本發(fā)明涉及使用于半導體工廠的天車運輸系統(tǒng)，特別涉及一種用于輸送芯片的天車、運行天車的系統(tǒng)與運行天車的方法。

背景技術(shù)：

隨著半導體工業(yè)的發(fā)展，特別是在超大型集成電路(ulsi)的設(shè)計和發(fā)展，為了滿足高密度集成電路設(shè)計要求，器件尺寸必須微縮到納米等級，因此，通常包含許多工藝步驟，用來制造所需的集成電路，如蝕刻，研磨，擴散和沉積工藝。也就是說，制造過程從開始到結(jié)束，同一批次的芯片可被重復的從一個工藝設(shè)備被運輸?shù)搅硪粋€工藝設(shè)備進行處理。

請參考圖1，圖1為目前已知使用于半導體工廠的軌道天車系統(tǒng)。一般來說，芯片在半導體廠10中會經(jīng)過多種的工藝設(shè)備12，例如：顯影，蝕刻，研磨，擴散和沉積等設(shè)備。在半導體制造工藝中，芯片將被放置于合適的容器中，例如前開式芯片盒(frontopenunitedpods,foups)，并通過天車的運送，使其反復的傳輸在各種工藝設(shè)備12的載入端14之間。但是，受到天車18只能沿著高架軌道16移動的限制，芯片的運送往往相當費時。例如，無論工藝設(shè)備間的距離有多遠，天車18只能沿著位工藝設(shè)備上方的軌道路徑20移動。

圖2是另一個已知的軌道天車系統(tǒng)。如圖2所示，由于工藝設(shè)備偶爾會因為工藝的更新而被重新配置位置。在重新配置后，某些工藝設(shè)備，例如工藝設(shè)備12a，仍會維持在原位，而部份工藝設(shè)備，例如：工藝設(shè)備12b，將被加入半導體廠10中或被重新設(shè)置到新的位置。另外，為了讓前開式芯片盒(frontopenunitedpods,foups)可以順利的傳輸?shù)阶兏^位置的工藝設(shè)備12a與12b的載入端14a與14b，高架軌道16a與16b也必須根據(jù)新的載入端14a 與14b的位置，被新增或是從原來的位置移除。但是，當采用上方軌道來導引天車到載入端14b時，即使只有一臺工藝設(shè)備12b被導入或是變動，軌道16b下方的所有工藝設(shè)備12b都必須停止運作一段很長的時間。因此，生產(chǎn)速率將因為工藝設(shè)備12b的停機而下降。換句話說，會對生產(chǎn)鏈的管理產(chǎn)生不良的影響。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明提供了一種改良的用于輸送芯片的天車、運行天車的系統(tǒng)與運行天車的方法

根據(jù)本發(fā)明一實施例所提供的一種用于輸送芯片的天車，包括運行裝置與起吊裝置，其中運行裝置是配置在平臺的第一側(cè)上并沿著預定路徑行進，平臺是吊掛在天花板上，而起吊裝置，是對應(yīng)于運行裝置的位置而沿著前述預定路徑行進。運行裝置與起吊裝置各自包含磁鐵，因此起吊裝置可以通過磁鐵間的磁力而被吊掛在天花板上。

根據(jù)本發(fā)明另一個實施例提供的一種運行天車的方法，包含以下步驟：通過路徑規(guī)劃模塊以產(chǎn)生一預定路徑，傳遞包括所述預定路徑的資訊到運行裝置，在天花板的一側(cè)沿著預定路徑移動運行裝置，在移動運行裝置的過程中，同時移動起吊裝置，使其根據(jù)運行裝置的位置而沿著預定路徑移動。由于運行裝置與起吊裝置之間各自包含一磁鐵，當起吊裝置移動時，可以通過磁鐵間的磁力將起吊裝置吊掛在天花板上。

根據(jù)本發(fā)明又另一個實施例所提供的一種運行天車的系統(tǒng)，包含用來產(chǎn)生一預定路徑的手段、用來傳遞包括所述預定路徑的信息的另一手段與可用來接受包括所述預定路徑的信息的至少一個天車。天車可以進一步包含運行裝置與起吊裝置，其中運行裝置配置在天花板的一側(cè)且沿著所述預定路徑行進，而起吊裝置則對應(yīng)于運行裝置的位置，而沿著所述預定路徑行進，其中運行裝置與起吊裝置的間各自包含一磁鐵，當起吊裝置移動時，可以通過磁 鐵間的磁力，將起吊裝置吊掛在天花板上。

