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一種氮化鎵基發(fā)光二極管的外延片的制作方法

文檔序號:11662748閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種氮化鎵基發(fā)光二極管的外延片,所述外延片包括依次層疊的襯底、緩沖層、非摻雜GaN層、N型接觸層、有源層、P型電子阻擋層和P型接觸層,其特征在于,所述外延片還包括夾設(shè)在所述N型接觸層和所述有源層之間的應(yīng)力釋放層,所述應(yīng)力釋放層包括依次層疊在所述N型接觸層上的第一子層、第二子層和第三子層,所述第一子層為N型摻雜的第一GaN層,所述第二子層包括交替層疊的InxGa1-xN層和N型摻雜的第二GaN層,所述第三子層包括N型摻雜的第三GaN層、或者包括交替層疊的非摻雜的第四GaN層和N型摻雜的第五GaN層、或者包括多層N型摻雜的第六GaN層,相鄰兩層所述第六GaN層的摻雜濃度不同。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外延片,其特征在于,所述第三GaN層的摻雜濃度保持不變、先降低再升高、或者先升高再降低。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的外延片,其特征在于,所述第二GaN層的摻雜濃度在所述應(yīng)力釋放層中最高或最低。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的外延片,其特征在于,所述第三子層的厚度在所述應(yīng)力釋放層中最大。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的外延片,其特征在于,所述第三子層的厚度為500~1400nm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的外延片,其特征在于,所述InxGa1-xN層和所述第二GaN層交替層疊的周期數(shù)為2~10。

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