本實用新型涉及石英舟,特別涉及一種大跨距石英舟。
背景技術:
石英玻璃制品以其優(yōu)良的物理化學特性,被廣泛應用于微電子產(chǎn)業(yè)集成電路芯片 制造業(yè)。石英舟是擴散時的常用工具。擴散是制造太陽能電池光電轉換核心部件-PN 結的工藝環(huán)節(jié),是太陽能電池制造的關鍵技術?,F(xiàn)有的石英舟通常在連接桿上開槽為硅片形 成一個置放區(qū)間,用于擴散時對硅片的承載,現(xiàn)有的石英舟跨距較短,重量大。
技術實現(xiàn)要素:
針對現(xiàn)有技術的不足,本實用新型的目的是提供一種大跨距石英舟。
本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:一種大跨距石英舟,包括上槽棒、位于所述上槽棒下方的下槽板,設置在所述上槽棒兩端的端板,所述端板背離上槽棒一側設有頂桿,所述上槽棒位于所述端板頂面兩側,所述下槽板位于所述端板中下方,所述上槽棒中部設有與所述下槽板連接的支撐桿,所述上槽棒截面為L形,所述上槽棒一側設有上槽口,所述下槽板截面為長方形且下槽板截面高度比所述下槽板截面寬度大,所述下槽板頂面設有下槽口,所述上槽口軸線與所述上槽棒軸線夾角為87°,所述下槽口的開口軸線與所述下槽板軸線夾角為87°。
上述設計中通過支撐桿對上槽棒和下槽板中部進行加強,提升石英舟的整體強度;上槽棒截面為L形,下槽板截面長方形使得上槽棒和下槽板強度高重量輕,所述上槽口軸線與所述上槽棒軸線夾角為87°,所述下槽口的開口軸線與所述下槽板軸線夾角為87°,便于改變上槽棒和下槽板的承載力且防止所載石墨片晃動。
作為本設計的進一步改進,所述支撐桿軸線與水平面夾角為45°,支撐效果好。
作為本設計的進一步改進,所述上槽口和所述下槽口開口處均設有夾角為60°的“八”字口,便于所載石墨片的插入
作為本設計的進一步改進,所述下槽板為兩個且之間間隙為1.5倍所述下槽板截面寬度,提高下槽板的承載力。
作為本設計的進一步改進,所述下槽板截面寬度與所述下槽板截面高度比值為1:2,下槽板的強度高。
本實用新型的有益效果是:本實用新型通過支撐桿對上槽棒和下槽板中部進行加強,提升石英舟的整體強度;上槽棒截面為L形,下槽板截面長方形使得上槽棒和下槽板強度高重量輕,所述上槽口軸線與所述上槽棒軸線夾角為87°,所述下槽口的開口軸線與所述下槽板軸線夾角為87°,便于改變上槽棒和下槽板的承載力且防止所載石墨片晃動。
附圖說明
下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
圖1是本實用新型的正面結構示意圖。
圖2是本實用新型的側面結構示意圖。
圖3是本實用新型的上槽口和下槽口側面結構示意圖。
圖4是本實用新型的上槽口和下槽口俯視結構示意圖。
在圖中1.端板,2.下槽板,3.上槽棒,4.支撐桿,5.上槽口,6.頂桿,7.下槽口,8.“八”字口。
具體實施方式
下面將結合附圖以及具體實施例來詳細說明本實用新型,其中的示意性實施例以及說明僅用來解釋本實用新型,但并不作為對本實用新型的限定。
實施例:一種大跨距石英舟,包括上槽棒3、位于所述上槽棒3下方的下槽板2,設置在所述上槽棒3兩端的端板1,所述端板1背離上槽棒3一側設有頂桿6,所述上槽棒3位于所述端板1頂面兩側,所述下槽板2位于所述端板1中下方,所述上槽棒3中部設有與所述下槽板2連接的支撐桿4,所述上槽棒3截面為L形,所述上槽棒3一側設有上槽口5,所述下槽板2截面為長方形且下槽板2截面高度比所述下槽板2截面寬度大,所述下槽板2頂面設有下槽口7,所述上槽口5軸線與所述上槽棒3軸線夾角為87°,所述下槽口7的開口軸線與所述下槽板2軸線夾角為87°。
上述設計中通過支撐桿4對上槽棒3和下槽板2中部進行加強,提升石英舟的整體強度;上槽棒3截面為L形,下槽板2截面長方形使得上槽棒3和下槽板2強度高重量輕,所述上槽口5軸線與所述上槽棒3軸線夾角為87°,所述下槽口7的開口軸線與所述下槽板2軸線夾角為87°,便于改變上槽棒3和下槽板2的承載力且防止所載石墨片晃動。
作為本設計的進一步改進,所述支撐桿4軸線與水平面夾角為45°,支撐效果好。
作為本設計的進一步改進,所述上槽口5和所述下槽口7開口處均設有夾角為60°的“八”字口8,便于所載石墨片的插入
作為本設計的進一步改進,所述下槽板2為兩個且之間間隙為1.5倍所述下槽板2截面寬度,提高下槽板2的承載力。
作為本設計的進一步改進,所述下槽板2截面寬度與所述下槽板2截面高度比值為1:2,下槽板2的強度高。
以上所述僅為本實用新型的實施例,并非因此限制本實用新型的專利范圍,凡是利用本實用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結構或等效流程變換,或直接或間接運用在其他相關的技術領域,均同理包括在本實用新型的專利保護范圍內(nèi)。