由于軌道并非本發(fā)明天車運行的必要器件，且即使半導體廠內(nèi)沒有安裝軌道，天車還是可以運行在天花板的任意位置。相較于已知的軌道引導的系統(tǒng)，本發(fā)明提供的天車可以通過較彈性與有效率的方式運行。另外，在移動工藝設(shè)備進出半導體廠房的過程中，不需要停止任何鄰近新導入或即將被移除的工藝設(shè)備周邊的工藝設(shè)備。因此，采用本發(fā)明所提供的天車、運行天車之的系統(tǒng)與運行天車之的方法，在設(shè)備更新過程中，半導體器件的生產(chǎn)速率不會產(chǎn)生顯著影響。

對本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，可以輕易的從本發(fā)明的附圖、描述與權(quán)利要求范圍來了解本發(fā)明的其他技術(shù)優(yōu)點。另外，對于以上詳載的多項具體技術(shù)優(yōu)點，本發(fā)明所提供的各不同實施例可以包括其全部或部份，或甚至不包括任何上述的具體技術(shù)優(yōu)點。

通過下文對于本發(fā)明各實施例的詳細描述，并參考其附圖后，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可輕易了解本發(fā)明的目的。

附圖說明

圖1說明了一般目前半導體代工廠中所使用的軌道導引天車系統(tǒng)；

圖2說明了一般目前半導體代工廠中所使用的另一種軌道導引天車系統(tǒng)；

圖3是根據(jù)本發(fā)明一實施例，說明了使用于半導體代工廠中的天車的細部構(gòu)造；

圖4是根據(jù)本發(fā)明一實施例，說明了安裝于一天車上的磁場產(chǎn)生裝置的細部構(gòu)造；

圖5是根據(jù)本發(fā)明一實施例，說明了天車在抬升或下降一用于裝載芯片的容器的運作方式；

圖6是根據(jù)本發(fā)明一實施例，說明了使用于控制一天車移動的管理模塊的內(nèi)部器件；

圖7是根據(jù)本發(fā)明一實施例，說明了天車傳輸用于裝載芯片的容器的運作方式；

圖8是根據(jù)本發(fā)明一實施例的流程圖，說明了管理天車移動的管理模塊的運作方式。

其中，附圖標記說明如下：

10半導體廠12工藝設(shè)備

12a工藝設(shè)備12b工藝設(shè)備

14載入端14a載入端

14b載入端16高架軌道

16a高架軌道18天車

20軌道路徑

100天車120驅(qū)動模塊

200運行裝置202主體

204機動輪206穩(wěn)定輪

208磁場產(chǎn)生裝置208a空心腔室

208b金屬線208c磁芯

210控制模塊212障礙傳感器件

214識別信號發(fā)送器216位置傳感器件

218基準標記220電池

300起吊裝置302主體

304輔助輪306磁場產(chǎn)生裝置

310起吊機312升降平臺

314夾盤316物件

320位置傳感器件

400平臺402支撐柱

404天花板

500工藝設(shè)備502載入端

504識別信號發(fā)送器

600工作區(qū)間608管理模塊

610格柵612單元

614路徑614a當前區(qū)段

614b當前區(qū)段614c當前區(qū)段

620資源調(diào)度模塊622路徑規(guī)劃模塊

624區(qū)段預約模塊626處理器

628存儲器630通訊界面模塊

802步驟804步驟

806步驟808步驟

810步驟812步驟

814步驟816步驟

818步驟

具體實施方式

通過參考附圖所呈現(xiàn)的各種實施例，下文將進一步完整說明本發(fā)明。需注意的是，此發(fā)明可以不同形式呈現(xiàn)，且不限于下文所提供的各實施例。相反的，下文中所提供的實施例是用來完整且詳盡的提供本發(fā)明，使本領(lǐng)域技術(shù)人員了解本發(fā)明所涵蓋的范圍。在附圖中，為了清楚起見，除了有明確指示外，各器件與區(qū)域的尺寸與相對尺寸非根據(jù)實際比例繪示。

