技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種用于將紅外輻射注入到真空處理室中的輻照裝置，其具有單端紅外發(fā)射體(1)，所述單端紅外發(fā)射體(1)包括呈圓玻璃管形式的發(fā)射體殼體管(2)，所述單端紅外發(fā)射體(1)的一個(gè)封閉端突出到所述真空處理室中，且所述單端紅外發(fā)射體(1)具有真空饋通體(3)以用于固持所述發(fā)射體殼體管并以氣密方式引導(dǎo)所述發(fā)射體殼體管穿過(guò)所述真空處理室中的開(kāi)口，其中所述發(fā)射體殼體管中布置有呈加熱細(xì)絲(6)的形式的加熱導(dǎo)體及呈電流回路的形式的回路導(dǎo)體(7)，其中所述加熱導(dǎo)體在所述發(fā)射體殼體管的環(huán)繞所述真空饋通體的部分中具有從所述發(fā)射體殼體管引出的連接元件(12)。為尤其確保甚至在高加熱輸出的情況下且在無(wú)額外組件或冷卻情況下的長(zhǎng)IR發(fā)射體的安全操作，根據(jù)本發(fā)明提出將所述加熱導(dǎo)體的所述連接元件(12)引導(dǎo)穿過(guò)一個(gè)管(11)且所述回路導(dǎo)體在所述發(fā)射體殼體管(2)的環(huán)繞所述真空饋通體(3)的所述部分中具有用于補(bǔ)償熱膨脹的裝置(例如彈簧元件(14)或滑動(dòng)軸承(15))。

技術(shù)研發(fā)人員：S·格羅布;M·克蘭茨基;T·皮耶拉;S·利諾;T·邁耶
受保護(hù)的技術(shù)使用者：賀利氏諾萊特有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.23
技術(shù)公布日：2017.09.26