位的P型PERC雙面太陽能電池及制備方法與流程

本發(fā)明涉及太陽能電池技術(shù),尤其涉及一種采用激光標(biāo)記對(duì)位的p型perc雙面太陽能電池,還涉及該太陽能電池的制備方法。



背景技術(shù):

晶硅太陽能電池是一種有效吸收太陽輻射能,利用光生伏打效應(yīng)把光能轉(zhuǎn)換成電能的器件。當(dāng)太陽光照射在半導(dǎo)體p-n結(jié)上時(shí),會(huì)形成新的空穴-電子對(duì),在p-n結(jié)電場(chǎng)的作用下,空穴由n區(qū)流向p區(qū),電子由p區(qū)流向n區(qū),接通電路后就形成了電流。

傳統(tǒng)的晶硅太陽能電池一般只采用正面鈍化技術(shù),即在硅片的正面使用pecvd方式沉積一層氮化硅,降低少子在前表面的復(fù)合速率,可以大幅度提升晶硅太陽能電池的開路電壓和短路電流,從而提升晶硅太陽電池的光電轉(zhuǎn)換效率。

隨著對(duì)晶硅太陽能電池光電轉(zhuǎn)換效率的要求越來越高,人們開始研究perc背鈍化太陽電池技術(shù)。目前,業(yè)界主流廠家的焦點(diǎn)集中在單面perc太陽能電池的量產(chǎn)化。而對(duì)于雙面perc太陽能電池而言,由于其光電轉(zhuǎn)換效率高,同時(shí)雙面吸收太陽光,發(fā)電量更高,在實(shí)際應(yīng)用中具有更大的使用價(jià)值。

現(xiàn)有的perc雙面太陽能電池包括從下至上依次設(shè)置的背電極、背面氮化硅膜、氧化鋁膜、p型硅、n型發(fā)射極、正面氮化硅膜和正銀電極,背電極主要由呈垂直相交的背極主柵線和背極副柵線相連而成,背極副柵線通常是鋁柵線,在背面氮化硅膜上開有貫通背面氮化硅膜和氧化鋁膜的開槽構(gòu)成激光開槽區(qū),鋁柵線位于開槽內(nèi)的部分與p型硅相連。

在perc雙面太陽能電池的制備過程中,在背面印刷鋁漿時(shí),為了確定印刷鋁漿的位置,一般采用硅片邊對(duì)位方式。這種對(duì)位方式具體是:通過印刷機(jī)的攝像頭獲取硅片的四條邊的位置來確定激光開槽區(qū)與硅片的邊之間的距離,進(jìn)而確定激光開槽區(qū)的位置,根據(jù)攝像頭的定位,印刷機(jī)將鋁漿準(zhǔn)確地印刷在激光開槽區(qū)上。但是,這種硅片邊對(duì)位方式存在以下缺陷:硅片在制備過程中會(huì)存在誤差,使其外形不一定是標(biāo)準(zhǔn)的正方形形狀,采用硅片邊對(duì)位方式會(huì)帶來定位不準(zhǔn)的問題,這是由于印刷機(jī)在印刷時(shí)是根據(jù)硅片的邊和激光開槽區(qū)之間的距離來確定印刷鋁漿的位置,而硅片的形狀不是規(guī)則的正方形,直接導(dǎo)致了每片硅片背面的鋁漿無法準(zhǔn)確印刷在激光開槽區(qū)上,如此,提高了雙面perc太陽能電池的不良率。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明的第一個(gè)目的在于提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)鋁漿與激光開槽區(qū)的準(zhǔn)確對(duì)位、降低電池不良率的采用激光標(biāo)記對(duì)位的p型perc雙面太陽能電池。