可以了解的是，雖然詞語中第一、第二、第三等在此可以用來描述各種組成、器件、區(qū)域、層和/或部分，但是這些組成、器件、區(qū)域、層和/或部分不應(yīng)受這些詞語限制。這些詞語只是用來區(qū)分一個組成、器件、區(qū)域、層和/或部分與另一個組成、器件、區(qū)域、層和/或部分。本文詞語中所使用的第一、第二與其他數(shù)字詞語并不意味著順序或序列，除非本文有明確限定。因此，一個第一組成、器件、區(qū)域、層和/或部分可以是一個第二組成、器件、區(qū)域、層和/或部分，而不悖離本實施例的教導。

本文所使用的術(shù)語是以描述特定實施例為目的，且不應(yīng)被解讀為限制性用語。如本文所使用的單數(shù)詞語“一個”與“所述”，除非內(nèi)文明確限定，其也可以包含多數(shù)的形式。術(shù)語“包含”和/或“包括”都是包括，因此其所指定的特征、整數(shù)、步驟、操作、組成和/或器件不排除存在或添加一或多個其他特征、整數(shù)、步驟、操作、組成、器件和/或群組。下文中所描述的方法步驟、工藝與操作不應(yīng)被解釋成必須根據(jù)討論或說明的特定順序才有效果，除非文中明確說明其順序的效果。實施時采用新增或替換步驟是可以理解的。

除非另有明確定義，文中所使用的詞語(包含技術(shù)與科學術(shù)語)的意義是相同于本領(lǐng)域技術(shù)人員所能理解的意義。另外，對于一般的術(shù)語，如同一般字典中所定義的術(shù)語，其應(yīng)當以相符于相關(guān)技藝與本發(fā)明所提供的意義進行解釋，而不會以理想化或過于正式的方式去解釋。

在以下段落中，提供一個天車的結(jié)構(gòu)、一個具有天車的傳輸系統(tǒng)與一個 操作天車的方法的細節(jié)。

圖3是根據(jù)本發(fā)明一實施例，說明了使用于半導體代工廠中的天車的細部構(gòu)造。根據(jù)圖3，半導體代工廠是采用了在平臺400上移動的天車100，天車100可用于傳輸容器，例如：前開式芯片盒(frontopeningunifiedpod,foup)，使容器移動到不同位置。根據(jù)本發(fā)明一實施例，天車100是一個無人搬運車(automatedguidedvehicle,agv)，能在不需要軌道的情況下，在工藝設(shè)備的上方移動，因此，相較于目前已知的使用上方軌道導引傳輸系統(tǒng)的天車，本發(fā)明的天車100可以更自由的在平臺400上移動。更具體的說，平臺400是通過多個支撐柱402吊掛在天花板404上，每一個支撐柱402可以包含一個剛性柱體或可伸縮的柱體，如此平臺400與天花板404的間的高度將可以由所述支撐柱402的長度來決定。為了讓所述天車100自由的在空間中移動，支撐柱402的長度必須夠長，優(yōu)選的長度是比所述天車100上部部件的高度要長。

具體的說，天車100的器件可以包含至少一個運行裝置200與一個起吊裝置300。運行裝置200與起吊裝置300可以各自安裝磁鐵，例如：一個磁場產(chǎn)生裝置208與306，其可以在正?；蛱囟ㄇ闆r下產(chǎn)生磁場。換句話說，磁場產(chǎn)生裝置208與306可以是永久磁鐵或暫時磁鐵，例如：電磁鐵。通過適當?shù)目刂拼艌?，由磁場所產(chǎn)生磁力便可被用來支撐所述起吊裝置300，使所述起吊裝置300可以在所述平臺400上運行。

在本發(fā)明一實施例中，運行裝置200可沿著一預定路徑在一平臺400上方移動，運行裝置200的器件可包括主體202、至少一對樞接于主體202上且可旋轉(zhuǎn)的機動輪204、至少一對位于主體202端部的穩(wěn)定輪206(選擇性設(shè)置)、一安置于主體202下部的磁場產(chǎn)生裝置208與一用于監(jiān)視和/或控制運行裝置200和天車100運行的控制模塊210，另外，運行裝置200的主體202可以另包含各種感測器，例如：位置傳感器件216與障礙傳感器件212，這些感測器可以用來確定所述運行裝置200的位置與偵測所述運行裝置200附 近的障礙物。

