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一種通過靜電驅(qū)動進行調(diào)節(jié)的太赫茲帶阻濾波器的制作方法

文檔序號:12772902閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實用新型為一種通過靜電驅(qū)動進行調(diào)節(jié)的太赫茲帶阻濾波器,硅基底的通孔上為二維陣列,上方進入的太赫茲波穿過二維陣列得到濾波,從通孔射出。陣列單元包括倒梯形環(huán)結(jié)構(gòu)和一字形結(jié)構(gòu),倒梯形環(huán)長底邊在上、短底邊在下,中空部位也為梯形,一字形與梯形環(huán)短底邊相對且平行;可動框架套在二維陣列外,框架左右連接靜電梳齒驅(qū)動器的活動梳齒,陣列中同一行的倒梯形環(huán)結(jié)構(gòu)或一字形結(jié)構(gòu)連接框架內(nèi)側(cè),框架前后側(cè)連接梳齒驅(qū)動器的活動梳齒。直流電壓驅(qū)動靜電梳齒驅(qū)動器和梳齒驅(qū)動器工作,帶動可動框架移動,倒梯形環(huán)結(jié)構(gòu)和一字形結(jié)構(gòu)相對運動,改變間距,調(diào)節(jié)本帶阻濾波器的透射功率和中心頻率,顯著提高了太赫茲帶阻濾波器的性能,并拓展其應(yīng)用范圍。

技術(shù)研發(fā)人員:胡放榮;李鵬;王志遠;陳元枝;王月娥;陳濤;牛軍浩;殷賢華;張文濤;韓家廣
受保護的技術(shù)使用者:桂林電子科技大學(xué)
文檔號碼:201620721308
技術(shù)研發(fā)日:2016.07.08
技術(shù)公布日:2017.01.25

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