1.一種熱離子轉(zhuǎn)化器的熱-電轉(zhuǎn)化方法,包括:
S1通過原子層沉積技術(shù)在p++硅基層上注澆20nm厚的HfO2層,以作為注澆介質(zhì);
S2通過化學(xué)氣相沉積法在銅箔上制備石墨烯;
S3將石墨烯轉(zhuǎn)移到HfO2層上,并作為轉(zhuǎn)換器陽極;
S4在陽極上施加背柵電壓VG,用以通過靜電注澆效應(yīng)控制陽極逸出功;
S5通過五軸機(jī)械手控制陽極和陰極之間的距離;
S6加熱所述陰極到750℃并維持3小時,以穩(wěn)定此轉(zhuǎn)換器;
S7繼續(xù)加熱并維持所述陰極至在1000℃。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熱離子轉(zhuǎn)化器的熱-電轉(zhuǎn)化方法,其特征在于,所述五軸機(jī)械手具有0.7u弧角以及30nm平移精度。
3.一種熱離子轉(zhuǎn)化器,包括:陰極、陽極和兩電極之間的間隙,其特征在于,所述陽極為背柵石墨烯陽極,所述陰極為鋇鎢陰極,所述間隙的距離為17μm。