機動輪204可以用來驅(qū)動運行裝置200。舉例來說，根據(jù)一實施例，機動輪204可以依第一方向旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動運行裝置200向前移動。另外，機動輪204也可以依第二方向旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動運行裝置200向后移動。另一方面，在所示的實施例中，可以通過將機動輪204各自以不同方向或不同轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，以使得運行裝置200轉(zhuǎn)向。

在附圖中，位置傳感器件216可以是一個或多個感測器、傳感器或其他器件，可用于適當?shù)拇_定運行裝置200位置的各種方式，例如，在一個具體實施例中，在運輸系統(tǒng)有關(guān)的工作場所中，涵蓋整個或部分工作場所，包含多個可在二維網(wǎng)格上標記的基準標記218。在此實施例中，位置傳感器件216可以包含一照相機與適當?shù)挠跋窈?或視頻處理器件，例如一個適當編程的數(shù)碼信號處理器，以使位置傳感器件216可以在鏡頭可視范圍內(nèi)偵測基準標記218，每當位置傳感器件216更新基準標記218的位置資訊時，控制模塊210可以儲存位置傳感器件216所測得的位置資訊。因此，當運行裝置200在工作區(qū)間內(nèi)移動時，位置傳感器件216可以利用基準標記218來精準標示運行裝置200的位置，以及做為移動的輔助。

障礙傳感器件212可代表一個或多個感測器，其可以偵測運行裝置200一個或多個行進方向上的物體，以利運行裝置200移動，障礙傳感器件212可以利用任何適當?shù)钠骷蚣夹g(shù)，包含光學的、雷達的、聲納的、壓力感測的和/或其他可以適當偵測位于運行裝置200行進方向上的物體位置的偵測裝置種類，在實施例中，障礙傳感器件212可以傳遞其所偵測到物體的信息給控制模塊210，如此一來，控制模塊210可以辨識障礙物存在并采取適當?shù)难a救措施，防止運行裝置200與障礙物及/或其他物體相撞。

障礙傳感器件212也可以偵測相鄰于運行裝置200的其他運行裝置所傳送的信號。舉例來說，根據(jù)一實施例，一或多個運行裝置200可以包含一識 別信號發(fā)送器214以傳送一驅(qū)動識別信號。通過偵測驅(qū)動識別信號，其他運行裝置200可據(jù)以判斷出傳送此信號的物體實際上是一運行裝置200，識別信號發(fā)送器214可以傳遞紅外線、紫外線、音頻、可見光、無線電波和/或其他可適當指示接收端其傳送裝置為運行裝置200的信號。

另外，在特定的實施例中，所述障礙傳感器件212也能夠偵測其他運行裝置200所傳遞的狀態(tài)資訊的信號。舉例來說，根據(jù)一實施例，由識別信號發(fā)送器214所傳遞的識別信號時也能夠包含與運行裝置200相關(guān)的狀態(tài)資訊，這個狀態(tài)資訊可以包含傳遞運行裝置200的位置、速度、方向與剎車能力，但不限于此。根據(jù)本發(fā)明另一實施例，當運行裝置200緊鄰于其他運行裝置而運行時，運行裝置200可以使用從其他運行裝置所傳遞出的狀態(tài)資訊來避免互相碰撞。

安裝在運行裝置200的控制模塊210可以用來監(jiān)視和/或控制機動輪204的運作，控制模塊210也可以接收傳感器的信息，例如位置傳感器件216與障礙傳感器件212的信息，并根據(jù)這些信息調(diào)整驅(qū)動模塊120的運作和/或運行裝置200的其他器件。另外，根據(jù)本發(fā)明另一實施例，運行裝置200可用來與運輸系統(tǒng)的管理裝置進行溝通，且控制模塊210也可以用來接收傳遞到運行裝置200的指令，并利用運行裝置200上的適當通訊器件回傳信息到管理裝置。控制模塊210可以包括任何可適當提供上述功能的硬體和/或軟體，在實施例中，控制模塊210包括一通用的微處理器，可編程以提供上述功能。

除了上述提供的運行裝置200外，天車100也可以包含起吊裝置300，起吊裝置300可在平臺400的另一側(cè)移動，且其移動路徑是對應(yīng)于運行裝置200的移動路徑。具體的說，雖然起吊裝置300與相對應(yīng)的運行裝置200被平臺400分開，但是起吊裝置300在移動時仍可以吊掛在平臺400上，其原因在于所述磁場產(chǎn)生裝置306與208分別安裝于起吊裝置300與運行裝置200內(nèi)，且磁場產(chǎn)生裝置306與208可以產(chǎn)生足夠的磁力來支撐起吊裝置300。

