1.一種防打火直流離子源，包括離子光學(xué)組件（1），其特征在于：所述離子光學(xué)組件（1）包括屏柵（11）、加速柵（12）和防打火柵（13），所述屏柵（11）、所述加速柵（12）和所述防打火柵（13）依次布置且柵孔彼此對準(zhǔn)，所述屏柵（11）上施加正電壓，所述加速柵（12）上施加負(fù)電壓，所述防打火柵（13）接地。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防打火直流離子源，其特征在于：還包括陽極桶（2）、底板組件（3）、支撐組件（4）及工作氣體輸入組件（5），所述屏柵（11）、加速柵（12）和防打火柵（13）自下而上依次布置于所述陽極桶（2）上方，所述支撐組件（4）支撐于所述底板組件（3）下方，所述陽極桶（2）設(shè)于所述底板組件（3）上，陽極桶（2）內(nèi)設(shè)有陰極燈絲（6），所述工作氣體輸入組件（5）通過所述底板組件（3）與所述陽極桶（2）連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的防打火直流離子源，其特征在于：所述陽極桶（2）外周還設(shè)有水冷組件（7），所述水冷組件（7）上下兩端分別與屏柵（11）和底板組件（3）法蘭連接，所述水冷組件（7）包括內(nèi)筒（71）及設(shè)于內(nèi)筒（71）外周的外筒（72），所述內(nèi)筒（71）和所述外筒（72）之間構(gòu)成水冷腔（73），所述底板組件（3）上設(shè)有一對水冷接頭（8），各水冷接頭（8）與所述水冷腔（73）連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的防打火直流離子源，其特征在于：所述底板組件（3）包括底板（31）及上蓋（32），所述底板（31）中部設(shè)有凸臺(tái)（311），所述上蓋（32）與所述凸臺(tái)（311）連接，所述陽極桶（2）和所述陰極燈絲（6）設(shè)于所述上蓋（32）上，所述凸臺(tái)（311）中部設(shè)有進(jìn)氣孔（312），凸臺(tái)（311）上表面設(shè)有勻流槽（313），所述上蓋（32）沿周向均勻設(shè)有多個(gè)出氣孔（321），所述進(jìn)氣孔（312）、所述勻流槽（313）和所述出氣孔（321）連通，所述工作氣體輸入組件（5）包括進(jìn)氣管（51）及絕緣接頭（52），所述絕緣接頭（52）連接于所述進(jìn)氣孔（312）與所述進(jìn)氣管（51）之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的防打火直流離子源，其特征在于：所述支撐組件（4）包括基座（41）及沿基座（41）周向均勻布置的多根支撐桿（42），各支撐桿（42）上端設(shè)有螺紋連接段（421）并于螺紋連接段（421）設(shè)置一對絕緣鎖緊螺母（422），所述螺紋連接段（421）穿過所述底板組件（3）的法蘭連接處，一對絕緣鎖緊螺母（422）分設(shè)于所述底板組件（3）上下兩側(cè)。