本發(fā)明涉及一種模塑封裝器件開封裝置及開封方法，屬于模塑封裝器件的開封技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

在模塑封裝的可靠性領(lǐng)域，失效分析以及破壞性物理分析是兩種基礎(chǔ)的項(xiàng)目，在這兩種項(xiàng)目中，都需要對(duì)模塑封裝器件進(jìn)行開封以進(jìn)行內(nèi)部檢查。對(duì)塑封器件的開封要求開封時(shí)盡量少地引入外部損傷，達(dá)到不損傷器件結(jié)構(gòu)和內(nèi)部芯片的情況下對(duì)器件進(jìn)行開封。

目前，模塑封裝器件酸自動(dòng)開封機(jī)系統(tǒng)復(fù)雜，價(jià)格昂貴。手工濕法開封中的酸煮法能將芯片徹底暴露出來，但酸煮法用酸量大，且不能保持器件外部結(jié)構(gòu)框架的完整性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是：提供一種模塑封裝器件開封裝置及開封方法，通過本裝置可快速安全地對(duì)模塑封裝器件進(jìn)行開封，開封后的器件外部框架結(jié)構(gòu)完整，芯片表面清潔度能滿足后續(xù)檢查要求，并可減少用酸量和減少清洗所需的試劑，可以克服現(xiàn)有技術(shù)的不足。

本發(fā)明的技術(shù)方案：一種模塑封裝器件開封裝置，包括容器、底板和卡緊裝置，其中，所述容器底部設(shè)有開口，且容器底部邊沿設(shè)有延伸板，所述卡緊裝置與延伸板和位于容器下方的底板連接，通過該卡緊裝置可將延伸板和底板緊固。

所述卡緊裝置包括卡緊螺釘和呈U型的卡緊塊，卡緊螺釘貫穿卡緊塊上端面并與設(shè)置在卡緊塊內(nèi)上端壁的容器延伸板連接，在卡緊塊內(nèi)下端壁上設(shè)置所述底板。

在所述容器延伸板下端設(shè)有開口的墊片。

所述容器材質(zhì)為耐強(qiáng)酸腐蝕的石英玻璃。

所述墊片材質(zhì)為耐強(qiáng)酸腐蝕橡膠。

所述模塑封裝器件開封裝置的開封方法為，首先將待開封模塑封裝器件置于底板上，將墊片置于待開封模塑封裝器的開封窗口上，將容器置于墊片上，并使容器底部開口、墊片開口與待開封模塑封裝器的開封窗口對(duì)齊；然后擰緊卡緊螺釘，使容器、墊片、待開封模塑封裝器得到緊固；最后在容器中加入濃酸并加熱至80℃，即可對(duì)開封模塑封裝器的開封窗口進(jìn)行腐蝕開封。

本發(fā)明的有益效果：使用本發(fā)明裝置對(duì)模塑封裝器件進(jìn)行開封，其使用的裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，用酸量少，可只對(duì)開封區(qū)域進(jìn)行腐蝕，后續(xù)使用于清洗的試劑少，可以極大地減少試驗(yàn)所需的試劑，具有較大的經(jīng)濟(jì)效益。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：1-容器，2-濃酸，3-卡緊螺釘，4-卡緊塊，5-墊片，6-延伸板，7-待開封模塑封裝器，8-開封窗口，9-底板。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。

參考圖1，本發(fā)明模塑封裝器件開封裝置，包括容器1、墊片5、底板9和卡緊裝置，其中，在容器1底部設(shè)有開口，容器1底部邊沿設(shè)有延伸板6，墊片5內(nèi)部設(shè)有與容器1底部開口相同的開口，卡緊裝置包括卡緊螺釘3和呈U型的卡緊塊4，卡緊螺釘3貫穿卡緊塊4上端壁面。

安裝時(shí)，將底板9放置在卡緊塊4內(nèi)下端壁上，容器1延伸板6放置在卡緊塊4內(nèi)上端壁上，墊片5放置在容器1延伸下方。

所述容器1材質(zhì)選用耐強(qiáng)酸腐蝕的石英玻璃，墊片5材質(zhì)選用耐強(qiáng)酸腐蝕橡膠。

本開封裝置的開封方法為：首先將待開封模塑封裝器7件置于底板9上，將墊片5置于待開封模塑封裝器7的開封窗口8上，將容器1置于墊片5上，并使容器1底部開口、墊片5開口與待開封模塑封裝器7的開封窗口8對(duì)齊；然后擰緊卡緊螺釘3，使容器1、墊片5、待開封模塑封裝器7得到緊固；最后在容器1中加入濃酸2并加熱至80℃，使待開封模塑封裝器7開封區(qū)域與熱酸接觸，開始進(jìn)行腐蝕，保持30秒，即可對(duì)待開封模塑封裝器7的開封窗口8進(jìn)行腐蝕開封，在腐蝕完成后，將腐蝕后得到的廢酸倒出，在容器1中加入少量的清洗試劑對(duì)開封窗口8進(jìn)行初步清洗，可以減少后續(xù)清洗所用試劑量。

以上所述，僅為本發(fā)明的具體實(shí)施方式，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)，因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。