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一種晶體硅太陽能電池的制備方法與流程

文檔序號:12066125閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種晶體硅太陽能電池的制備方法,其特征在于:所述制備方法包括如下步驟:

步驟1:利用強酸或強堿對硅片表面進行腐蝕性制絨;

步驟2:利用磷雜質(zhì)源對硅片進行擴散處理;

步驟3:通過拋光處理去除硅片表面的磷硅玻璃和提高硅片表面光潔度;

步驟4:硅片背面形成氧化鋁薄膜;

步驟5:通過等離子體化學(xué)氣相沉積使硅片背面形成氮化硅薄膜;

步驟6:在硅片背面進行激光刻蝕;

步驟7:利用酸清洗硅片;

步驟8:利用離心干燥機對硅片進行離心甩干;

步驟9:通過等離子體化學(xué)氣相沉積使硅片正面形成氮化硅薄膜;

步驟10:背電極、背電場和正電極的制備。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶體硅太陽能電池的制備方法,其特征在于:所述步驟1中的強酸為氫氟酸和硝酸,強堿為氫氧化鈉。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶體硅太陽能電池的制備方法,其特征在于:所述步驟6中激光刻蝕為激光打孔或激光刻槽。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶體硅太陽能電池的制備方法,其特征在于:所述步驟7中的酸為氫氟酸或氯化氫,氫氟酸和氯化氫的質(zhì)量濃度分別為0.2-2%和0.5-3%。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶體硅太陽能電池的制備方法,其特征在于:所述步驟7和步驟8之間還有步驟71:硅片置于去離子水中,并通入超聲波清洗20-80秒。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任意一條所述晶體硅太陽能電池的制備方法,其特征在于:所述步驟8中離心干燥機轉(zhuǎn)速為50-150轉(zhuǎn)/分,溫度為40-80℃,干燥時間60-180秒。

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