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一種p型指數(shù)摻雜結構GaN光電陰極材料的生長方法與流程

文檔序號:12275271閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種p型指數(shù)摻雜結構GaN光電陰極材料的生長方法,其特征在于,包括以下步驟:

A、將清洗后雙面拋光的c軸向藍寶石襯底置于原子層沉積系統(tǒng)生長室內(nèi);

B、向所述原子層沉積系統(tǒng)生長室內(nèi)通入鎵源氣體和載體氣體,所述的鎵源氣體作為第一反應前驅體在藍寶石襯底上進行化學吸附,所述鎵源氣體中的鎵原子吸附在所述的藍寶石襯底上;

C、吸附在藍寶石襯底上的鎵原子與電離后的氮源前驅體發(fā)生反應,直到所述藍寶石襯底表面的鎵原子完全反應;

D、向原子層沉積系統(tǒng)中通入作為摻雜元素的前驅體鎂源氣體和載體氣體,類似鎵原子的吸附過程,鎂原子會吸附在材料的生長表面,形成p型摻雜;

E、按照一定的比例關系重復步驟B、C、D,并且在每個步驟后都通入清洗氣體,即可在所述藍寶石襯底上形成p型指數(shù)摻雜結構的GaN薄膜。

2.如權利要求1所述的p型指數(shù)摻雜結構GaN光電陰極材料的生長方法,其特征在于,所述鎵源氣體是氯化鎵或三甲基鎵。

3.如權利要求1所述的p型指數(shù)摻雜結構GaN光電陰極材料的生長方法,其特征在于,所述的清洗氣體和載體氣體是氬氣。

4.如權利要求1所述的p型指數(shù)摻雜結構GaN光電陰極材料的生長方法,其特征在于,所述的氮源前驅體是氨氣。

5.如權利要求1所述的p型指數(shù)摻雜結構GaN光電陰極材料的生長方法,其特征在于,所述的鎂源前驅體是二茂鎂。

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