根據(jù)圖3所示結(jié)構(gòu)的實施例中，起吊裝置300可以包含至少一裝有磁場產(chǎn)生裝置306的主體302、連接于主體302的一對輔助輪304、可偵測位于起吊裝置300下方工藝設(shè)備的位置的一位置傳感器件320與可以升高或降低一升降平臺312的一起吊機310。在傳輸過程中，一夾盤314連接于升降平臺上，可用來抓住一物件316上方的一凸緣，例如：前開式芯片盒(frontopeningunifiedpod,foup)，通過控制所述天車100的移動，將物件316傳輸?shù)揭活A定位置，例如：特定工藝設(shè)備的載入端，一旦物件316到達特定工藝設(shè)備的載入端的上方，所述升降平臺312可以下降直到物件316放置于載入端上。之后，可以取出存放于物件316內(nèi)的所述半導體芯片，使其進入相應(yīng)工藝設(shè)備的工藝。

圖4是根據(jù)本發(fā)明一實施例，說明了安裝于一天車上的磁場產(chǎn)生裝置的細部構(gòu)造。如圖4所示，安裝于運行裝置200上的磁場產(chǎn)生裝置208是一個螺線管，也稱為電磁鐵，其包含一空心腔室208a、纏繞于空心腔室208a周邊的多匝金屬線208b與放置于空心腔室208a的空腔中的選擇性設(shè)置的磁芯208c。金屬線208b的兩端可與一電池220電性連接，以在金屬線208b的兩端產(chǎn)生電位差。通過控制在金屬線208b內(nèi)的電流大小，可以改變磁場產(chǎn)生裝置208所產(chǎn)生的磁場與磁力。通過這種方法，裝有磁場產(chǎn)生裝置208的運行裝置200可以吸引任何被磁化的物體。除此的外，磁芯208c可由鐵磁或次鐵磁材料制成，其可以集中磁通量，因此可以產(chǎn)生較強的磁場。雖然上述所提供的磁場產(chǎn)生裝置208包含一些多匝金屬線208b與磁芯208c，根據(jù)本發(fā)明另一個實施例中，螺線管208中的磁芯208c是可以被省略的。也就是說，磁芯208c是螺線管208的非必要的器件。另外，圖3所示起吊裝置300中的磁場產(chǎn)生裝置306的結(jié)構(gòu)可以與圖4中磁場產(chǎn)生裝置208的結(jié)構(gòu)相同。也就是說，起吊裝置300中的磁場產(chǎn)生裝置306也可以是螺線管，其具有空心腔體、金屬線與選擇性設(shè)置的磁芯。

圖5是根據(jù)本發(fā)明一實施例，說明了天車用于上升或下降一裝載芯片的容器的運作方式。運行裝置200與起吊裝置300可以沿著一預定路徑移動，直到到達預定的終點位置。這時，天車100的位置可以利用位置傳感器件216 與基準標記218來確定。另外，為了讓物件316可以被精確的放置在工藝機臺的載入端502上，可根據(jù)起吊裝置300的位置傳感器件320所傳送的位置資訊進一步調(diào)整天車100的位置。舉例來說，位置傳感器件320可以偵測安裝于工藝設(shè)備500上一識別信號發(fā)送器504的位置。在某一情況下，當位置傳感器件320與識別信號發(fā)送器504間的距離小于一預定閥值時，物件316將會被降低，直到到達所述工藝設(shè)備500的載入端502。在另外一個情況下，當位置傳感器件320與識別信號發(fā)送器504的距離大于一預定閥值時，天車100將慢慢的從它的原始位置移開，直到位置傳感器件320與識別信號發(fā)送器504間的距離小于或等于預定閥值。因此，由于天車100在運輸期間并非由任何導軌導引，本發(fā)明相較于目前已知的導軌導引的運輸系統(tǒng)，天車100可以通過較自由與較彈性的方式在平臺400上移動。

圖6是根據(jù)本發(fā)明一實施例，說明了使用于控制天車100移動的管理模塊器件的運作細節(jié)，根據(jù)圖6結(jié)構(gòu)中的實施例，管理模塊608可以產(chǎn)生指令到對應(yīng)的天車100。當天車100收到從管理模塊608傳來的指令時，便會執(zhí)行所述指令所指定的任務(wù)。

