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生長(zhǎng)在玻璃襯底上的LED外延片的制作方法

文檔序號(hào):11487453閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.生長(zhǎng)在玻璃襯底上的LED外延片,其特征在于,包括生長(zhǎng)在玻璃襯底上的鋁金屬層,生長(zhǎng)在鋁金屬層上的銀金屬層,生長(zhǎng)在銀金屬層上的AlN緩沖層,生長(zhǎng)在AlN緩沖層上的GaN緩沖層,生長(zhǎng)在GaN緩沖層上的非摻雜GaN層,生長(zhǎng)在非摻雜GaN層上的n型摻雜GaN薄膜,生長(zhǎng)在n型摻雜GaN薄膜上的InGaN/GaN多量子阱,生長(zhǎng)在InGaN/GaN多量子阱上的p型摻雜GaN薄膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生長(zhǎng)在玻璃襯底上的LED外延片,其特征在于,所述鋁金屬層的厚度為150~200μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生長(zhǎng)在玻璃襯底上的LED外延片,其特征在于,所述銀金屬層的厚度為100~300nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生長(zhǎng)在玻璃襯底上的LED外延片,其特征在于,所述AlN緩沖層的厚度為5~50nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生長(zhǎng)在玻璃襯底上的LED外延片,其特征在于,所述GaN緩沖層的厚度為50~80nm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生長(zhǎng)在玻璃襯底上的LED外延片,其特征在于,所述非摻雜GaN層的厚度為200~300nm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生長(zhǎng)在玻璃襯底上的LED外延片,其特征在于,所述n型摻雜GaN薄膜的厚度為3~5μm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生長(zhǎng)在玻璃襯底上的LED外延片,其特征在于,所述InGaN/GaN量子阱為7~10個(gè)周期的InGaN阱層/GaN壘層,其中InGaN阱層的厚度為2~3nm;GaN壘層的厚度為10~13nm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生長(zhǎng)在玻璃襯底上的LED外延片,其特征在于,所述p型摻雜GaN薄膜的厚度為300~350nm。

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