本發(fā)明的第一個(gè)目的通過如下的技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):一種采用激光標(biāo)記對(duì)位的p型perc雙面太陽能電池,包括從下至上依次設(shè)置的背電極、背面氮化硅膜、氧化鋁膜、p型硅、n型發(fā)射極、正面氮化硅膜和正銀電極,所述背電極主要由呈垂直相交的背極主柵和背鋁柵線相連而成,在所述背面氮化硅膜上開有數(shù)條貫通背面氮化硅膜和氧化鋁膜的開槽構(gòu)成激光開槽區(qū),所述p型硅露于所述開槽中,所述背鋁柵線位于開槽中的部分與p型硅相連,其特征在于:在背面氮化硅膜上設(shè)置激光標(biāo)記,所述激光標(biāo)記和激光開槽區(qū)的相對(duì)位置預(yù)先設(shè)定,通過定位激光標(biāo)記并根據(jù)激光開槽區(qū)與激光標(biāo)記之間的距離進(jìn)行印刷背鋁柵線的對(duì)位。

本發(fā)明通過設(shè)置與激光開槽區(qū)的相對(duì)位置預(yù)先設(shè)定的激光標(biāo)記,在印刷鋁漿時(shí),印刷機(jī)定位激光標(biāo)記并根據(jù)激光開槽區(qū)與激光標(biāo)記之間的距離進(jìn)行印刷背鋁柵線的對(duì)位。本發(fā)明與現(xiàn)有硅片邊對(duì)位方式相比,能夠確保每片硅片背面的鋁漿準(zhǔn)確覆蓋在激光開槽區(qū)上,可有效降低雙面perc太陽能電池的不良率。而且,本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于實(shí)現(xiàn),適合于大規(guī)模量產(chǎn)。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選實(shí)施方式,所述激光標(biāo)記位于激光開槽區(qū)的外圍,且處于太陽能電池的邊角或者靠近側(cè)邊設(shè)置,全部的激光標(biāo)記處于同一正方形上,所述激光標(biāo)記中至少兩個(gè)處于相對(duì)位置上,通過定位激光標(biāo)記并根據(jù)激光開槽區(qū)最外側(cè)的那條開槽與激光標(biāo)記之間的距離進(jìn)行印刷背鋁柵線的對(duì)位。

作為本發(fā)明的一種實(shí)施方式,所述激光標(biāo)記為四個(gè),分別位于太陽能電池的四個(gè)邊角。

作為本發(fā)明的一種實(shí)施方式,單個(gè)激光標(biāo)記的形狀為十字形、三角形、圓形、方形、五邊形或六邊形等。

作為本發(fā)明的一種實(shí)施方式,所述背面氮化硅膜的厚度為20~500nm。

作為本發(fā)明的一種實(shí)施方式,所述氧化鋁膜的厚度為2~50nm。

本發(fā)明可以有以下實(shí)施方式:所述開槽為若干組,各組開槽呈平行排布;每組開槽由數(shù)段開槽組成,或者每組開槽是一條完整的開槽,或者每組開槽由數(shù)個(gè)通孔狀的開槽和數(shù)段開槽組成,或者每組開槽由數(shù)個(gè)通孔狀的開槽組成,或者每組開槽由沿橫向平行排布的數(shù)列開槽組成,每列開槽由沿縱向平行排布的數(shù)段開槽組成。

作為本發(fā)明的一種實(shí)施方式,相鄰組開槽之間的間距為0.5~50mm。

作為本發(fā)明的一種實(shí)施方式,所述背鋁柵線的寬度大于開槽的寬度,背鋁柵線的寬度為55~550微米。

作為本發(fā)明的一種實(shí)施方式,開槽的寬度為50~500微米。

作為本發(fā)明的一種實(shí)施方式,所述背極主柵為完整的一條,或者由數(shù)段組成。

本發(fā)明的第二個(gè)目的在于提供一種上述采用激光標(biāo)記對(duì)位的p型perc雙面太陽能電池的制備方法。

本發(fā)明的第二個(gè)目的通過如下的技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):一種上述采用激光標(biāo)記對(duì)位的p型perc雙面太陽能電池的制備方法,其特征在于包括以下步驟:

⑴在p型硅的正面形成絨面;

⑵在由步驟⑴所得產(chǎn)品的正面進(jìn)行擴(kuò)散,形成n型發(fā)射極;

⑶去除由步驟⑵所得產(chǎn)品在擴(kuò)散過程形成的磷硅玻璃和周邊pn結(jié);

⑷在由步驟⑶所得產(chǎn)品的背面依次沉積氧化鋁膜和背面氮化硅膜,再在正面沉積正面氮化硅膜,或者在由步驟⑶所得產(chǎn)品的正面沉積正面氮化硅膜,再在背面依次沉積氧化鋁膜和背面氮化硅膜;

