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半導(dǎo)體器件的制作方法

文檔序號(hào):11586810閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本公開(kāi)涉及功耗降低的半導(dǎo)體器件。該器件包括:n型阱區(qū)域,位于半導(dǎo)體主體的主面之上;元件隔離區(qū)域,位于主表面之上;第一和第二有源區(qū)域,位于n型阱區(qū)域中并且被元件隔離區(qū)域環(huán)繞;絕緣膜,位于第一有源區(qū)域中的主表面之上;半導(dǎo)體層,位于絕緣膜之上;柵電極層,通過(guò)柵極絕緣膜位于半導(dǎo)體層之上;p型源極和漏極區(qū)域,在柵電極層的兩個(gè)端部處形成在半導(dǎo)體層中;偽柵電極層,通過(guò)柵極絕緣膜位于半導(dǎo)體層之上;n型半導(dǎo)體區(qū)域,位于第二有源區(qū)域中的n型阱區(qū)域表面之上;以及電源布線,與n型半導(dǎo)體區(qū)域耦合。偽柵電極層電浮置。

技術(shù)研發(fā)人員:山本芳樹(shù)
受保護(hù)的技術(shù)使用者:瑞薩電子株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日:2016.10.26
技術(shù)公布日:2017.08.11
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