具體而言，管理模塊608可以包含一資源調(diào)度模塊620、一路徑規(guī)劃模塊622、一區(qū)段預約模塊624、一通訊界面模塊630、一處理器626與一存儲器628。管理模塊608可以代表一單一器件、位于工作場所中央位置的多個器件或分散于工作場所的多個器件。舉例來說，管理模塊608可以在運行裝置200的間傳送信息，并協(xié)調(diào)工作區(qū)間內(nèi)的多個運行裝置200的移動。一般來說，管理模塊608可以包含任何適當?shù)能浖?或硬體的組合，以提供上述的功能。

處理器626可以執(zhí)行來自管理模塊608與功能相關(guān)聯(lián)的指令，處理器626可以包含一或多個通用計算機、微處理器或其他可以溝通電信號的運算裝置，處理器626可包含一個或多個特定應(yīng)用的集成電路(application-specificintegratedcircuits,asic)、可編程的邏輯柵器件(field-programmablegatearrays, fpgas)、數(shù)碼信號處理器(digitalsignalprocessors,dsps)與任何其他適當?shù)奶囟ɑ蛲ㄓ媚康牡奶幚砥鳌?/p>

在運轉(zhuǎn)期間，存儲器628可以儲存處理器指令、請求或預約信息、傳輸系統(tǒng)中的各種狀態(tài)資訊及/或任何其他適當值、參數(shù)或可被管理模塊608使用的信息，存儲器628可以代表任何資料儲存的集合與排列，包括揮發(fā)性或非揮發(fā)性存儲器、本地或遠端裝置等。存儲器628可包含隨機存取存儲器(randomaccessmemory,ram)、唯讀存儲器(readonlymemory,rom)裝置、磁性儲存裝置(magneticstoragedevices)、光學儲存裝置(opticalstoragedevices)或任何其他適當?shù)馁Y料儲存裝置，但不以此為限。

資源調(diào)度模塊620可處理接收到的請求，并產(chǎn)生一或多個需經(jīng)由運輸系統(tǒng)中的器件所完成的指定任務(wù)。資源調(diào)度模塊620也可以選擇由一個或多個適當器件來完成指定任務(wù)，或者使用溝通介面模塊630以將指定任務(wù)傳送給相關(guān)器件。另外，資源調(diào)度模塊620也可以負責產(chǎn)生與各種管理操作相關(guān)的指定任務(wù)，例如：促使運行裝置200對電池充電或使電池被更換、指示閑置的運行裝置200停留在預期天車運行區(qū)域之外或者停留在接近未來任務(wù)的可能位置及/或指引選定的運行裝置200前往指定的維護站進行修理或維護。

路徑規(guī)劃模塊622可以接收來自于各個運行裝置200的路徑請求，當請求中的運行裝置200執(zhí)行任務(wù)時，這些路徑請求會指示出一或多個與天車運行任務(wù)相關(guān)的終點位置。在收到一路徑請求后，路徑規(guī)劃模塊622根據(jù)路徑請求中所指示的一或多個終點位置而產(chǎn)生一通過這些終點位置的路徑。路徑規(guī)劃模塊622可以使用任何適當演算法來產(chǎn)生適當路徑，其中包含使用任何適當參數(shù)、因素及/或決定適當路經(jīng)的考量。在產(chǎn)生一適當路徑后，路徑規(guī)劃模塊622會使用溝通介面模塊630，將含有所述適當路徑的反饋信息傳送給請求的運行裝置200。

當區(qū)段預約模塊624收到來自運行裝置200的預約請求，且運行裝置200 正試圖沿著路徑規(guī)劃模塊622所產(chǎn)生的預定路徑移動時，這些預約請求會要求使用工作區(qū)間的特定部分(即這里所指的“區(qū)段”)，使得請求中的運行裝置200在行經(jīng)預約區(qū)段時不會和其他運行裝置200產(chǎn)生碰撞。在收到預約請求后，區(qū)段預約模塊624會通過溝通介面模塊630向請求中的運行裝置200傳送允許或拒絕預約請求的回饋信息。上述過程將在以下說明中詳細說明。