⑸在由步驟⑷所得產(chǎn)品的背面打上激光標(biāo)記,激光標(biāo)記和激光開槽區(qū)的相對(duì)位置預(yù)先設(shè)定,同時(shí)采用激光開設(shè)開槽構(gòu)成激光開槽區(qū);

⑹在由步驟⑸所得產(chǎn)品的背面印刷背極主柵線;

⑺通過定位激光標(biāo)記并根據(jù)激光開槽區(qū)與激光標(biāo)記之間的距離進(jìn)行印刷背鋁柵線的對(duì)位,在由步驟⑹所得產(chǎn)品的背面且位于激光開槽區(qū)上印刷背鋁柵線,背鋁柵線位于開槽內(nèi)的部分與p型硅相連;

⑻在由步驟⑺所得產(chǎn)品的正面印刷正電極漿料;

⑼在由步驟⑻所得產(chǎn)品進(jìn)行高溫?zé)Y(jié),形成背銀電極和正銀電極;

⑽將由步驟⑼所得產(chǎn)品進(jìn)行抗lid退火即得。

作為本發(fā)明的一種實(shí)施方式,在所述步驟⑹~⑻中,采用絲網(wǎng)印刷或噴墨方式印刷。

作為本發(fā)明的一種實(shí)施方式,根據(jù)實(shí)際情況決定是否對(duì)由步驟⑶所得產(chǎn)品的背面拋光,若需要拋光,則對(duì)由步驟⑶所得產(chǎn)品的背面進(jìn)行拋光后,轉(zhuǎn)入步驟⑷。

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有如下顯著的效果:

⑴本發(fā)明通過設(shè)置與激光開槽區(qū)的相對(duì)位置預(yù)先設(shè)定的激光標(biāo)記,在印刷鋁漿時(shí),印刷機(jī)定位激光標(biāo)記并根據(jù)激光開槽區(qū)與激光標(biāo)記之間的距離進(jìn)行印刷背鋁柵線的對(duì)位。本發(fā)明與現(xiàn)有硅片邊對(duì)位方式相比,能夠確保每片硅片背面的鋁漿準(zhǔn)確覆蓋在激光開槽區(qū)上,可有效降低雙面perc太陽能電池的不良率。

⑵本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于實(shí)現(xiàn),適合于大規(guī)模量產(chǎn)。

⑶本發(fā)明方法簡(jiǎn)單易行,采用現(xiàn)有生產(chǎn)線上激光開槽所使用的激光設(shè)備來打激光標(biāo)記,無需另增設(shè)備,生產(chǎn)成本低。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2是本發(fā)明實(shí)施例1背面的示意圖(未畫背極主柵線);

圖3是本發(fā)明實(shí)施例2背面的示意圖(未畫背極主柵線);

圖4是本發(fā)明實(shí)施例3背面的示意圖(未畫背極主柵線)。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1

如圖1和2所示,是本發(fā)明一種采用激光標(biāo)記對(duì)位的p型perc雙面太陽能電池,包括從下至上依次設(shè)置的背電極1、背面氮化硅膜3、氧化鋁膜4、p型硅5、n型發(fā)射極6、正面氮化硅膜7和正銀電極8,正銀電極8主要由呈垂直相交的正銀電極副柵82和正銀電極主柵81相連而成。背銀電極1主要由呈垂直相交的背極主柵線11和背鋁柵線12相連而成,在背面氮化硅膜上3開有數(shù)條貫通背面氮化硅膜3和氧化鋁膜4的開槽2構(gòu)成激光開槽區(qū)10,p型硅5露于開槽2中,背鋁柵線12位于開槽2內(nèi)的部分9與p型硅5相連,在背面氮化硅膜3上且位于激光開槽區(qū)10的外圍設(shè)有激光標(biāo)記13,激光標(biāo)記13和激光開槽區(qū)10的相對(duì)位置預(yù)先設(shè)定,在本實(shí)施例中,激光標(biāo)記13為兩個(gè),分別位于太陽能電池15相對(duì)的兩個(gè)邊角,該兩個(gè)激光標(biāo)記13處于同一正方形14上,通過定位激光標(biāo)記13并通過激光開槽區(qū)10最外側(cè)的那條開槽2a、2b分別與和其最靠近的激光標(biāo)記13之間的距離l進(jìn)行印刷背鋁柵線的對(duì)位。在本實(shí)施例中,單個(gè)激光標(biāo)記13的形狀為十字形。在其它實(shí)施例中,單個(gè)激光標(biāo)記13的形狀也可以為三角形、圓形、方形、五邊形或六邊形等。

