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掩埋溝道半導(dǎo)體器件及其制造方法與流程

文檔序號:12473847閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的實施例提供一種用于制造半導(dǎo)體器件的方法,包括在襯底上方形成在第一方向上延伸的一個或多個鰭部。一個或多個鰭部包括沿著第一方向的第一區(qū)域和位于第一區(qū)域兩側(cè)沿著第一方向的第二區(qū)域。將摻雜劑注入鰭部的第一區(qū)域,但是未注入第二區(qū)域。柵極結(jié)構(gòu)位于第一區(qū)域上方,并且在鰭部的第二區(qū)域上形成源極/漏極。本發(fā)明還提供了一種半導(dǎo)體器件及其包括該半導(dǎo)體器件的Gilbert單元混頻器。

技術(shù)研發(fā)人員:陳家忠;黃崎峰;梁其翔;蔡輔桓;謝協(xié)宏;葉子禎;蔡漢旻;朱虹霖
受保護(hù)的技術(shù)使用者:臺灣積體電路制造股份有限公司
文檔號碼:201610090342
技術(shù)研發(fā)日:2016.02.18
技術(shù)公布日:2016.12.21

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