所述溝通介面模塊630使得資訊溝通變得容易。例如，在管理模塊與運輸系統(tǒng)的其他器件之間的溝通，其中包含預約反應(yīng)、預約請求、路徑請求、路徑反應(yīng)與任務(wù)指派。這些預約反應(yīng)、預約請求、路徑請求、路徑反應(yīng)與任務(wù)指派可以代表所述管理模塊608能力范圍內(nèi)的任何適當形式的通訊，與可以包含任何適當?shù)馁Y訊，根據(jù)所述管理模塊608的構(gòu)造，通過有線與無線信號溝通，溝通介面模塊630可以促進管理模塊608與傳輸系統(tǒng)的各種器件間的信號溝通，在特定的實施例中，所述管理模塊608可以使用特定通訊協(xié)定溝通，如：802.11，藍牙或紅外數(shù)據(jù)協(xié)會(irda)標準。

一般來說，資源調(diào)度模塊620、路徑規(guī)劃模塊622的區(qū)段預約模塊624與溝通介面模塊630可以各自代表用來適當提供上述功能的任何適當?shù)能浻搀w。另外，如上述所提到，在特定實施例中，管理模塊608可以是多個不同且分離的器件，且資源調(diào)度模塊620、路徑規(guī)劃模塊622、區(qū)段預約模塊624與溝通介面模塊630的任一或全部可以是與管理模塊608中其他器件的器件。此外，任何兩或多個所述資源調(diào)度模塊620、路徑規(guī)劃模塊622、區(qū)段預約模塊624與溝通介面模塊630可以共用相同的器件。舉例來說，在特定的實施例中，資源調(diào)度模塊620、路徑規(guī)劃模塊622、區(qū)段預約模塊624可以是在處理器626上執(zhí)行的電腦運算程序，而溝通介面模塊630則包含一無線發(fā)送器、一無線接收器與一執(zhí)行相關(guān)電腦運算的處理器626。

請參考圖7與圖8。圖7是根據(jù)本發(fā)明一實施例，說明了天車傳輸載有芯片的容器的運作方式。圖8是一個流程圖，詳細說明根據(jù)本發(fā)明一實施例管理模塊在管理天車移動的操作方式。圖8流程圖中說明的任何步驟，可以 被合并、修正或適當?shù)膭h除，并且也可以增加額外的步驟到圖8的流程圖中。另外，在不脫離本發(fā)明范圍的情況下，上述步驟可以任何合適的順序呈現(xiàn)。

參考圖7，在所示的一傳輸系統(tǒng)實施例中，工作區(qū)間600與包含多數(shù)個單元612的格柵610相關(guān)。其中，至少一天車100被配置在工作區(qū)間600中，通過導航由一單元612的中心向另一個單元的中心移動。但是，在本發(fā)明另一實施例中，天車100可以用任何適當?shù)姆绞脚渲靡苿佑诟駯?10間。而且，起始點、終點位置與天車100通過的任何在預定路徑上的中間點，皆可以或不能代表單元612的中心點或隔柵610的任何其他部分。此外，雖然圖7說明了一天車系統(tǒng)的格柵實施例，傳輸系統(tǒng)的其他實施例中，也可以采用一個任意形狀與結(jié)構(gòu)的無格柵工作區(qū)間。

請參考圖8。路由過程開始于步驟802，其中任務(wù)指派由管理模塊608送出，并由運行裝置200接收，任務(wù)指派指示一或多個與任務(wù)相關(guān)的終點位置，并且可以直接標示相關(guān)終點的位置、相對于特定器件的位置，或相對于工作區(qū)間600的特定部位的相對位置的資訊。任務(wù)指派也可以包含協(xié)助運行裝置200完成指定任務(wù)所需的任何其他信息。

在接收到任務(wù)指派后，運行裝置200請求一個路徑，通過該路徑可以到達任務(wù)指派所標識的位置。如果任務(wù)指派指示多個位置，則請求可以到達第一個任務(wù)指派指示的位置的路徑。在所示的實施例中，步驟804中，運行裝置200可通過傳遞路徑請求到路徑規(guī)劃模塊622來請求一個路徑。在特定的實施例中，路徑請求可以包含一或多個終點位置與運行裝置200的目前位置或運行裝置200的預期位置，其中運行裝置200的預期位置是指當完成當前區(qū)段614a,614b與614c時，運行裝置200的預期位置。