每條背極主柵線11為完整的一條,或者由數(shù)段組成。背面氮化硅膜3的厚度為20~500nm。氧化鋁膜4的厚度為2~50nm。背鋁柵線12的寬度為55~550微米,背鋁柵線12的寬度大于開槽2的寬度。開槽2為若干組,各組開槽呈平行排布,在本實(shí)施例中,每組開槽是一條完整的開槽。相鄰組開槽2之間的間距為0.5~50mm;開槽2的寬度為50~500微米。

一種上述采用激光標(biāo)記對(duì)位的p型perc雙面太陽能電池的制備方法,具體包括以下步驟:

⑴在p型硅5的正面形成絨面;

⑵在由步驟⑴所得產(chǎn)品的正面進(jìn)行擴(kuò)散,形成n型發(fā)射極6;

⑶去除由步驟⑵所得產(chǎn)品在擴(kuò)散過程形成的磷硅玻璃和周邊pn結(jié);

⑷在由步驟⑶所得產(chǎn)品的背面依次沉積氧化鋁膜4和背面氮化硅膜3,再在正面沉積正面氮化硅膜7,或者在由步驟⑶所得產(chǎn)品的正面沉積正面氮化硅膜7,再在背面依次沉積氧化鋁膜4和背面氮化硅膜3;

⑸在由步驟⑷所得產(chǎn)品的背面打上激光標(biāo)記13,激光標(biāo)記13和激光開槽區(qū)10的相對(duì)位置預(yù)先設(shè)定,該激光標(biāo)記13位于激光開槽區(qū)10的外圍,且處于太陽能電池相對(duì)的兩個(gè)邊角,全部的激光標(biāo)記13處于同一正方形14上,同時(shí)采用激光開設(shè)開槽構(gòu)成激光開槽區(qū)10;

⑹在由步驟⑸所得產(chǎn)品的背面采用絲網(wǎng)印刷或噴墨方式印刷背極主柵線11;

⑺印刷機(jī)通過定位激光標(biāo)記13并根據(jù)激光開槽區(qū)10最外側(cè)的那條開槽2a、2b分別與和其最靠近的激光標(biāo)記13之間的距離l進(jìn)行印刷背鋁柵線12的對(duì)位,在由步驟⑹所得產(chǎn)品的背面且位于激光開槽區(qū)10上采用絲網(wǎng)印刷或噴墨方式印刷背鋁柵線12,背鋁柵線12位于開槽2內(nèi)的部分與p型硅5相連;

⑻在由步驟⑺所得產(chǎn)品的正面采用絲網(wǎng)印刷或噴墨方式印刷正電極漿料;

⑼在由步驟⑻所得產(chǎn)品進(jìn)行高溫?zé)Y(jié),形成背電極1和正銀電極8;

⑽將由步驟⑼所得產(chǎn)品進(jìn)行抗lid退火即得。

可以根據(jù)實(shí)際情況,對(duì)由步驟⑶所得產(chǎn)品的背面進(jìn)行拋光后,再轉(zhuǎn)入步驟⑷。

實(shí)施例2

如圖3所示,本實(shí)施例與實(shí)施例1的不同之處在于:激光標(biāo)記13為四個(gè),分別位于太陽能電池15的四個(gè)邊角,全部的激光標(biāo)記13處于同一正方形14上。

一種上述采用激光標(biāo)記對(duì)位的p型perc雙面太陽能電池的制備方法,包括以下步驟:

⑴在p型硅5的正面形成絨面;

⑵在由步驟⑴所得產(chǎn)品的正面進(jìn)行擴(kuò)散,形成n型發(fā)射極6;

