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一種適用于集成電路的新型結(jié)構(gòu)超結(jié)IGBT的制作方法

文檔序號:12653367閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種適用于集成電路的新型結(jié)構(gòu)超結(jié)IGBT,其特征在于:包括:

n-型基區(qū)(1);

p型基區(qū)(2),所述p型基區(qū)(2)為兩個且分別位于所述n-型基區(qū)(1)的左上部和右上部;

N+集電區(qū)(4),位于左上部的p型基區(qū)(2)的上表面內(nèi);

背P+層發(fā)射區(qū)(9),位于右上部的p型基區(qū)(2)的上表面;

集電極(7),位于所述n-型基區(qū)(1)的下表面且與所述背P+層發(fā)射區(qū)(9)電連接;

p柱(3),所述p柱(3)為多個且分布在所述n-型基區(qū)(1)的內(nèi)兩側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于集成電路的新型結(jié)構(gòu)超結(jié)IGBT,其特征在于:所述IGBT還包括發(fā)射極(8),所述發(fā)射極(8)位于左上部的p型基區(qū)(2)和N+集電區(qū)(4)的上表面。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的適用于集成電路的新型結(jié)構(gòu)超結(jié)IGBT,其特征在于:所述IGBT還包括柵氧化層(5),所述柵氧化層(5)位于所述N+集電區(qū)(4)、n-型基區(qū)(1)以及兩個所述p型基區(qū)(2)的上表面。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的適用于集成電路的新型結(jié)構(gòu)超結(jié)IGBT,其特征在于:所述IGBT還包括多晶柵(6),所述多晶柵(6)位于所述柵氧化層(5)的上表面,所述多晶柵(6)的上表面上設(shè)有柵電極(10)。

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