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半導(dǎo)體封裝件的制造方法及半導(dǎo)體封裝件與流程

文檔序號:11679447閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體封裝件的制造方法,其與現(xiàn)有的制造方法相比,能夠減少用于形成通孔的材料而形成通孔。所述半導(dǎo)體封裝件的制造方法包括:在支承板之上形成絕緣材料層;在所述絕緣材料層中形成通孔;在所述絕緣材料層之上配置半導(dǎo)體元件,使得所述半導(dǎo)體元件的電極位于所述通孔之上;去除所述支承板;在所述絕緣材料層的與所述半導(dǎo)體元件的一側(cè)相反的面、所述通孔及所述半導(dǎo)體元件的所述電極的面上形成種子層;以及在所述通孔中形成金屬層。

技術(shù)研發(fā)人員:橋本圣昭;山本佑子
受保護的技術(shù)使用者:株式會社吉帝偉士
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.23
技術(shù)公布日:2017.07.25
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