⑶去除由步驟⑵所得產(chǎn)品在擴(kuò)散過程形成的磷硅玻璃和周邊pn結(jié),并對(duì)背面進(jìn)行拋光后,轉(zhuǎn)入步驟⑷;

⑷在由步驟⑶所得產(chǎn)品的背面依次沉積氧化鋁膜4和背面氮化硅膜3,再在正面沉積正面氮化硅膜7,或者在由步驟⑶所得產(chǎn)品的正面沉積正面氮化硅膜7,再在背面依次沉積氧化鋁膜4和背面氮化硅膜3;

⑸在由步驟⑷所得產(chǎn)品的背面打上激光標(biāo)記13,激光標(biāo)記13和激光開槽區(qū)10的相對(duì)位置預(yù)先設(shè)定,該激光標(biāo)記13位于激光開槽區(qū)10的外圍,且處于太陽能電池相對(duì)的四個(gè)邊角,全部的激光標(biāo)記13處于同一正方形14上,同時(shí)采用激光開設(shè)開槽構(gòu)成激光開槽區(qū)10;

⑹在由步驟⑸所得產(chǎn)品的背面采用絲網(wǎng)印刷或噴墨方式印刷背極主柵線12;

⑺印刷機(jī)通過定位激光標(biāo)記13并根據(jù)激光開槽區(qū)10最外側(cè)的那條開槽2a、2b分別與和其最靠近的激光標(biāo)記13之間的距離l進(jìn)行印刷背鋁柵線11的對(duì)位,在由步驟⑹所得產(chǎn)品的背面且位于激光開槽區(qū)10上采用絲網(wǎng)印刷或噴墨方式印刷背鋁柵線12,背鋁柵線12位于開槽2內(nèi)的部分與p型硅5相連;

⑻在由步驟⑺所得產(chǎn)品的正面采用絲網(wǎng)印刷或噴墨方式印刷正電極漿料;

⑼在由步驟⑻所得產(chǎn)品進(jìn)行高溫?zé)Y(jié),形成背電極1和正銀電極8;

⑽將由步驟⑼所得產(chǎn)品進(jìn)行抗lid退火即得。

實(shí)施例3

如圖4所示,本實(shí)施例與實(shí)施例1的不同之處在于:激光標(biāo)記13為兩個(gè),分別靠近太陽能電池15的相對(duì)的兩側(cè)邊,全部的激光標(biāo)記13處于同一正方形14上。

一種上述采用激光標(biāo)記對(duì)位的p型perc雙面太陽能電池的制備方法,包括以下步驟:

⑴在p型硅5的正面形成絨面;

⑵在由步驟⑴所得產(chǎn)品的正面進(jìn)行擴(kuò)散,形成n型發(fā)射極6;

⑶去除由步驟⑵所得產(chǎn)品在擴(kuò)散過程形成的磷硅玻璃和周邊pn結(jié),并對(duì)背面進(jìn)行拋光后,轉(zhuǎn)入步驟⑷;

⑷在由步驟⑶所得產(chǎn)品的背面依次沉積氧化鋁膜4和背面氮化硅膜3,再在正面沉積正面氮化硅膜7,或者在由步驟⑶所得產(chǎn)品的正面沉積正面氮化硅膜7,再在背面依次沉積氧化鋁膜4和背面氮化硅膜3;

⑸在由步驟⑷所得產(chǎn)品的背面打上激光標(biāo)記13,激光標(biāo)記13和激光開槽區(qū)10的相對(duì)位置預(yù)先設(shè)定,該激光標(biāo)記13位于激光開槽區(qū)10的外圍,激光標(biāo)記13為兩個(gè),且分別靠近太陽能電池相對(duì)的兩側(cè)邊,全部的激光標(biāo)記13處于同一正方形14上,同時(shí)采用激光開設(shè)開槽構(gòu)成激光開槽區(qū)10;

⑹在由步驟⑸所得產(chǎn)品的背面采用絲網(wǎng)印刷或噴墨方式印刷背極主柵線12;

