1.一種用于晶圓邊緣的曝光結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述曝光結(jié)構(gòu)包括：
旋轉(zhuǎn)平臺，繞其中心軸線可旋轉(zhuǎn)，其上表面用于放置所述晶圓；
曝光鏡頭，其下方對準所述旋轉(zhuǎn)平臺上放置的晶圓的靠近邊緣的位置；
支架，設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)平臺的外側(cè)，用于固定所述曝光鏡頭；
其中，所述晶圓的上表面涂覆有負性光刻膠，當所述曝光鏡頭進行曝光時，所述晶圓繞所述旋轉(zhuǎn)平臺的中心軸線旋轉(zhuǎn)一周，從而能夠在所述晶圓的靠近邊緣的位置處制作出環(huán)形平臺。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曝光結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述環(huán)形平臺與所述晶圓的邊緣之間的距離設(shè)置為1.4+/-0.3mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曝光結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述曝光鏡頭包括：
外殼；
發(fā)光源，設(shè)置于所述外殼內(nèi)部，用于提供光源；
透鏡，設(shè)置于所述外殼內(nèi)部，沿光線傳播的方向位于所述發(fā)光源的前方；
光闌，設(shè)置于所述外殼的前端，沿光線傳播的方向位于所述透鏡的前方，所述光闌為中心具有一個小孔的環(huán)狀葉片結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的曝光結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述曝光鏡頭的發(fā)光源為由光纖傳導(dǎo)的光源或者為鹵素?zé)簟?/p>
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的曝光結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述曝光鏡頭的透鏡的外側(cè)設(shè)置有卡環(huán)，所述卡環(huán)的外圓周面設(shè)置有外螺紋，所述外殼的內(nèi)部固定所述透鏡的相應(yīng)位置處設(shè)置有一段內(nèi)螺紋，所述卡環(huán)的上表面沿直徑方向設(shè)置有兩個凹槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的曝光結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述曝光鏡頭的外殼設(shè)置為通過螺紋互相嵌合的兩個分體結(jié)構(gòu)，所述透鏡固定于其中一個分體結(jié)構(gòu)的內(nèi)部。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的曝光結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述曝光鏡頭的外殼材料為不銹鋼或者合金。
8.根據(jù)權(quán)利要求3或7任一項所述的曝光結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述曝光鏡頭的光闌為可變光闌，其包括：多個葉片、定圈、動圈及傳動機構(gòu)，所述定圈固定于所述外殼的前端，所述動圈及傳動機構(gòu)設(shè)置于所述外殼的外側(cè)以控制所述多個葉片的運動，使得所述多個葉片之間圍成的小孔的面積為可變的。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的曝光結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述可變光闌的傳動機構(gòu)通過電機驅(qū)動。