在步驟806中，路徑規(guī)劃模塊622接到路徑請求時，路徑規(guī)劃模塊622會產(chǎn)生一路徑614。路徑614是請求運行裝置200由目前的位置到請求終點位置的路徑。如上述所提到，路徑規(guī)劃模塊622可以使用任何適當?shù)募夹g(shù)來 產(chǎn)生，可以選擇或決定一個適當?shù)穆窂?14給請求的運行裝置200。在步驟808中，路徑規(guī)劃模塊622可以接著替請求中的運行裝置200辨識路徑614的資訊，做為路徑反饋信息的一部分。

在路徑規(guī)劃模塊622傳送指示預定路徑614資訊后，此資訊由運行裝置200接收。在特定實施例中，運行裝置200可以儲存這個資訊，做為后續(xù)導航到終點位置使用，例如運行裝置200可以儲存一區(qū)段614a或路徑614的其他適當部分。在所示的實施例中，于步驟810中，運行裝置200通過向區(qū)段預約模塊624傳送預約請求以保留區(qū)段614a，預約請求確認運行裝置200正嘗試預約區(qū)段614a，預約請求可以適當?shù)幕谶\行裝置200與區(qū)段預約模塊624的組成與能力，以任何適當?shù)姆绞街甘舅鱿嚓P(guān)區(qū)段614a。舉例來說，在特定實施例中，預約請求可通過指示所述區(qū)段起始點與終點的座標、指定與運行裝置200相對的方向與距離或包含請求區(qū)段可辨識的任何其他適當?shù)馁Y訊來指示所述相關(guān)區(qū)段。在運作過程中，可獨立的或根據(jù)其他區(qū)段預約模塊624取得的資訊辨識。

區(qū)段預約模塊624可以接收預約請求，并從預約請求中提取請求區(qū)段資訊，區(qū)段預約模塊624接著會決定請求運行裝置200是否可以預約此請求區(qū)段。

在收到預約請求后，于步驟812中，區(qū)段預約模塊624會嘗試去預約所述請求區(qū)段給運行裝置200。在特定實施例中，為了補償運行裝置200的位置誤差或不確定性，可以利用區(qū)段預約模塊624加以修正被請求的區(qū)段。舉例來說，區(qū)段預約模塊624在適當?shù)那樾蜗?，可通過展開、平移及/或修正請求區(qū)段，以創(chuàng)造一更適合被運行裝置200使用的修正區(qū)段。區(qū)段預約模塊624可以接著提示請求運行裝置200，告知運行裝置200是否已成功預約所述區(qū)段。在特定實施例中，區(qū)段預約模塊624可以通過傳送一預約回饋信號給運行裝置200，以通知運行裝置200是否已成功預約所述區(qū)段。

一旦運行裝置200收到由所述區(qū)段預約模塊624傳來的預約信號，在步 驟814中，運行裝置200開始沿著所述路徑的起始區(qū)段614a移動離開其原始位置。在步驟816中，運行裝置200可判斷未完成剩下的起始區(qū)段614a是否少于一個預定部分。因此，于步驟818中，在當前路徑614上，由運行裝置200決定是否有任何增加的區(qū)段需要執(zhí)行。

如果當前路徑614內(nèi)的區(qū)段614b與614c尚待完成，則運行裝置200會嘗試去預約下一個區(qū)段614b，并回到步驟810。如果運行裝置200在成功預約下一個區(qū)段前便抵達了起始區(qū)段614a的末端，則運行裝置200會停在起始區(qū)段614a的末端，并保持靜止直到運行裝置200成功預約下一個區(qū)段614b或取得一替代路徑。如果在路徑614上已沒有任何待完成的區(qū)段，則運行裝置200可通知資源調(diào)度模塊620其已完成當前任務(wù)。

由于軌道并非天車100與運行裝置200運作的必要器件，本發(fā)明相較于目前已知的軌道導引系統(tǒng)，裝載半導體芯片的容器316可以用更有彈性與效率的方式，在不同工藝設(shè)備間傳遞芯片。另外，在移入或移除工藝設(shè)備500的過程中，并不需要增加或移除軌道。因此，在工藝更新的過程中，新增或移除的工藝設(shè)備500之外的其他工藝設(shè)備仍可以正常運作，因此對半導體器件的生產(chǎn)速率不會有重大的影響。

以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。