⑺印刷機(jī)通過定位激光標(biāo)記13并根據(jù)激光開槽區(qū)10最外側(cè)的那條開槽2a、2b分別與和其最靠近的激光標(biāo)記13之間的距離l進(jìn)行印刷背鋁柵線11的對(duì)位,在由步驟⑹所得產(chǎn)品的背面且位于激光開槽區(qū)10上采用絲網(wǎng)印刷或噴墨方式印刷背鋁柵線12,背鋁柵線12位于開槽2內(nèi)的部分與p型硅5相連;

⑻在由步驟⑺所得產(chǎn)品的正面采用絲網(wǎng)印刷或噴墨方式印刷正電極漿料;

⑼在由步驟⑻所得產(chǎn)品進(jìn)行高溫?zé)Y(jié),形成背電極1和正銀電極8;

⑽將由步驟⑼所得產(chǎn)品進(jìn)行抗lid退火即得。

實(shí)施例4

一種采用激光標(biāo)記對(duì)位的p型perc雙面太陽能電池的制備方法,包括以下步驟:

⑴在p型硅的正面形成絨面;

⑵在由步驟⑴所得產(chǎn)品的正面進(jìn)行擴(kuò)散,形成n型發(fā)射極;

⑶去除由步驟⑵所得產(chǎn)品在擴(kuò)散過程形成的磷硅玻璃和周邊pn結(jié),并對(duì)背面進(jìn)行拋光后,轉(zhuǎn)入步驟⑷;

⑷在由步驟⑶所得產(chǎn)品的背面依次沉積氧化鋁膜和背面氮化硅膜,再在正面沉積正面氮化硅膜,或者在由步驟⑶所得產(chǎn)品的正面沉積正面氮化硅膜,再在背面依次沉積氧化鋁膜和背面氮化硅膜;

⑸在由步驟⑷所得產(chǎn)品的背面打上激光標(biāo)記,激光標(biāo)記和激光開槽區(qū)的相對(duì)位置預(yù)先設(shè)定,該激光標(biāo)記位于激光開槽區(qū)的外圍,且處于太陽能電池相對(duì)的兩個(gè)邊角,全部的激光標(biāo)記處于同一正方形上,同時(shí)采用激光開設(shè)開槽構(gòu)成激光開槽區(qū);

⑹在由步驟⑸所得產(chǎn)品的背面采用絲網(wǎng)印刷或噴墨方式印刷背極主柵線;

⑺印刷機(jī)通過定位激光標(biāo)記并根據(jù)激光開槽區(qū)最外側(cè)的那條開槽分別與和其最靠近的激光標(biāo)記之間的距離進(jìn)行印刷背鋁柵線的對(duì)位,在由步驟⑹所得產(chǎn)品的背面且位于激光開槽區(qū)上采用絲網(wǎng)印刷或噴墨方式印刷背鋁柵線,背鋁柵線位于開槽內(nèi)的部分與p型硅相連;

⑻在由步驟⑺所得產(chǎn)品的正面采用絲網(wǎng)印刷或噴墨方式印刷正電極漿料;

⑼在由步驟⑻所得產(chǎn)品進(jìn)行高溫?zé)Y(jié),形成背電極和正銀電極;

⑽將由步驟⑼所得產(chǎn)品進(jìn)行抗lid退火即得。

在其它實(shí)施例中,每組開槽由數(shù)段開槽組成,或者每組開槽由數(shù)個(gè)通孔狀的開槽和數(shù)段開槽組成,或者每組開槽由數(shù)個(gè)通孔狀的開槽組成,或者每組開槽由沿橫向平行排布的數(shù)列開槽組成,每列開槽由沿縱向平行排布的數(shù)段開槽組成。

本發(fā)明的實(shí)施方式不限于此,根據(jù)本發(fā)明的上述內(nèi)容,按照本領(lǐng)域的普通技術(shù)知識(shí)和慣用手段,在不脫離本發(fā)明上述基本技術(shù)思想前提下,本發(fā)明單個(gè)激光標(biāo)記的形狀以及布置形式、背面氮化硅膜的厚度、氧化鋁膜的厚度、相鄰組開槽之間的間距、背鋁柵線的寬度和開槽的寬度等均還有其它的實(shí)施方式。因此,本發(fā)明還可以做出其它多種形式的修改、替換或變更,均落在本發(fā)明權(quán)利保護(hù)范圍之內(nèi)。

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